JP3123842B2 - 直接写像型リターディングフィルタ - Google Patents
直接写像型リターディングフィルタInfo
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- JP3123842B2 JP3123842B2 JP04325597A JP32559792A JP3123842B2 JP 3123842 B2 JP3123842 B2 JP 3123842B2 JP 04325597 A JP04325597 A JP 04325597A JP 32559792 A JP32559792 A JP 32559792A JP 3123842 B2 JP3123842 B2 JP 3123842B2
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- Japan
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- lens
- slit
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、直接写像型リターディ
ングフィルタに関する。
ングフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）あるいは反
射型低加速電子顕微鏡（ＬＥＥＭ）に接続して、試料を
透過した電子ビームあるいは試料で反射した電子ビーム
のエネルギー損失像を観察するものとして、いわゆるイ
メージングＥＥＬＳが知られている。これは、電子ビー
ムをエネルギー分散し、所定のエネルギーを有する電子
ビームだけを取り出して、そのイメージをスクリーンに
結像させるものであり、従来のイメージングＥＥＬＳで
は、エネルギーフィルタとしてはキャスターン・ヘンリ
ー型フィルタや、オメガフィルタが用いられている。
射型低加速電子顕微鏡（ＬＥＥＭ）に接続して、試料を
透過した電子ビームあるいは試料で反射した電子ビーム
のエネルギー損失像を観察するものとして、いわゆるイ
メージングＥＥＬＳが知られている。これは、電子ビー
ムをエネルギー分散し、所定のエネルギーを有する電子
ビームだけを取り出して、そのイメージをスクリーンに
結像させるものであり、従来のイメージングＥＥＬＳで
は、エネルギーフィルタとしてはキャスターン・ヘンリ
ー型フィルタや、オメガフィルタが用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、キャス
ターン・ヘンリー型フィルタは磁界型プリズムと静電ミ
ラーとを用いるものであり、またオメガフィルタは４個
のセクタ型電磁石を用いるものであるので、イメージン
グＥＥＬＳのエネルギーフィルタとしていずれのエネル
ギーフィルタを用いた場合にも、構成が複雑であるばか
りでなく、電子ビームの光軸が直線的ではないので装置
が大型になることは避けられないものであった。
ターン・ヘンリー型フィルタは磁界型プリズムと静電ミ
ラーとを用いるものであり、またオメガフィルタは４個
のセクタ型電磁石を用いるものであるので、イメージン
グＥＥＬＳのエネルギーフィルタとしていずれのエネル
ギーフィルタを用いた場合にも、構成が複雑であるばか
りでなく、電子ビームの光軸が直線的ではないので装置
が大型になることは避けられないものであった。
【０００４】これに対して、非常に高いエネルギー分解
能を有するエネルギーフィルタとしてリターディング型
ウィーンフィルタが知られており、リターディング型ウ
ィーンフィルタによりエネルギー損失像を得ることがで
きれば、構成は簡単なものとなり、しかも光軸が直線で
あるので直接写像型の電子顕微鏡との組み合わせも容易
に行うことができるが、従来においてはリターディング
型ウィーンフィルタを用いてエネルギー損失像を観察す
ることは行われていない。
能を有するエネルギーフィルタとしてリターディング型
ウィーンフィルタが知られており、リターディング型ウ
ィーンフィルタによりエネルギー損失像を得ることがで
きれば、構成は簡単なものとなり、しかも光軸が直線で
あるので直接写像型の電子顕微鏡との組み合わせも容易
に行うことができるが、従来においてはリターディング
型ウィーンフィルタを用いてエネルギー損失像を観察す
ることは行われていない。
【０００５】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、リターディング型ウィーンフィルタを用いて電子
ビームのエネルギー損失像を観察することができるよう
