JP4920539B2 - カソードルミネッセンス測定装置及び電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
W ・・・試料
EB ・・・電子線
75 ・・・電磁型対物レンズ
411・・・集光ミラー部
751・・・励磁コイル
752・・・ヨーク
753・・・磁極
Claims (6)
- 試料に電子線を照射して生じるカソードルミネッセンスを測定するカソードルミネッセンス測定装置であって、
前記電子線を収束して前記試料に照射する電磁型対物レンズと、前記電子線が照射された試料から生じるカソードルミネッセンスを集光する放物面鏡又は回転楕円面鏡のミラー面を有する集光ミラー部と、を備え、
前記集光ミラー部が、前記電磁型対物レンズの内部に配置されており、前記電磁型対物レンズの漏洩磁場が前記試料に印加されることを特徴とするカソードルミネッセンス測定装置。 - 前記電磁型対物レンズの漏洩磁場が前記試料に対して略垂直に印加されることを特徴とする請求項1記載のカソードルミネッセンス測定装置。
- 前記電磁型対物レンズが、励磁コイルと当該励磁コイルを収容するヨークと、当該ヨークの試料側端部に設けられた磁極とを備え、
前記ヨークに設けられた磁極の上方に前記集光ミラー部を配置していることを特徴とする請求項2記載のカソードルミネッセンス測定装置。 - 前記漏洩磁場が、1000ガウス以上である請求項1、2又は3記載のカソードルミネッセンス測定装置。
- 前記電磁型対物レンズが、前記試料を内部に収容可能な開口部を備えている請求項1、2、3又は4記載のカソードルミネッセンス測定装置。
- 請求項1乃至5記載のカソードルミネッセンス測定装置を備えた電子顕微鏡。
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