JPH11195396A - エネルギーフィルタを有する粒子線装置 - Google Patents
エネルギーフィルタを有する粒子線装置Info
- Publication number
- JPH11195396A JPH11195396A JP10299504A JP29950498A JPH11195396A JP H11195396 A JPH11195396 A JP H11195396A JP 10299504 A JP10299504 A JP 10299504A JP 29950498 A JP29950498 A JP 29950498A JP H11195396 A JPH11195396 A JP H11195396A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- energy
- particle beam
- dispersion
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 78
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 241000220317 Rosa Species 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/05—Electron or ion-optical arrangements for separating electrons or ions according to their energy or mass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/05—Arrangements for energy or mass analysis
- H01J2237/057—Energy or mass filtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
Abstract
ネルギー鮮鋭度を有することができ且つBoersch
効果の影響は小さい粒子線装置を提供すること。 【解決手段】 本発明による粒子線装置は照明光路内に
分散結像エネルギーフィルタを有する。エネルギーフィ
ルタにより、さらに粒子光学結像に寄与する粒子のエネ
ルギー鮮鋭度は向上し、それに伴って、結像色誤差は減
少する。フィルタ7を完全に通過した後に発生する分散
にもかかわらず、印加される高電圧の電圧変動がビーム
発生器(1,1a)の像の移動を引き起こすことのない
ように、ビーム発生器は拡大してフィルタの平面(9)
に結像され、フィルタ(7)から色消し状態で出力側像
平面(10)に、結像される。分散フィルタの分散は非
分散フィルタと比べて強いため、本発明による粒子線装
置はフィルタ内部の粒子エネルギーが高いときでも稼動
でき、従って、非分散フィルタと比較して、Boers
ch効果は低減する。
Description
子線装置に関し、詳細には、粒子線発生器と対物レンズ
との間に配置され、分散を有するエネルギーフィルタを
有する粒子線装置に関する、
微鏡の形態をとる粒子線装置は、たとえば、米国特許第
4,740,704号、米国特許第4,760,261
号及び米国特許第5,449,914号から知られてい
る。これらの従来例に記載されているエネルギーフィル
タは分散フィルタである。すなわち、フィルタに侵入す
る帯電粒子は、フィルタを通過するとき、その粒子のエ
ネルギーに応じた大きさで偏向する。米国特許第4,7
40,704号に記載されているフィルタは、その出願
人の透過電子顕微鏡912 Omegaに摘要される。
912 Omegaの場合、フィルタは結像光路内の検
査すべき標本と、標本が電子光学的に結像される投映ス
クリーン又はカメラとの間に配置されている。そのよう
な結像側エネルギーフィルタを使用して、粒子が標本の
中で受けたエネルギー損失を解析することができる。同
時に、エネルギー帯域幅が縮小した粒子のみが結像に寄
与するために、エネルギーによって決まる結像光路内の
結像誤差、色収差を減少させることもできる。
おける結像色誤差を補正するために、照明光路内におい
て、電子源と検査すべき標本との間にミラー補正器を設
けることは米国特許第5,319,207号から知られ
ている。この特許に記載されているミラー補正器は磁気
ビームデフレクタと、磁気ビームデフレクタ内で2つの
対称平面を互いに対して結像する静電ミラーとから構成
されている。ビームデフレクタは分散特性を有している
が、補正は全体としては分散形ではない。すなわち、補
正器に入射した粒子は補正器を完全に通過し終わった後
でも、粒子エネルギーに従って決まる大きさの偏向を全
く起こさない。しかしながら、この種の補正は相対的に
高いコストを要し、これまでは市場に提示されていな
い。
85巻(第3号)の95から98ページ(1990号)
の論文から、透過電子顕微鏡の照明光路内にエネルギー
フィルタを設けることが知られている。エネルギーフィ
ルタを使用することによって、その後に続く結像に寄与
する粒子のエネルギー帯域幅が狭くなるため、少なくと
もエネルギー従属誤差は減少する。この場合にも、粒子
線のエネルギー論的分割のために、フィルタは分散要素
を有しているが、フィルタは全体としては分散を伴わな
いので、フィルタに流入した粒子はフィルタを完全に通
過した後でもエネルギーによって決まる大きさの偏向を
全く起こさず、これは先の場合と同様である。フィルタ
全体の分散なし状態は、フィルタが中心平面に対して対
称であり且つ2つの互いに対称なフィルタ部分における
分散が厳密に逆向きであることによって得られる。フィ
ルタがこのように分散を伴わないことにより、フィルタ
でわずかな電圧変動があっても、フィルタの背後ではビ
ームの揺動は起こらない。しかし、分散のないフィルタ
