JP6084902B2 - 検出器および荷電粒子線装置 - Google Patents
検出器および荷電粒子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6084902B2 JP6084902B2 JP2013128576A JP2013128576A JP6084902B2 JP 6084902 B2 JP6084902 B2 JP 6084902B2 JP 2013128576 A JP2013128576 A JP 2013128576A JP 2013128576 A JP2013128576 A JP 2013128576A JP 6084902 B2 JP6084902 B2 JP 6084902B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- emitting unit
- light emitting
- light
- detector
- charged particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2008—Measuring radiation intensity with scintillation detectors using a combination of different types of scintillation detectors, e.g. phoswich
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2443—Scintillation detectors
Description
荷電粒子線を検出するための検出器であって、
前記荷電粒子線を光に変換する第1発光部と、
前記第1発光部を透過した前記荷電粒子線を光に変換する第2発光部と、
前記第1発光部で発生した光および前記第2発光部で発生した光を検出する光検出部と、
を含み、
前記第1発光部は、粉末のシンチレーターであり、
前記第2発光部は、単結晶のシンチレーターである。
前記第2発光部は、前記第1発光部で発生した光を透過し、
前記光検出部は、前記第1発光部で発生して前記第2発光部を透過した光を検出してもよい。
前記第1発光部の厚さは、5μm以上500μm以下であってもよい。
前記第1発光部を覆っている導体膜を含んでいてもよい。
本発明に係る検出器を含む。
ない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1.1. 検出器
まず、第1実施形態に係る検出器について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る検出器100を模式的に示す断面図である。
ず、例えば、5μm以上500μm以下である。
B2)を加速する電場をつくるための電圧である。例えば透過電子顕微鏡において、加速電圧は、電子銃の陰極と陽極との間に印加された電圧である。また、輝度とは、第1発光部10および第2発光部20において、散乱荷電粒子線(散乱電子EB2)を変換して発生する光の輝度をいう。
部10および第2発光部20を容易に交換することができる。
次に、第1実施形態に係る検出器の製造方法について図面を参照しながら説明する。図6および図7は、第1実施形態に係る検出器100の製造方法を模式的に示す断面図である。
次に、第2実施形態に係る荷電粒子線装置について図面を参照しながら説明する。図8は、第2実施形態に係る荷電粒子線装置1の構成を示す図である。ここでは、荷電粒子線装置1が、走査透過電子顕微鏡(STEM)である例について説明する。
ズ3は、図示はしないが、多段に構成されていてもよい。
せて、画像(暗視野像)を生成する。
次に、第3実施形態に係る荷電粒子線装置について図面を参照しながら説明する。図9は、第3実施形態に係る荷電粒子線装置1Aの構成を示す図である。ここでは、荷電粒子線装置1Aが、走査電子顕微鏡(SEM)である例について説明する。
子線EBを、走査コイル4を用いて試料S上で走査する。
Claims (5)
- 荷電粒子線を検出するための検出器であって、
前記荷電粒子線を光に変換する第1発光部と、
前記第1発光部を透過した前記荷電粒子線を光に変換する第2発光部と、
前記第1発光部で発生した光および前記第2発光部で発生した光を検出する光検出部と、
を含み、
前記第1発光部は、粉末のシンチレーターであり、
前記第2発光部は、単結晶のシンチレーターである、検出器。 - 請求項1において、
前記第2発光部は、前記第1発光部で発生した光を透過し、
前記光検出部は、前記第1発光部で発生して前記第2発光部を透過した光を検出する、検出器。 - 請求項1または2において、
前記第1発光部の厚さは、5μm以上500μm以下である、検出器。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記第1発光部を覆っている導体膜を含む、検出器。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の検出器を含む荷電粒子線装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013128576A JP6084902B2 (ja) | 2013-06-19 | 2013-06-19 | 検出器および荷電粒子線装置 |
US14/307,551 US9029768B2 (en) | 2013-06-19 | 2014-06-18 | Detector and charged particle beam instrument |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013128576A JP6084902B2 (ja) | 2013-06-19 | 2013-06-19 | 検出器および荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015005351A JP2015005351A (ja) | 2015-01-08 |
JP6084902B2 true JP6084902B2 (ja) | 2017-02-22 |
Family
ID=52110108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013128576A Active JP6084902B2 (ja) | 2013-06-19 | 2013-06-19 | 検出器および荷電粒子線装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9029768B2 (ja) |
JP (1) | JP6084902B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020008526A1 (ja) * | 2018-07-03 | 2020-01-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線検出器、電子顕微鏡、電子線エネルギー損失分光装置および撮像装置 |
US11348757B2 (en) * | 2018-07-19 | 2022-05-31 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam device |
WO2020026422A1 (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP7076021B1 (ja) * | 2021-03-10 | 2022-05-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | ライトガイド、電子線検出器、及び荷電粒子装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51137370A (en) * | 1975-05-23 | 1976-11-27 | Hitachi Ltd | Electron line detector |
US7612342B1 (en) * | 2005-09-27 | 2009-11-03 | Radiation Monitoring Devices, Inc. | Very bright scintillators |
JP2013026152A (ja) | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
-
2013
- 2013-06-19 JP JP2013128576A patent/JP6084902B2/ja active Active
-
2014
- 2014-06-18 US US14/307,551 patent/US9029768B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015005351A (ja) | 2015-01-08 |
US20140374594A1 (en) | 2014-12-25 |
US9029768B2 (en) | 2015-05-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2518755B1 (en) | In-column detector for particle-optical column | |
JP6012191B2 (ja) | 荷電粒子顕微鏡に用いられる検出方法 | |
US8513604B2 (en) | Detection device and particle beam device having a detection device | |
JP6084902B2 (ja) | 検出器および荷電粒子線装置 | |
EP2521157A1 (en) | Segmented charged particle detector using scintillator material | |
JP6576257B2 (ja) | 荷電粒子検出器、及び荷電粒子線装置 | |
JP2015087236A (ja) | 質量分布計測方法及び質量分布計測装置 | |
WO2019064496A1 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
US20130056634A1 (en) | Charged Particle Detector System Comprising a Conversion Electrode | |
US10984979B2 (en) | Charged particle detector and charged particle beam apparatus | |
JP2015230195A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2013026152A (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP6228870B2 (ja) | 検出器および荷電粒子線装置 | |
US9202667B2 (en) | Charged particle radiation device with bandpass detection | |
WO2013175972A1 (ja) | 電子顕微鏡および電子検出器 | |
JP6640531B2 (ja) | 電子が持つエネルギーの計測装置と計測方法 | |
JPH1054878A (ja) | 蛍光装置およびこれを用いた撮像装置並びに検査装置 | |
RU2452052C1 (ru) | Рентгеновский микроскоп наноразрешения | |
KR101939465B1 (ko) | 양전자 빔 집속 장치 및 이를 이용한 양전자 현미경 | |
JP4547507B2 (ja) | イオンビーム検出器 | |
WO2001084590A2 (en) | Method and apparatus for imaging a specimen using indirect in-column detection of secondary electrons in a microcolumn | |
CN114252653A (zh) | 超快成像装置及其方法 | |
JPH11213933A (ja) | 蛍光装置およびこれを用いた撮像装置並びに検査装置 | |
JP2007073529A (ja) | イメージインテンシファイア装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170111 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6084902 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |