JP6228870B2 - 検出器および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
荷電粒子線の照射により試料で散乱された散乱荷電粒子線を検出し、前記試料を透過した透過荷電粒子線を通過させる検出器であって、
前記透過荷電粒子線を通過させるための第1貫通孔が設けられ、前記散乱荷電粒子線を光に変換するシンチレーターと、
前記シンチレーターで発生した光を第1開口から入射させて第2開口から射出する管部
と、
前記第2開口から射出された光を導くライトガイドと、
前記ライトガイドで導かれた光を検出する光検出部と、
を含み、
前記管部には、前記透過荷電粒子線を通過させるための第2貫通孔が設けられている。
前記管部の内面は、鏡面であってもよい。
前記シンチレーターは、前記管部と接しており、
前記管部は、導電性を有していてもよい。
前記シンチレーターは、前記ライトガイドとキャップ部とで挟まれることにより固定されていてもよい。
本発明に係る検出器を含む。
1.1. 検出器
まず、第1実施形態に係る検出器について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る検出器100を模式的に示す断面図である。図2は、第1実施形態に係る検出器100を模式的に示す図である。図2は、検出器100を電子線の入射方向から見た図である。なお、図2では、便宜上、筒体50、キャップ部60の図示を省略している。また、図1は、図2のI−I線断面図である。
する光を検出する。光検出部40は、ライトガイド30の端面に接続されている。光検出部40は、例えば、光電子増倍管(Photo Multiplier Tube、PMT)である。光電子増倍管とは、光電効果を利用して光エネルギーを増幅して電気エネルギーに変換する光検出器である。
光を効率よく伝搬させることができる。
次に、第1実施形態に係る検出器の製造方法について図面を参照しながら説明する。図6は、第1実施形態に係る検出器100の製造方法を模式的に示す断面図である。
次に、第2実施形態に係る荷電粒子線装置について図面を参照しながら説明する。図7は、第2実施形態に係る荷電粒子線装置1の構成を示す図である。ここでは、荷電粒子線装置1が、走査透過電子顕微鏡(STEM)である例について説明する。
まず、第3実施形態に係る検出器について図面を参照しながら説明する。図9は、第3実施形態に係る検出器300を模式的に示す断面図である。以下、第3実施形態に係る検出器300において、上述した第1実施形態に係る検出器100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
Claims (5)
- 荷電粒子線の照射により試料で散乱された散乱荷電粒子線を検出し、前記試料を透過した透過荷電粒子線を通過させる検出器であって、
前記透過荷電粒子線を通過させるための第1貫通孔が設けられ、前記散乱荷電粒子線を光に変換するシンチレーターと、
前記シンチレーターで発生した光を第1開口から入射させて第2開口から射出する管部と、
前記第2開口から射出された光を導くライトガイドと、
前記ライトガイドで導かれた光を検出する光検出部と、
を含み、
前記管部には、前記透過荷電粒子線を通過させるための第2貫通孔が設けられている、検出器。 - 請求項1において、
前記管部の内面は、鏡面である、検出器。 - 請求項1または2において、
前記シンチレーターは、前記管部と接しており、
前記管部は、導電性を有している、検出器。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記シンチレーターは、前記ライトガイドとキャップ部とで挟まれることにより固定されている、検出器。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の検出器を含む荷電粒子線装置。
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JP2014051170A JP6228870B2 (ja) | 2013-06-19 | 2014-03-14 | 検出器および荷電粒子線装置 |
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JP2015026596A JP2015026596A (ja) | 2015-02-05 |
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- 2014-03-14 JP JP2014051170A patent/JP6228870B2/ja active Active
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