には、スリット絞りを使用してエネルギー選択を行うエ
ネルギー選択平面において得られる分散が相対的に小さ
いという欠点もある。また、分散は一般に粒子エネルギ
ーによって決まり、粒子エネルギーが大きくなるにつれ
て減少するので、高いエネルギー鮮鋭度を実現すべき場
合にはフィルタ内部の粒子エネルギーを相対的に低くし
なければならない。上記の論文では3KeVの粒子エネ
ルギーから始めており、H.Roseがさらに研究を進
めた結果、有意義なエネルギー範囲として3から5Ke
Vを指定している。ところが、フィルタ内部の粒子エネ
ルギーが低いと、いわゆるBoersch効果によって
エネルギー幅が拡張する。特にフィルタ内部における粒
子源の中間結像の場合、そのような中間像の粒子密度が
高くなるために、Boersch効果は重大な影響を及
ぼすので、既に、H.ROseはフィルタ内部で非点収
差中間像のみをもたらすフィルタを使用することを提案
している。
は、電子源と対物レンズとの間に分散エネルギーフィル
タを有するラスタ電子顕微鏡が知られている。しかし、
ここに記載されている光学系においては、フィルタは相
対信号を発生するためにのみ使用されるので、本来の二
次電子測定信号と相対信号との商を算出することによ
り、電子源の雑音が後に形成される像に及ぼす不都合な
影響を除去できる。
に結像又は像形成に使用される粒子線が高いエネルギー
鮮鋭度を有することができ且つBoersch効果の影
響は小さい粒子線装置を提供することである。
と対物レンズとの間に配置され、分散を有するエネルギ
ーフィルタを有し、そのエネルギーフィルタは第1の入
力側平面を色消し状態で第1の出力側平面に結像すると
共に、第2の入力側平面を第2の出力側平面に分散結像
し、且つ粒子線発生器はエネルギーフィルタの第1の入
力側平面に結像されている粒子線装置である。
の論文の場合と同様に、照明側の粒子線発生器と対物レ
ンズとの間にエネルギーフィルタが配置されている。し
かし、先の論文に記載される構造とは異なり、このエネ
ルギーフィルタは分散を有する。すなわち、フィルタを
完全に通り抜けた粒子は、フィルタの終端で、粒子の運
動エネルギーによって決まる大きさの偏向を生じる。こ
の場合のフィルタは、第1の入力側平面を色消し状態で
出力側平面に結像すると同時に、第2の入力側平面を第
2の出力側平面に分散結像するいわゆる結像エネルギー
フィルタである。本発明による粒子線装置の場合、粒子
線発生器、より厳密にいえば、粒子線発生器の粒子を放
出する面は、エネルギーフィルタの第1の入力側平面に
結像されるので、エネルギーフィルタの分散があるにも
かかわらず、粒子線のエネルギー変動は第2の出力側平
面及びその背後における粒子線発生器の像の移動を全く
引き起こさない。
ルギーフィルタより大きな分散を有するので、本発明に
よる粒子線装置では、エネルギーフィルタリング後の粒
子線のエネルギー鮮鋭度が等しいとして、従来の技術に
従った構造の場合より高い平均粒子エネルギーを設定す
ることができる。この平均粒子エネルギーは5から35
KeVに設定でき、好ましくは8から20KeVに設定
すべきであろうが、そのように高い平均粒子エネルギー
によって、Boersch効果の悪影響は明らかに減少
する。
なスリット状選択絞りによるエネルギー選択は、エネル
ギーフィルタの出力側領域で又は第2の出力側平面にお
けるエネルギーフィルタの背後で実行できる。粒子線発
生器の第1の入力側平面への結像は、エネルギーフィル
タの背後のエネルギー選択によって後続する光路内の粒
子線の開口の切り取りが起こらないように拡大して行わ
れるのが好ましい。
ネルギーフィルタに入射する前に既に相対的に高いエネ
ルギーまで加速され、エネルギーフィルタと後続する結
像段を同じエネルギーをもって通過し、対物レンズの中
又は対物レンズと検査すべき標本との間になって初めて
より低い所望の最終エネルギーまで制動される。本発明
による粒子線装置のこの実施態様は、特に、粒子線を対
物レンズにより検査すべき標本の上へ集束する低電圧ラ
スタ電子顕微鏡として構成できる。そこで、標本を走査
するために、対物レンズの領域に、粒子線焦点を2つの
互いに垂直な方向に偏向する偏向手段が設けられてい
る。このような低電圧ラスタ電子顕微鏡における目標エ
ネルギーは10eVから10KeVである。
合、対物レンズとフィルタとの間に、検査すべき標本か
ら放出される二次電子を検出する検出器を設けることが
できる。標本から反射散乱する粒子を検出するために、
別の検出器を設けることが可能であり、この場合、この
反射散乱粒子の光路はエネルギーフィルタから側方へ外
れているのが好ましい。直接に反射散乱する粒子をエネ
ルギー損失を受けた粒子から分離するために、フィルタ
と反射散乱粒子を検出する検出器との間に、さらにスリ
ット絞りを配置することができる。
に代わるものとして、本発明による粒子線装置を高電圧
透過電子顕微鏡としても構成できることは言うまでもな
い。この場合、エネルギーフィルタから射出した直後
に、粒子線は所望の高い目標エネルギーまで加速される
であろう。エネルギーフィルタの分散は、フィルタ内部
の平均粒子エネルギーで、5から20μm/eVの範
囲、好ましくは10から15μm/eVの範囲とすべき
であろう。フィルタの分散が5から10μm/eV以下
であると、十分なエネルギー鮮鋭度が得られないか又は
選択絞りのスリット幅をごく狭くすることが必要にな
る。一方、15から20μm/eVの上限値を越えてし
まうと、選択絞りの背後の粒子線の開口は大きくなりす
ぎるので、その結果、後続する電子光学結像要素はより
大きな開口誤差を発生させる。そのため、色誤差の減少
により可能になる分解能の獲得は再び補償されるか、又
はさらに過剰補償される。
づいて本発明の個々の点をさらに詳細に説明する。図1
において、1は熱電界放出源の形態をとるビーム発生
器、1aは電子を放出する陰極先端である。陰極先端1