にすることを目的とする。
って、リターディング型ウィーンフィルタを用いて電子
ビームのエネルギー損失像を観察することができるよう
にすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の直接写像型リターディングフィルタは、
光軸に沿って、ラウンドレンズと、減速レンズと、ウィ
ーンフィルタと、加速レンズと、スリットがこの順序で
配置された直接写像型リターディングフィルタにおい
て、前記ラウンドレンズ、減速レンズ、ウィーンフィル
タ及び加速レンズは全て実像結像するように励磁され、
且つ前記ラウンドレンズはその回折像が前記減速レンズ
の位置より後方に生じるように、前記減速レンズはその
回折像を前記ウィーンフィルタより後方に生じるよう
に、前記加速レンズはその回折像を前記スリットの位置
に生じるように励磁されることを特徴とする。
めに、本発明の直接写像型リターディングフィルタは、
光軸に沿って、ラウンドレンズと、減速レンズと、ウィ
ーンフィルタと、加速レンズと、スリットがこの順序で
配置された直接写像型リターディングフィルタにおい
て、前記ラウンドレンズ、減速レンズ、ウィーンフィル
タ及び加速レンズは全て実像結像するように励磁され、
且つ前記ラウンドレンズはその回折像が前記減速レンズ
の位置より後方に生じるように、前記減速レンズはその
回折像を前記ウィーンフィルタより後方に生じるよう
に、前記加速レンズはその回折像を前記スリットの位置
に生じるように励磁されることを特徴とする。
【０００７】
【作用及び発明の効果】光軸に沿って、ラウンドレン
ズ、減速レンズ、ウィーンフィルタ、加速レンズ及びス
リットがこの順序に配置されている。そして、ラウンド
レンズ、減速レンズ、ウィーンフィルタ及び加速レンズ
の全てのレンズは実像結像するように励磁される。そし
て更に、ラウンドレンズはその回折像が減速レンズの位
置より後方に生じるように、減速レンズはその回折像を
ウィーンフィルタより後方に生じるように、加速レンズ
はその回折像をスリットの位置に生じるように励磁され
る。
ズ、減速レンズ、ウィーンフィルタ、加速レンズ及びス
リットがこの順序に配置されている。そして、ラウンド
レンズ、減速レンズ、ウィーンフィルタ及び加速レンズ
の全てのレンズは実像結像するように励磁される。そし
て更に、ラウンドレンズはその回折像が減速レンズの位
置より後方に生じるように、減速レンズはその回折像を
ウィーンフィルタより後方に生じるように、加速レンズ
はその回折像をスリットの位置に生じるように励磁され
る。
【０００８】これによって、非点収差が小さく、且つ色
収差も小さいエネルギー損失像を得ることができる。ま
た、リターディング型ウィーンフィルタは光軸が直線で
あるので、直接写像型の電子顕微鏡と容易に組み合わせ
ることができる。
収差も小さいエネルギー損失像を得ることができる。ま
た、リターディング型ウィーンフィルタは光軸が直線で
あるので、直接写像型の電子顕微鏡と容易に組み合わせ
ることができる。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
図１は本発明に係る直接写像型リターディングフィルタ
の一実施例の構成を示す図であり、図中、１はラウンド
レンズ（以下、ＩＬという）、２は減速レンズ（以下、
ＤＬという）、３はウィーンフィルタ（以下、ＷＦとい
う）、４は加速レンズ（以下、ＡＬという）、５はスリ
ット、Ｏは光軸を示す。
図１は本発明に係る直接写像型リターディングフィルタ
の一実施例の構成を示す図であり、図中、１はラウンド
レンズ（以下、ＩＬという）、２は減速レンズ（以下、
ＤＬという）、３はウィーンフィルタ（以下、ＷＦとい
う）、４は加速レンズ（以下、ＡＬという）、５はスリ
ット、Ｏは光軸を示す。
【００１０】図１において、ＩＬ１は光軸Ｏに対して軸
対称の構成を備えており、実像結像し、且つその回折像
がＤＬ２の位置より後方、即ち図１においてＰで示す位
置より右側に生じるように励磁されている。ＤＬ２は、
実像結像し、且つその回折像をＷＦ３より後方、即ち図
１においてＱで示す位置より右側に生じるように励磁さ
れている。また、ＷＦ３は実像結像するように励磁され
ており、ＡＬ４は、実像結像し、且つその回折像がスリ
ット５の位置に生じるように励磁されている。
対称の構成を備えており、実像結像し、且つその回折像
がＤＬ２の位置より後方、即ち図１においてＰで示す位
置より右側に生じるように励磁されている。ＤＬ２は、
実像結像し、且つその回折像をＷＦ３より後方、即ち図
