JP4460394B2 - 3次元画像生成装置、3次元画像生成方法、3次元画像生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
3次元画像生成装置、3次元画像生成方法、3次元画像生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 Download PDFInfo
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Description
(試料台33)
(eプレビュー)
(3次元画像の生成)
(3次元画像生成プログラム)
(マニュアル観察モード)
(3次元画像を生成する手順)
(第2表示領域48)
(説明表示欄630)
(「1枚目の撮影」ステップ)
(「2枚目の撮影」ステップ)
(倍率連動機能)
(ガイド線682)
(3次元画像表示領域720)
1…コンピュータ;2…中央演算処理部
3…電子銃高圧電源;4…フィラメント
5…ウェーネルト;6…アノード
7…電子銃;8…電子線
9…ガンアライメントコイル;10…ガンアライメントコイル制御部
11…収束レンズ制御部;12…収束レンズ
13…対物レンズ絞り;14…非点収差補正コイル制御部
15…電子線偏向走査コイル制御部;16…対物レンズ制御部
17…非点収差補正コイル;18…電子線偏向走査コイル
19…対物レンズ;20…試料
21…二次電子検出器;22…反射電子検出器
23…二次電子検出増幅部;24…反射電子検出増幅部
25…A/D変換器;26…A/D変換器
27…画像データ生成部;28…表示部
29…プリンタ;30…排気系ポンプ
31…試料室;32…排気制御部;33…試料台
42…電子線撮像部
47…第1表示領域;47A…第1分割表示領域;47B…第2分割表示領域
48…第2表示領域
68…画像データ記憶部
70…3次元画像生成部;72…誘導部;74…モード切替部
101…第一のオート観察モード設定手段;102…第二のオート観察モード設定手段
103…マニュアル観察モード設定手段;104…画像ファイル編集モード設定手段
105…計測モード設定手段;106…メンテナンスモード設定手段
107…初期設定モード設定手段;108…「終了」アイコン
109…3次元画像モード設定手段
601…画像補正設定手段;601a…シャープネス設定手段
601b…ハイライト設定手段;601c…ガンマ補正設定手段
601d…輝度分布図;601e…オーバーレンジ抽出設定手段
603…個別条件設定手段;603a…「検出器」ボックス
603b…「加速電圧」ボックス;603c…「真空度」ボックス
603d…「スポットサイズ」ボックス
604…ファイル対応条件設定手段;605…「eプレビュー設定」ボタン
611…倍率設定部;611a…「倍率」ボタン
612…観察視野移動設定部;612a…「中心移動」ボタン
613…コントラスト・明るさ設定手段;614…非点収差調整設定手段
615…光軸調整設定手段
621…「3D」タブ
630…説明表示欄;640…フロー図
641…「1枚目の撮影」欄
650…観察条件設定部
652…「倍率誤差補正」ボタン
654…「撮影」ボタン;656…「次へ」ボタン
660…「最近保存した画像」の一覧表示欄
670…3次元画像生成モード選択部;672…「次へ」ボタン
681…枠状;682…ガイド線
700…3次元画像表示プログラムのインターフェース画面
720…3次元画像表示領域
730…照明シミュレーション設定部
731…「ドラッグ対象」欄;734…「ライト明るさ」欄
736…「見え方」欄;736B…「表面」スライダ;738…「色指定」欄
740…「高さ調整」欄;750…「高さ/SEM像」欄
760…「凹凸のみ表示」欄;770…「スケール」欄
780…ボタン類
Claims (7)
- 複数の視差画像から3次元画像の構築を行う3次元画像生成装置であって、
異なる画像を各々表示可能な第1分割表示領域と第2分割表示領域を有する表示部と、
前記表示部に表示される観察対象を、調整可能な観察倍率で撮像して観察像を取得するための撮像部と、
前記撮像部により第1の観察倍率で撮像して取得した第1の観察像を画像データとして記憶する画像データ記憶部と、
前記第2分割表示部に表示される観察像に対して、観察倍率の調整が可能な倍率設定部と、
前記第2分割表示領域に表示される観察像の観察倍率を前記倍率設定部で変更すると、前記第1分割表示領域に表示される、前記第1の観察像と同じ視点にて前記第1の観察倍率よりも低倍率で撮像した広域画像も、同じ表示倍率に調整する倍率連動部と、
前記画像データ記憶部に記憶された第1の観察像と、前記第1の観察像に対して視差を生じるように観察対象又は前記撮像部、光路の少なくとのいずれかを所定の角度に相対的に傾斜させ、かつ第1の観察像と同じ視点とした観察対象を前記撮像部で撮像した第2の観察像とに基づいて、テクスチャを表示したソリッドモデル、テクスチャを非表示したソリッドモデル又はワイヤフレームで表現される3次元画像を生成する3次元画像生成部と、
を備えており、
前記3次元画像を生成するための第2の観察像を撮像する際に第2分割表示領域に前記観察像を表示させると共に、第1分割表示領域に第1の観察像に関する位置合わせのための前記広域画像を参照画像として表示させ、
前記第2分割表示領域に表示される観察像を前記倍率設定部で前記観察倍率を拡大・縮小することにより表示倍率を拡大・縮小するのに追従して、前記第1分割表示領域に表示される参照画像が前記倍率連動部によって前記第2分割表示領域の観察像と同じ表示倍率に拡大・縮小可能であることを特徴とする3次元画像生成装置。 - 請求項1に記載の3次元画像生成装置であって、