aに対して正電位にある抽出電極2により陰極先端1a
から電子を抽出し、その後、電子を陽極3の電位まで加
速する。陽極3は、装置全体を通って設置された、導電
材料から成るビーム誘導管4と導電接続している。陽極
電位、従って、ビーム誘導管4の電位は接地電位に対し
て約10kVになる。陽極3のすぐ後に磁気集光レンズ
5が続き、その後に開口絞り6が続いている。エネルギ
ーフィルタ7は、いわゆる入力側像平面9(第1の入力
側平面)を無収差、色消し状態で出力側像平面10(第
1の出力側平面)に結像すると同時に、入力側回折平面
(第2の入力側平面)を分散、無収差の状態で出力側回
折平面(第2の出力側平面)に結像する結像分散電子エ
ネルギーフィルタである。入力側回折平面には開口絞り
6が配置されている。すなわち、この平面は開口絞り6
の平面と一致する。出力回折平面には、スリット絞りと
して構成されたエネルギー選択絞り8が配置されてい
る。分散フィルタ7自体は磁気フィルタそのものであ
り、図中、7a〜7cはフィルタの3つの磁石部分であ
る。フィルタの詳細な構造は米国特許第4,740,7
04号に記載されているので、フィルタの構成の詳細に
ついてはこれを参照のこと。
な平面に対して対称の構造であるが、分散を生じる。す
なわち、フィルタを通過した電子はフィルタの背後で、
光軸に対し電子のエネルギーによって決まる大きさで偏
向し、その結果、中心にスリットを有する選択絞り8
は、中心エネルギーからのエネルギー偏差が分散及びス
リット幅により定まるエネルギー偏差より大きい電子を
捕捉する。高電圧変動が電子を放出する陰極先端1aの
後続する像の側方への移動を引き起こさないようにする
ために、陰極先端1aはフィルタ7の入力側像平面9に
結像され、さらに、フィルタ7から色消し状態で出力側
像平面10に結像される。
レンズ11が続き、選択絞り8はこの集光レンズ11を
経て対物レンズ13の後方焦点面に結像される。同時
に、集光レンズ11はフィルタ7の出力側像平面10の
結像により陰極先端1aの別の中間像を形成する。この
中間像は後続する対物レンズ13により再度縮小され
て、検査すべき標本15の上へと結像される。対物レン
ズ13は磁気レンズと静電レンズとを組合わせたもので
ある。標本15と対物レンズ13の磁極片は接地電位に
あるので、電子は、ビーム誘導管4から射出した後、ビ
ーム誘導管4の端部と対物レンズ13の外側磁極片との
ほぼ間で10eVから5KeVの目標エネルギーまで制
動される。標本15のより広い側部領域を走査するため
に、対物レンズ13の磁極片に磁気偏向光学系14がさ
らに配置されている。
ために、対物レンズ13と第2の集光レンズ11との間
に、中心に孔のある回転対称形電子検出器が配置されて
いる。この検出器はシンチレーション検出器、半導体検
出器又はマイクロチャネルプレート検出器として構成で
きる。
放出する陰極先端1aは第1の集光レンズ5により分散
フィルタ7の入力側像平面9に結像され、この像はフィ
ルタ7により色消し、無収差の状態で出力側像平面10
に結像される。開口絞り6は第1の集光レンズ5とフィ
ルタ7の入力側像平面9との間の、選択絞り8が配置さ
れている出力側共役平面に無収差で分散結像される平面
に配置されている。そこで、陰極先端1aの入力側像平
面9への結像は5倍から40倍の倍率を有し、そのた
め、フィルタ7の内側の、選択絞り8の平面における有
効開口は対応して縮小されることになる。従って、フィ
ルタ7の射出側におけるエネルギーのフィルタリングが
電子光束の開口の重大な切断を引き起こすことはない。
エネルギーフィルタが10から15μm/eVの分散を
有するならば、スリット幅が2μmである選択絞り8に
より、0.1から0.2eVのエネルギー幅が設定され
る。典型的な分散エネルギーフィルタの場合、入力側像
平面9と入力側回折平面6との間隔は40から80mmで
あるので、スリット幅は狭いが、1.5×10-5の開口
が問題なく伝達される。その後に、出力側像平面10に
形成される陰極先端1aの像を約400から700分の
一の縮小率で縮小して標本15の上に結像する、第2の
集光レンズ11と対物レンズ13とから成る二段階結像
光学系が続いているため、標本平面では、6×10-3か
ら1×10-2の範囲の最適最終開口及び約1nmから3
nmのゾンデサイズが得られる。
ム誘導管4の標本側端部と、標本15との間の遅延磁界
からビーム誘導管4の中へと戻って加速され、ビーム誘
導管の中で一次電子と全く等しいエネルギーを再び獲得
し、その結果、フィルタ7に到達する。しかし、電子の
移動方向が逆であるため、それらの反射散乱電子はフィ
ルタの磁石部分7aにおいて逆方向へ偏向され、この光
路に沿って一次電子検出器16に到達する。この一次電
子検出器16も、通常、シンチレーション検出器、半導
体検出器又はマイクロチャネルプレート検出器として構
成できる。磁石部分7aと一次電子検出器16との間に
は、たとえば、標本15又は選択絞り8との交換作用を
受けた異なるエネルギーを有する電子をフィルタリング
する第2のスリット絞り17がさらに配置されている。
合、分散フィルタは米国特許第4740704号に従っ
て構成されている。この場合のフィルタは、出願人が透
過電子顕微鏡912Omegaで使用しているいわゆる
オメガフィルタである。あるいは、米国特許第4760
261号又は米国特許第5449914号に従ったいわ
ゆるアルファフィルタとしてフィルタ7を構成すること
も可能である。
は磁気レンズとして構成されている。図3に示す実施形
態においては、集光レンズ24は、ビーム発生器21の
中へ陰極先端21aと一体化されている静電レンズであ
る。この非対称形の双電位静電液浸レンズ24は抽出電
極21と、陽極23との間に配置されている。このレン
ズの、ビーム発生器21に向いた側の開口直径は、陽極
23に向いた側の開口直径より著しく大きい。このよう