１においてＱで示す位置より右側に生じるように励磁さ
れている。また、ＷＦ３は実像結像するように励磁され
ており、ＡＬ４は、実像結像し、且つその回折像がスリ
ット５の位置に生じるように励磁されている。
【００１１】従って、入射した電子ビームは、ＩＬ１に
よるレンズ作用を受け、次にＤＬ２で減速され、ＷＦ３
でエネルギー分散されて所定の速度を有する電子ビーム
だけが直進してＡＬ４に入射し、ＡＬ４のレンズ作用に
より元の速度まで加速され、スリット５を通過する。そ
してスリット５を通過した電子ビームはスクリーン（図
示せず）に達する。このときスリット５とスクリーンの
間にいくつかのラウンドレンズを配置することができる
ことは当然である。これによって、スクリーンにはスリ
ット５を通過した電子ビームのエネルギー損失像が得ら
れる。
よるレンズ作用を受け、次にＤＬ２で減速され、ＷＦ３
でエネルギー分散されて所定の速度を有する電子ビーム
だけが直進してＡＬ４に入射し、ＡＬ４のレンズ作用に
より元の速度まで加速され、スリット５を通過する。そ
してスリット５を通過した電子ビームはスクリーン（図
示せず）に達する。このときスリット５とスクリーンの
間にいくつかのラウンドレンズを配置することができる
ことは当然である。これによって、スクリーンにはスリ
ット５を通過した電子ビームのエネルギー損失像が得ら
れる。
【００１２】上記の励磁条件で非点収差が小さく、且つ
色収差も小さいエネルギー損失像が得られることを以下
に説明する。
色収差も小さいエネルギー損失像が得られることを以下
に説明する。
【００１３】まず、ＡＬ４の回折像がスリット５上に生
じるようにすることの妥当性は明かである。なぜなら、
エネルギー損失像を観察する場合には、回折像の中の所
望の一つの輝点、例えば試料から所定の角度で飛び出し
た電子ビームにより得られる輝点を選択し、それに対応
するエネルギー損失像を観察することが広く行われてい
るが、そのためにはスリット上に回折像が生じていなけ
ればならないからである。
じるようにすることの妥当性は明かである。なぜなら、
エネルギー損失像を観察する場合には、回折像の中の所
望の一つの輝点、例えば試料から所定の角度で飛び出し
た電子ビームにより得られる輝点を選択し、それに対応
するエネルギー損失像を観察することが広く行われてい
るが、そのためにはスリット上に回折像が生じていなけ
ればならないからである。
【００１４】ところで、一般に電子ビームによって試料
の像を得る場合には、像に歪がないことが要求される。
これが非点なし結像である。従ってエネルギー損失像を
得る場合にも非点なし結像が要求されることは当然であ
る。更に、イメージングＥＥＬＳのようにエネルギー分
散を行う場合には、エネルギー損失像に色収差が生じな
いことが要求される。即ち、図１の構成ではＷＦ３によ
って電子ビームは、そのエネルギーによって分散され、
ＷＦ３で決定されるウィーン条件を満足するエネルギー
を有する電子ビームだけが直進してスリット５を通過す
るのであるが、スリット５のスリット幅は有限であるか
ら、光軸Ｏを直進した電子ビーム（以下、これを透過ビ
ームという）だけではなく、ＷＦ３では透過ビームと分
散されるが透過ビームと僅かに異なるエネルギーを有す
る電子ビーム（以下、これを分散ビームという）もスリ
ット５を通過することになる。そして、スリット５を通
過した電子ビームによってエネルギー損失像が得られる
ことになるが、透過ビームによるエネルギー損失像の結
像位置と、分散ビームによるエネルギー損失像の結像位
置が異なると像にボケが生じることになる。これが色収
差であり、従って、色収差を生じないようにするために
スリット５を通過した後は透過ビームと分散ビームを略
一致させるようにする必要があることが分かる。つま
り、図１に示す光学系においては、スリット５上の回折
面では大きな分散を持ち、且つスクリーンのエネルギー
損失像面上では分散が小さいことが要求されるのであ
る。
の像を得る場合には、像に歪がないことが要求される。
これが非点なし結像である。従ってエネルギー損失像を
得る場合にも非点なし結像が要求されることは当然であ
る。更に、イメージングＥＥＬＳのようにエネルギー分
散を行う場合には、エネルギー損失像に色収差が生じな
いことが要求される。即ち、図１の構成ではＷＦ３によ
って電子ビームは、そのエネルギーによって分散され、
ＷＦ３で決定されるウィーン条件を満足するエネルギー
を有する電子ビームだけが直進してスリット５を通過す
るのであるが、スリット５のスリット幅は有限であるか
