JP2016126955A - 電子検出装置および走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
試料に照射された一次電子線に基づいて、前記試料から放出される二次電子を検出する電子検出装置であって、
前記一次電子線の光軸を囲うように設けられた、前記試料から放出される二次電子を検出する環状の検知部を備え、
前記検知部には、前記光軸と平行な面を有する検知面が環状に沿って形成されている
ことを特徴とする。
また、上記目的を達成するために、本発明の走査電子顕微鏡は、上記構成の電子検出装置を備えることを特徴とする。
本発明の電子検出装置について説明する前に、当該電子検出装置を備える本発明の走査電子顕微鏡について説明する。図1は、本発明の走査電子顕微鏡の構成の一例を示す概略構成図である。
電子検出装置20は、本発明の電子検出装置であり、一次電子線の光軸Oを囲うように設けられた、試料2から放出される二次電子を検出する環状の検知部を備え、この検知部には、光軸Oと平行な面を有する検知面(受光面)が環状に沿って形成されていることを特徴としている。ここで、「平行」とは、一次電子線の光軸Oに対して厳密に平行である場合の他、実質的に平行である場合も含む意味であり、設計上あるいは製造上生ずる種々のばらつきの存在は許容される。また、「環状」には、円環状の他、矩形状や楕円状も含まれるものとする。
図2は、本発明の第1実施形態に係る電子検出装置の構成例を示す平面図である。図2に示すように、第1実施形態に係る電子検出装置20Aは、検知部としての二次電子の検知面(受光面)Sが、一次電子線の光軸Oと平行な面であって当該光軸Oの周りを囲むように円環状に形成されている。すなわち、検知面Sは、円環状の検知部の全周にわたって形成されており、検知面Sも円環状に形成されている。検知面Sを円環状とすることにより、一次電子線の光軸Oの軸周り方向において、光軸Oから検知面Sまでの距離を均等にすることができ、精度のよい検出信号を取得することができる。また、検知面Sの内側であって光軸Oとの間には、例えば円環状の分光器30が配置されている。すなわち、円環状の分光器30は、電子検出装置20Aの中心部に設けられている。分光器30は、試料2から放射状に放出される二次電子を一次電子線の光軸Oと垂直な方向に分散させる。
図3は、円環状の分光器の構成の一例を示す断面図である。図3において、分光器30は、光軸O(回転軸Q)を中心とした同心円状に配置された2つの電極31,32と、これら2つの電極31,32の間に画定される空間を閉じるように設けられた、電極31,32と同電位の2つの電極33,34とを有している。分光器30はさらに、2つの電極31,32と2つの電極33,34とに囲まれた空間内に設けられた、これらの電極31〜34とは異なる電位を印加できる電極35と、さらに異なる電位を印加できる電極36とを有している。
図4は、実施例1に係る導光部を示す構成図である。図4Aに平面図を示し、図4Bに側面図を示している。
図5は、実施例2に係る導光部を示す構成図である。図5に示すように、実施例2に係る導光部25は、開口部25aを有する放物形状の反射板からなる。この導光部25に対して、分光器30及びそれを囲む部材(シールド部21、シンチレータ部22等)はその中心(回転対称軸)が、放物形状の反射板の焦点P3に位置するように配置される。光検出部24は、板状のフォトマルチプライアなどからなり、放物形状の反射板の開口部25aの近傍に開口をふさぐように配置される。
図6は、本発明の第2実施形態に係る電子検出装置の構成例を示す平面図である。
なお、本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。
Claims (8)
- 試料に照射された一次電子線に基づいて、前記試料から放出される二次電子を検出する電子検出装置であって、
前記一次電子線の光軸を囲うように設けられた、前記試料から放出される二次電子を検出する環状の検知部を備え、
前記検知部には、前記光軸と平行な面を有する検知面が環状に沿って形成されている
ことを特徴とする電子検出装置。 - 前記検知部の環状は、前記一次電子線の光軸を中心とする円環形状である
ことを特徴とする請求項1に記載の電子検出装置。 - 前記検知部の外側に設けられた、電位を安定させる環状のシールド部と、
前記シールド部の外側に設けられた、前記試料から放出された二次電子を光に変換する環状のシンチレータ部と、
前記シンチレータ部から放出された光を検出する光検出部と、
前記シンチレータ部から放出された光を前記光検出部に導く導光部と、
を有することを特徴とする請求項1または2に記載の電子検出装置。 - 前記導光部は、2つの焦点を有する楕円形状の反射板からなり、
前記シールド部および前記シンチレータ部は、前記楕円形状の反射板の一方の焦点上に位置するように配置され、
前記光検出部は、前記楕円形状の反射板の他方の焦点上に位置するように配置されている
ことを特徴とする請求項3に記載の電子検出装置。 - 前記導光部は、焦点を有する開口部を備えた放物形状の反射板からなり、
前記シールド部および前記シンチレータ部は、前記放物形状の反射板の焦点上に位置するように配置され、
前記光検出部は、前記放物形状の反射板の開口部の近傍に配置される
ことを特徴とする請求項3に記載の電子検出装置。 - 前記検知部の外側に設けられた、電位を安定させる環状のシールド部と、
前記シールド部の外側に設けられた、複数の環状電極からなる多段構成のダイノード部と、
前記ダイノード部の外側に設けられた、前記ダイノード部から放出される二次電子を収集する環状の電子収集部と、
を有することを特徴とする請求項1または2に記載の電子検出装置。 - 前記検知部の内側に設けられた、前記試料から放出される二次電子を前記一次電子線の光軸と垂直な方向に分散させる環状の分光器を有する
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の電子検出装置。 - 試料に一次電子線を照射し走査する電子光学系と、
前記電子光学系によって前記試料に照射された一次電子線に基づいて、前記試料から放出される二次電子を検出する電子検出装置と、を備えた走査電子顕微鏡であって、
前記電子検出装置は、
前記一次電子線の光軸を囲うように設けられた、前記試料から放出される二次電子を検出する環状の検知部を備え、
前記検知部には、前記光軸と平行な面を有する検知面が環状に沿って形成されている
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。
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