な静電液浸レンズ24も同様に、電子を放出する陰極先
端21aを直接に拡大して、後続する分散フィルタの入
力側像平面(図示せず)に結像する。図4a及び図4b
には、本発明と組合わせて使用するのが好ましい2つの
別の対物レンズを示す。図4aの対物レンズ33と図1
の対物レンズ13との相違点は、対物レンズ33の場合
には外側磁極片33aが短く、内側磁極片33bと同じ
高さで終わっているということである。これにより、一
点鎖線で表されている光軸に対し垂直に整列された環状
の磁極片ギャップ33bが形成される。このように磁極
片ギャップを構成することによって、磁界は標本35に
向かう方向に流出し、その結果、標本35の侵入状態は
さらに強くなり、そのため、開口誤差は減少する。静電
レンズが重なり合っているので、電極34は外側磁極片
33aの延長として形成されている。
4が延長されていて、磁気レンズ36の外側磁極片36
aの高さ又はその背後の位置ではじめて終わるという点
で、先に説明した対物レンズと異なっている。そこで、
ビーム誘導管4の標本側端部と、標本38と対物レンズ
との間に配置される制動電極37との間の静電レンズ
は、磁気レンズ36の背後になってはじめて形成されて
いる。この実施例の場合、標本38と制動電極37は、
接地電位に対して負である共通の電位にある。この対物
レンズを使用すると、目標エネルギーがきわめて低くて
も、陰極を接地電位に対して相対的に高い電位に保持で
き、その結果、漂遊磁界は再び強い負になることがわか
るので、この対物レンズは目標エネルギーがきわめて低
い場合に特に有利である。
による粒子線装置の電子光学構成要素の断面図。
原理上の光路を示す図。
線装置の光源側部分の概略原理図。
るための対物レンズの2つのさらに別の実施形態を示す
図。
管、6…開口絞り、7…エネルギーフィルタ、8…エネ
ルギー選択絞り、9…入力側像平面、10…出力側像平
面、13…対物レンズ、15…標本、16…一次電子検
出器、17…第2のスリット絞り、33,36…対物レ
ンズ、35,38…標本。
Claims (10)
- 【請求項1】 粒子線発生器(1,1a)と対物レンズ
(13,33,36)との間に配置され、分散を有する
エネルギーフィルタ(7)を有し、そのエネルギーフィ
ルタ(7)は第1の入力側平面(9)を色消し状態で第
1の出力側平面(10)に結像すると共に、第2の入力
側平面(6)を第2の出力側平面(8)に分散結像し、
且つ粒子線発生器(1,1a)はエネルギーフィルタ
(7)の第1の入力側平面(9)に結像されている粒子
線装置、特に電子線装置。 - 【請求項2】 エネルギーフィルタの動作は第2の出力
側平面で絞り(8)により行われる請求項1記載の粒子
線装置。 - 【請求項3】 粒子線発生器(1,1a)は第1の入力
側平面(9)に拡大結像されている請求項1又は2記載
の粒子線装置。 - 【請求項4】 フィルタ(7)内部の粒子エネルギーは
5から30KeVである請求項1から3のいずれか1項
に記載の粒子線装置。 - 【請求項5】 粒子は対物レンズ(13,33,36)
において又は対物レンズ(36)と検査すべき標本(1
5,35,38)との間でより低いエネルギーまで制動
される請求項1から4のいずれか1項に記載の粒子線装
置。 - 【請求項6】 粒子線発生器(1,1a)は対物レンズ
により検査すべき標本(15,35,38)の上へ集束
され、検査すべき標本(15,35,38)を走査する
偏向手段(14)が設けられている請求項1から5のい
ずれか1項に記載の粒子線装置。 - 【請求項7】 対物レンズ(13)とフィルタ(7)と
の間に、二次粒子を検出する検出器(12)が設けられ
ている請求項1から6のいずれか1項に記載の粒子線装
置。 - 【請求項8】 反射散乱粒子を検出する別の検出器(1
6)が設けられている請求項1から7のいずれか1項に
記載の粒子線装置。 - 【請求項9】 フィルタ(7)と反射散乱粒子を検出す
る検出器(16)との間に、エネルギー選択のための絞
り(17)が設けられている請求項8記載の粒子線装
置。 - 【請求項10】 フィルタ(7)は粒子のエネルギーに
対して5から20μm/eV、好ましくは10から15
μM/eVの分散を有する請求項1から9のいずれか1
項に記載の粒子線装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19746785.7 | 1997-10-23 | ||
DE19746785A DE19746785A1 (de) | 1997-10-23 | 1997-10-23 | Teilchenstrahlgerät mit Energiefilter |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11195396A true JPH11195396A (ja) | 1999-07-21 |
JP4205224B2 JP4205224B2 (ja) | 2009-01-07 |
Family
ID=7846360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29950498A Expired - Lifetime JP4205224B2 (ja) | 1997-10-23 | 1998-10-21 | エネルギーフィルタを有する粒子線装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6239430B1 (ja) |
EP (1) | EP0911860B1 (ja) |
JP (1) | JP4205224B2 (ja) |
DE (2) | DE19746785A1 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003297271A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Hitachi High-Technologies Corp | モノクロメータ付走査形電子顕微鏡 |