ら、光軸Ｏを直進した電子ビーム（以下、これを透過ビ
ームという）だけではなく、ＷＦ３では透過ビームと分
散されるが透過ビームと僅かに異なるエネルギーを有す
る電子ビーム（以下、これを分散ビームという）もスリ
ット５を通過することになる。そして、スリット５を通
過した電子ビームによってエネルギー損失像が得られる
ことになるが、透過ビームによるエネルギー損失像の結
像位置と、分散ビームによるエネルギー損失像の結像位
置が異なると像にボケが生じることになる。これが色収
差であり、従って、色収差を生じないようにするために
スリット５を通過した後は透過ビームと分散ビームを略
一致させるようにする必要があることが分かる。つま
り、図１に示す光学系においては、スリット５上の回折
面では大きな分散を持ち、且つスクリーンのエネルギー
損失像面上では分散が小さいことが要求されるのであ
る。
【００１５】以上のように、図１の構成においては、ス
リット５を通過した電子ビームには非点収差及び色収差
が小さいことが要求され、ＩＬ１、ＤＬ２、ＷＦ３及び
ＡＬ４はこの条件を満足するように励磁する必要がある
ことが分かる。
リット５を通過した電子ビームには非点収差及び色収差
が小さいことが要求され、ＩＬ１、ＤＬ２、ＷＦ３及び
ＡＬ４はこの条件を満足するように励磁する必要がある
ことが分かる。
【００１６】さて、一般に、電子光学系に用いるレンズ
の結像の仕方には実像結像と虚像結像があり、例えばＴ
ＥＭ等の通常の電子顕微鏡においては、最終段のレンズ
は実像結像となるように励磁されるが、途中のレンズに
おいては収差を小さくすることを目的として実像結像と
虚像結像とが組み合わされるのが通常である。そこで、
いま図１の構成において、ＩＬ１及びＡＬ４は実像結
像、ＤＬ２及びＷＦ３は虚像結像となるように励磁する
と、このときＡＬ４の回折像はスリット５上に生じる
が、ＩＬ１の回折像はＤＬ２の前方に生じていた。そし
て、ＩＬ１に断面が円形の電子ビームを入射させたとき
のスクリーン上のエネルギー損失像は概略図２Ａに示す
ようであった。図２Ａにおいて１０は透過ビームによる
像であり、１１は分散ビームによる像であるが、図から
明らかなように、透過ビームの像１０は略円形である
が、分散ビームの像１１は楕円に歪んでおり、しかも透
過ビームの像１０と分散ビームの像１１とは離れた位置
に結像していた。つまり、スクリーン上に得られるエネ
ルギー損失像には非点収差及び色収差が生じていること
が確認されたのである。なお、ここでは分散ビームのエ
ネルギーは透過ビームのエネルギーからリターディング
電圧の 1／100 だけ変動しているものである。これは図
２Ｂ，図２Ｃについても同様である。
の結像の仕方には実像結像と虚像結像があり、例えばＴ
ＥＭ等の通常の電子顕微鏡においては、最終段のレンズ
は実像結像となるように励磁されるが、途中のレンズに
おいては収差を小さくすることを目的として実像結像と
虚像結像とが組み合わされるのが通常である。そこで、
いま図１の構成において、ＩＬ１及びＡＬ４は実像結
像、ＤＬ２及びＷＦ３は虚像結像となるように励磁する
と、このときＡＬ４の回折像はスリット５上に生じる
が、ＩＬ１の回折像はＤＬ２の前方に生じていた。そし
て、ＩＬ１に断面が円形の電子ビームを入射させたとき
のスクリーン上のエネルギー損失像は概略図２Ａに示す
ようであった。図２Ａにおいて１０は透過ビームによる
像であり、１１は分散ビームによる像であるが、図から
明らかなように、透過ビームの像１０は略円形である
が、分散ビームの像１１は楕円に歪んでおり、しかも透
過ビームの像１０と分散ビームの像１１とは離れた位置
に結像していた。つまり、スクリーン上に得られるエネ
ルギー損失像には非点収差及び色収差が生じていること
が確認されたのである。なお、ここでは分散ビームのエ
ネルギーは透過ビームのエネルギーからリターディング
電圧の 1／100 だけ変動しているものである。これは図
２Ｂ，図２Ｃについても同様である。
【００１７】以上は、ＩＬ１及びＡＬ４は実像結像、Ｄ
Ｌ２及びＷＦ３は虚像結像とした場合であるが、種々の
実験の結果、実像結像と虚像結像を組み合わせた場合に
は上述したと同様の結果になり、エネルギー損失像を得
るには好ましくない励磁条件であることが確認された。
Ｌ２及びＷＦ３は虚像結像とした場合であるが、種々の
実験の結果、実像結像と虚像結像を組み合わせた場合に
は上述したと同様の結果になり、エネルギー損失像を得
るには好ましくない励磁条件であることが確認された。
【００１８】従って、図１の構成において良好なエネル
