JP5822614B2 - 検査装置 - Google Patents
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- 電子を略平行電子ビームとして、試料に照射し、該試料表面近傍で反射した前記電子ビームを前記試料表面上に形成した電界によって引き上げ、電子光学的手段によって電子像を得る、反射結像型電子顕微鏡を用いた検査装置において、
前記反射結像型電子顕微鏡の対物レンズの周囲に、可視から紫外線領域の範囲の光を発生させる光源と、該光源と対向する位置に、該光源から発生し前記試料表面で反射する光を受光する受光器と、前記光源と対向しない位置に、該光源から発生し前記試料表面で散乱した光を検出する1つまたは複数の検出器を備えたことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、前記光源がレーザー光源であることを特徴とする検査装置。
- 請求項2に記載の検査装置において、前記レーザー光源は前記対物レンズの側方の空間に、前記試料の検査領域に向けて配置することを特徴とする検査装置。
- 請求項1に記載の検査装置において、前記レーザー光源の出射口で発生する散乱光が前記検出器に検出されることを防ぐための絶縁体材料の中空筒を、前記出射口に備えたことを特徴とする検査装置。
- 請求項1に記載の検査装置において、前記検出器が前記試料の検査領域を中心に複数放射状に配置されていることを特徴とする検査装置。
- 請求項1に記載の検査装置において、前記対物レンズの周囲を、空間を介して壁で囲い、該壁の上部に前記検出器を配置したことを特徴とする検査装置。
- 請求項6に記載の検査装置において、前記壁は内側が反射面となっている曲面反射鏡であり、前記検出器は環状検出器であることを特徴とする検査装置。
- 請求項1に記載の検査装置において、前記受光器は、該受光器に設けられた開口から入射させた反射光を、その内壁で散乱させる容器形状であることを特徴とする検査装置。
- 請求項8に記載の検査装置において、前記容器は、その内部に光学レンズを備えていることを特徴とする検査装置。
- 請求項8に記載の検査装置において、前記容器は、曲げた形状であり、曲げ部の内部に反射鏡を備えていることを特徴とする検査装置。
- 請求項10に記載の検査装置において、前記容器の内部に前記反射光が通過できる開口を備えていることを特徴とする検査装置。
- 電子を略平行電子ビームとして、試料に照射し、該試料表面近傍で反射した前記電子ビームを前記試料表面上に形成した電界によって引き上げ、電子光学的手段によって電子像を得る、反射結像型電子顕微鏡において、
前記電子像は電気信号に変換され、異物判定部により異物情報を記憶するとともに、
前記反射結像型電子顕微鏡の対物レンズの周囲に、可視から紫外線領域の範囲の光を発生させる光源と、該光源と対向する位置に、該光源から発生し前記試料表面で反射する光を受光する受光器と、前記光源と対向しない位置に、前記光源から発生し前記試料表面で散乱した光を検出する1つまたは複数の検出器を備えた光学式異物検査ユニットを有し、
前記検出器により異物からの信号が検出されると、光学式異物検査ユニット制御部に記憶し、
前記異物判定部に記憶された異物情報と、前記光学式異物検査ユニット制御部に記憶された異物情報とを直接比較することを特徴とする検査装置。
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