JP2004134386A (ja) * | 2002-08-06 | 2004-04-30 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 粒子光学配置および粒子光学システム |
JP2004165146A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-06-10 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 電子顕微鏡システム |
US7022983B2 (en) | 2003-01-08 | 2006-04-04 | Hitachi High-Technologies Corporation | Monochromator and scanning electron microscope using the same |
JP2013178879A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
JP2014032943A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Sadao Nomura | エネルギー幅の小さい電子ビームを試料に照射する走査型電子顕微鏡。 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6787772B2 (en) * | 2000-01-25 | 2004-09-07 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
DE10107910A1 (de) * | 2001-02-20 | 2002-08-22 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | Teilchenstrahlsystem mit einem Spiegelkorrektor |
US7022987B2 (en) | 2001-02-20 | 2006-04-04 | Carl Zeiss Nis Gmbh | Particle-optical arrangements and particle-optical systems |
US20060058869A1 (en) * | 2004-09-14 | 2006-03-16 | Vascular Architects, Inc., A Delaware Corporation | Coiled ladder stent |
US20070090288A1 (en) * | 2005-10-20 | 2007-04-26 | Dror Shemesh | Method and system for enhancing resolution of a scanning electron microscope |
JP4685637B2 (ja) * | 2006-01-05 | 2011-05-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡 |
DE102010056337A1 (de) * | 2010-12-27 | 2012-06-28 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Teilchenstrahlsystem und Spektroskopieverfahren |
DE102022120496A1 (de) * | 2022-08-12 | 2024-02-15 | Carl Zeiss Multisem Gmbh | Teilchenoptische Anordnung, insbesondere Vielstrahl-Teilchenmikroskop, mit einer Magnetanordnung zum Separieren eines primären und eines sekundären teilchenoptischen Strahlenganges |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3745337A (en) * | 1971-05-12 | 1973-07-10 | Jeol Ltd | Apparatus for separating charged particles according to their respective ranges |
DE3423149A1 (de) * | 1984-06-22 | 1986-01-02 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und anordnung zur elektronenenergiegefilterten abbildung eines objektes oder eines objektbeugungsdiagrammes mit einem transmissions-elektronenmikroskop |
DE3532698A1 (de) | 1985-09-13 | 1987-03-26 | Zeiss Carl Fa | Elektronenenergiefilter vom alpha-typ |
DE3532699A1 (de) * | 1985-09-13 | 1987-03-26 | Zeiss Carl Fa | Elektronenenergiefilter vom omega-typ |
JPS6293848A (ja) | 1985-10-21 | 1987-04-30 | Hitachi Ltd | 電界放射形走査電子顕微鏡及びその類似装置 |