ギー損失像を得るためには、ＩＬ１、ＤＬ２，ＷＦ３及
びＡＬ４の全てのレンズを実像結像とする必要があるこ
とが分かる。しかし、単に実像結像としたのでは良好な
エネルギー損失像が得られないことが確認された。即
ち、ＩＬ１、ＤＬ２を強励磁として強いレンズ作用を持
たせると、ＩＬ１の回折像をＩＬ１とＤＬ２との間隙に
生じさせ、ＤＬ２の回折像をＤＬ２とＷＦ３との間隙に
生じさせることができるが、このときにはスクリーン上
のエネルギー損失像は概略図２Ｂに示すようになり、透
過ビームの像１０に非点が生じるばかりでなく、大きな
色収差が生じることが確認された。
ギー損失像を得るためには、ＩＬ１、ＤＬ２，ＷＦ３及
びＡＬ４の全てのレンズを実像結像とする必要があるこ
とが分かる。しかし、単に実像結像としたのでは良好な
エネルギー損失像が得られないことが確認された。即
ち、ＩＬ１、ＤＬ２を強励磁として強いレンズ作用を持
たせると、ＩＬ１の回折像をＩＬ１とＤＬ２との間隙に
生じさせ、ＤＬ２の回折像をＤＬ２とＷＦ３との間隙に
生じさせることができるが、このときにはスクリーン上
のエネルギー損失像は概略図２Ｂに示すようになり、透
過ビームの像１０に非点が生じるばかりでなく、大きな
色収差が生じることが確認された。
【００１９】これに対して、ＩＬ１、ＤＬ２を比較的弱
く励磁してもこれらのレンズを実像結像とすることがで
きる条件がある。但し、この場合にもＡＬ４の回折像は
スリット５に生じるようにすることは当然である。そし
てこのときには、ＩＬ１の回折像はＤＬ２より後方に生
じ、ＤＬ２の回折像はＷＦ３より後方に生じ、またＷＦ
３の回折面はＷＦ３の内部に生じていた。そしてこのと
き、スクリーン上のエネルギー損失像は概略図２Ｃに示
すようであり、分散ビームによる像１１には多少の非点
が生じているが、透過ビームの像１０と分散ビームの像
１１はよく一致しており、従って色収差が小さい、良好
なエネルギー損失像が得られることが確認された。
く励磁してもこれらのレンズを実像結像とすることがで
きる条件がある。但し、この場合にもＡＬ４の回折像は
スリット５に生じるようにすることは当然である。そし
てこのときには、ＩＬ１の回折像はＤＬ２より後方に生
じ、ＤＬ２の回折像はＷＦ３より後方に生じ、またＷＦ
３の回折面はＷＦ３の内部に生じていた。そしてこのと
き、スクリーン上のエネルギー損失像は概略図２Ｃに示
すようであり、分散ビームによる像１１には多少の非点
が生じているが、透過ビームの像１０と分散ビームの像
１１はよく一致しており、従って色収差が小さい、良好
なエネルギー損失像が得られることが確認された。
【００２０】また、この条件がエネルギー損失像を得る
のに好ましい条件であることは図３からも明かである。
図３は、加速電圧を10ｋＶ、ＷＦ３のウィーンフィルタ
長を50ｍｍとした場合において、ＩＬ１の励磁電流を固
定してＷＦ３の強度Ｌ（単位はｍｍ）を変化させたとき
に当該ＷＦ３内における電子ビームのパスエネルギーＵ
0 （単位はＶ）がどのようになるかを示す図である。な
お、図中の数値はＩＬ１の励磁電流値（単位はｍＡ）を
示す。この図によれば、例えばＩＬ１の励磁電流が 178
ｍＡの場合には、Ｌが60ｍｍ以下の範囲では図中に示
すようにパスエネルギーも小さいのであるが、Ｌが60ｍ
ｍを越えると図中で示すようにパスエネルギーは突然
大きくなる。
のに好ましい条件であることは図３からも明かである。
図３は、加速電圧を10ｋＶ、ＷＦ３のウィーンフィルタ
長を50ｍｍとした場合において、ＩＬ１の励磁電流を固
定してＷＦ３の強度Ｌ（単位はｍｍ）を変化させたとき
に当該ＷＦ３内における電子ビームのパスエネルギーＵ
0 （単位はＶ）がどのようになるかを示す図である。な
お、図中の数値はＩＬ１の励磁電流値（単位はｍＡ）を
示す。この図によれば、例えばＩＬ１の励磁電流が 178
ｍＡの場合には、Ｌが60ｍｍ以下の範囲では図中に示
すようにパスエネルギーも小さいのであるが、Ｌが60ｍ
ｍを越えると図中で示すようにパスエネルギーは突然
大きくなる。
【００２１】そして、ＩＬ１の励磁電流を種々変えてみ
ると、図のＡ，Ｂ，Ｃに示すように３つのグループに区
別できることが確認された。そして、グループＡはＩＬ
１、ＤＬ２、ＷＦ３及びＡＬ４の全てのレンズが実像結
像となるが、図２Ｂに示すように非点収差及び色収差が
生じる励磁条件であり、グループＢはＩＬ１とＡＬ４は
実像結像し、ＤＬ２とＷＦ３は虚像結像となる励磁条件
であり、グループＣは全てのレンズが実像結像となる
が、ＩＬ１の回折像はＤＬ２の後方に生じ、ＤＬ２の回
折像はＷＦ３の後方に生じる励磁条件であり、図２Ｃに
示すように非点収差、色収差が共に小さく、スクリーン
には良好なエネルギー損失像が得られることが確認され
た。
ると、図のＡ，Ｂ，Ｃに示すように３つのグループに区
別できることが確認された。そして、グループＡはＩＬ
１、ＤＬ２、ＷＦ３及びＡＬ４の全てのレンズが実像結
像となるが、図２Ｂに示すように非点収差及び色収差が
生じる励磁条件であり、グループＢはＩＬ１とＡＬ４は
実像結像し、ＤＬ２とＷＦ３は虚像結像となる励磁条件
であり、グループＣは全てのレンズが実像結像となる
が、ＩＬ１の回折像はＤＬ２の後方に生じ、ＤＬ２の回
折像はＷＦ３の後方に生じる励磁条件であり、図２Ｃに
示すように非点収差、色収差が共に小さく、スクリーン
には良好なエネルギー損失像が得られることが確認され
た。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】 本発明の効果を説明するための図である。
【図３】 ＩＬ１の励磁電流をパラメータとしたＷＦ３
の強度Ｌと電子ビームのパスエネルギーの関係を示す図
である。
の強度Ｌと電子ビームのパスエネルギーの関係を示す図
である。
１…ラウンドレンズ、２…減速レンズ、３…ウィーンフ
ィルタ、４…加速レンズ、５…スリット。
ィルタ、４…加速レンズ、５…スリット。
Claims (1)
- 【請求項１】 光軸に沿って、ラウンドレンズと、減速
レンズと、ウィーンフィルタと、加速レンズと、スリッ
トがこの順序で配置された直接写像型リターディングフ
ィルタにおいて、前記ラウンドレンズ、減速レンズ、ウ
ィーンフィルタ及び加速レンズは全て実像結像するよう
に励磁され、且つ前記ラウンドレンズはその回折像が前
記減速レンズの位置より後方に生じるように、前記減速
レンズはその回折像を前記ウィーンフィルタより後方に
生じるように、前記加速レンズはその回折像を前記スリ
ットの位置に生じるように励磁されることを特徴とする
直接写像型リターディングフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04325597A JP3123842B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 直接写像型リターディングフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04325597A JP3123842B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 直接写像型リターディングフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06176722A JPH06176722A (ja) | 1994-06-24 |
| JP3123842B2 true JP3123842B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=18178660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04325597A Expired - Fee Related JP3123842B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 直接写像型リターディングフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123842B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001510624A (ja) * | 1996-12-03 | 2001-07-31 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 粒子光学的装置の動作方法 |
| JP5329380B2 (ja) * | 2009-12-15 | 2013-10-30 | 日本電子株式会社 | モノクロメータのスリット位置制御方法及び装置並びに分析電子顕微鏡 |
-
1992
- 1992-12-04 JP JP04325597A patent/JP3123842B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06176722A (ja) | 1994-06-24 |
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