前記第1分割表示領域および第2分割表示領域に、位置の確認を補助するためのガイド線を重ねて表示可能に構成してなることを特徴とする3次元画像生成装置。 - 請求項1または2に記載の3次元画像生成装置であって、
前記表示部がさらに第2表示領域を備え、前記第2表示領域に前記参照画像の全体を広域画像として表示すると共に、前記第1分割表示領域に表示中の領域を枠状にして前記参照画像上に重ねて表示可能としたことを特徴とする3次元画像生成装置。 - 複数の視差画像から3次元画像の構築を行う3次元画像生成装置であって、
観察対象を裁置するためのステージと、前記ステージ上の観察対象に対して電子線を照射するための電子銃と、観察対象から放出される二次電子または反射電子を検出するための1以上の検出器と、前記検出器で検出された情報に基づいて電子線観察像を結像し、調整可能な観察倍率で撮像して観察像を取得するための電子線撮像部と、前記電子線撮像部で撮像された観察像を表示するための表示部であって異なる画像を各々表示可能な第1分割表示領域と第2分割表示領域を有する表示部と、
前記電子線撮像部により第1の観察倍率で撮像して取得した第1の観察像を画像データとして記憶する画像データ記憶部と、
を備え、
所定の像観察条件に基づいて、前記電子銃に加速電圧を印加して電子線を観察対象に照射し、観察対象から放出される二次電子または反射電子を前記検出器で検出しながら観察対象表面の所望の領域を走査することで、観察像を結像し前記表示部に表示可能な電子顕微鏡であり、
前記第2分割表示部に表示される観察像に対して、観察倍率の拡大/縮小および少なくとも移動、傾きのいずれかを調整可能な視野設定部と、
前記第2分割表示領域に表示される観察像の観察倍率を前記視野設定部で変更すると、前記第1分割表示領域に表示される、前記第1の観察像と同じ視点にて前記第1の観察倍率よりも低倍率で撮像した広域画像も、同じ表示倍率に調整する倍率連動部と、
前記画像データ記憶部に記憶された第1の観察像と、前記第1の観察像に対して視差を生じるように観察対象又は前記電子線撮像部、光路の少なくとのいずれかを所定の角度に相対的に傾斜させ、かつ第1の観察像と同じ視点とした観察対象を前記電子線撮像部で撮像した第2の観察像とに基づいて、テクスチャを表示したソリッドモデル、テクスチャを非表示したソリッドモデル又はワイヤフレームで表現される3次元画像を生成する3次元画像生成部と、
を備えており、
前記3次元画像を生成するための第2の観察像を撮像する際に第2分割表示領域に前記観察像を表示させると共に、第1分割表示領域に位置合わせのため第1の観察像と同じ観察像を低倍率で撮像した広域画像を参照画像として表示させ、
前記第2分割表示領域に表示される観察像を前記視野設定部で前記観察倍率を拡大・縮小することにより表示倍率を拡大・縮小するのに追従して、前記第1分割表示領域に表示される参照画像が前記倍率連動部によって前記第2分割表示領域の観察像と同じ表示倍率に拡大・縮小可能であることを特徴とする3次元画像生成装置。 - 複数の視差画像から3次元画像の構築を行う3次元画像生成方法であって、
第1の観察像を第1の観察倍率で取得するステップと、
観察対象を表示する表示部において異なる画像を各々表示可能な第1分割表示領域および第2分割表示領域に、それぞれ3次元画像を生成する基準となる第2の観察像を撮像するための観察像を第2分割表示領域に表示させると共に、第1分割表示領域に第1の観察像に関する位置合わせのための、前記第1の観察像と同じ視点にて前記第1の観察倍率よりも低倍率で撮像した広域画像を参照画像として表示させるステップと、
前記第2分割表示領域に表示される観察像の観察倍率を倍率設定部で調整すると、前記第1分割表示領域に表示される参照画像の表示倍率も倍率連動部により第2分割表示領域の観察倍率と同じ倍率となるように追随させながら、観察像を前記第1の観察像に対して視差を生じるように観察対象又は撮像部、光路の少なくとのいずれかを所定の角度に相対的に傾斜させ、かつ第1の観察像と同じ視点として撮像し、第2の観察像を撮像するステップと、
前記第1の観察像及び第2の観察像に基づいて3次元画像生成部で3次元画像を生成するステップと、
を有することを特徴とする3次元画像生成方法。 - 複数の視差画像から3次元画像の構築を行う3次元画像生成プログラムであって、
第1の観察像を第1の観察倍率で取得する機能と、
観察対象を表示する表示部において異なる画像を各々表示可能な第1分割表示領域および第2分割表示領域に、それぞれ3次元画像を生成する基準となる第2の観察像を撮像するための観察像を第2分割表示領域に表示させると共に、第1分割表示領域に第1の観察像に関する位置合わせのための、前記第1の観察像と同じ視点にて前記第1の観察倍率よりも低倍率で撮像した広域画像を参照画像として表示させる機能と、
前記第2分割表示領域に表示される観察像の観察倍率を倍率設定部で調整すると、前記第1分割表示領域に表示される参照画像の表示倍率も第2分割表示領域の観察倍率と同じ倍率となるように追随させる倍率連動機能と、
観察像を前記第1の観察像に対して視差を生じるように観察対象又は撮像部、光路の少なくとのいずれかを所定の角度に相対的に傾斜させ、かつ第1の観察像と同じ視点とした第2の観察像を撮像する機能と、
前記第1の観察像及び第2の観察像に基づいて3次元画像生成部で3次元画像を生成する機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする3次元画像生成プログラム。 - 請求項6に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体。
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