JP3148353B2 (ja) * | 1991-05-30 | 2001-03-19 | ケーエルエー・インストルメンツ・コーポレーション | 電子ビーム検査方法とそのシステム |
DE4129403A1 (de) | 1991-09-04 | 1993-03-11 | Zeiss Carl Fa | Abbildungssystem fuer strahlung geladener teilchen mit spiegelkorrektor |
DE4310559A1 (de) | 1993-03-26 | 1994-09-29 | Zeiss Carl Fa | Abbildendes Elektronenenergiefilter |
DE69529987T2 (de) * | 1994-07-15 | 2004-01-15 | Hitachi Ltd | Elektronischer energiefilter |
JP3139920B2 (ja) * | 1994-07-25 | 2001-03-05 | 株式会社日立製作所 | エネルギフィルタおよびこれを備えた透過電子顕微鏡 |
JP3497336B2 (ja) * | 1996-12-03 | 2004-02-16 | 日本電子株式会社 | エネルギーフィルタ |
US5955732A (en) * | 1997-02-27 | 1999-09-21 | Jeol Ltd. | Omega-type energy filter |
DE19738070A1 (de) * | 1997-09-01 | 1999-03-04 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | Energiefilter, insbesondere für ein Elektronenmikroskop |
-
1997
- 1997-10-23 DE DE19746785A patent/DE19746785A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-09-22 EP EP98117973A patent/EP0911860B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-22 DE DE59808683T patent/DE59808683D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-21 JP JP29950498A patent/JP4205224B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-23 US US09/177,900 patent/US6239430B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003297271A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Hitachi High-Technologies Corp | モノクロメータ付走査形電子顕微鏡 |
JP2004165146A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-06-10 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 電子顕微鏡システム |
JP4601927B2 (ja) * | 2002-08-02 | 2010-12-22 | カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハー | 電子顕微鏡システム |
JP2004134386A (ja) * | 2002-08-06 | 2004-04-30 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 粒子光学配置および粒子光学システム |
JP4693342B2 (ja) * | 2002-08-06 | 2011-06-01 | カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハー | 粒子光学配置および粒子光学システム |
US7022983B2 (en) | 2003-01-08 | 2006-04-04 | Hitachi High-Technologies Corporation | Monochromator and scanning electron microscope using the same |
US7315024B2 (en) | 2003-01-08 | 2008-01-01 | Hitachi High-Technologies Corporation | Monochromator and scanning electron microscope using the same |
US7838827B2 (en) | 2003-01-08 | 2010-11-23 | Hitachi High-Technologies Corporation | Monochromator and scanning electron microscope using the same |
JP2013178879A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
JP2014032943A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Sadao Nomura | エネルギー幅の小さい電子ビームを試料に照射する走査型電子顕微鏡。 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4205224B2 (ja) | 2009-01-07 |
US6239430B1 (en) | 2001-05-29 |
EP0911860A2 (de) | 1999-04-28 |
DE19746785A1 (de) | 1999-04-29 |
DE59808683D1 (de) | 2003-07-17 |
EP0911860A3 (de) | 2001-01-03 |
EP0911860B1 (de) | 2003-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11562881B2 (en) | Charged particle beam system | |
JP3403036B2 (ja) | 電子ビーム検査方法及びその装置 | |
JP6268169B2 (ja) | サンプルの表面を検査する装置および方法 | |
US6803571B1 (en) | Method and apparatus for dual-energy e-beam inspector | |
JPH1196957A (ja) | 粒子線装置 | |
JP7336926B2 (ja) | 性能が向上されたマルチ電子ビーム撮像装置 | |
JP4205224B2 (ja) | エネルギーフィルタを有する粒子線装置 | |
JP4527289B2 (ja) | オージェ電子の検出を含む粒子光学装置 | |
JP2000100361A (ja) | 粒子ビ―ムのエネルギ―幅を減らすデバイスを備えた粒子ビ―ム発生装置 | |
US20100044565A1 (en) | Scanning electron microscope having a monochromator | |
US4978855A (en) | Electron microscope for investigation of surfaces of solid bodies | |
KR20170009972A (ko) | 듀얼 빈 필터 모노크로메이터를 사용한 전자 빔 영상화 | |
JP3867048B2 (ja) | モノクロメータ及びそれを用いた走査電子顕微鏡 | |
JP2018006339A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
US7919749B2 (en) | Energy filter for cold field emission electron beam apparatus | |
JP7194849B2 (ja) | 電子光学システム | |
US9595417B2 (en) | High resolution charged particle beam device and method of operating the same | |
JP2007504606A (ja) | 粒子光学装置 | |
JP2019164886A (ja) | ビーム照射装置 | |
JP7188910B2 (ja) | 粒子ビームを生成するための粒子源及び粒子光学装置 | |
US6995378B2 (en) | Lens array with a laterally movable optical axis for corpuscular rays | |
JPH03295141A (ja) | 検出器 | |
JP3814968B2 (ja) | 検査装置 | |
US11276549B1 (en) | Compact arrangement for aberration correction of electron lenses | |
EP3379556A1 (en) | Scanning transmission electron microscope with a condenser objective system and a method of use thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050720 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080226 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080526 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080529 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080626 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080701 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080728 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080821 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081007 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081016 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121024 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121024 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131024 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |