JP2015005351A - 検出器および荷電粒子線装置 - Google Patents
検出器および荷電粒子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015005351A JP2015005351A JP2013128576A JP2013128576A JP2015005351A JP 2015005351 A JP2015005351 A JP 2015005351A JP 2013128576 A JP2013128576 A JP 2013128576A JP 2013128576 A JP2013128576 A JP 2013128576A JP 2015005351 A JP2015005351 A JP 2015005351A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- emitting unit
- light emitting
- detector
- charged particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 57
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract description 58
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 13
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 34
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 229910019655 synthetic inorganic crystalline material Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PSNPEOOEWZZFPJ-UHFFFAOYSA-N alumane;yttrium Chemical compound [AlH3].[Y] PSNPEOOEWZZFPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 229920003217 poly(methylsilsesquioxane) Polymers 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2008—Measuring radiation intensity with scintillation detectors using a combination of different types of scintillation detectors, e.g. phoswich
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2443—Scintillation detectors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
荷電粒子線を検出するための検出器であって、
前記荷電粒子線を光に変換する第1発光部と、
前記第1発光部を透過した前記荷電粒子線を光に変換する第2発光部と、
前記第1発光部で発生した光および前記第2発光部で発生した光を検出する光検出部と、
を含み、
前記第1発光部は、粉末のシンチレーターであり、
前記第2発光部は、単結晶のシンチレーターである。
前記第2発光部は、前記第1発光部で発生した光を透過し、
前記光検出部は、前記第1発光部で発生して前記第2発光部を透過した光を検出してもよい。
前記第1発光部の厚さは、5μm以上500μm以下であってもよい。
前記第1発光部を覆っている導体膜を含んでいてもよい。
本発明に係る検出器を含む。
ない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1.1. 検出器
まず、第1実施形態に係る検出器について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る検出器100を模式的に示す断面図である。
ず、例えば、5μm以上500μm以下である。
B2)を加速する電場をつくるための電圧である。例えば透過電子顕微鏡において、加速電圧は、電子銃の陰極と陽極との間に印加された電圧である。また、輝度とは、第1発光部10および第2発光部20において、散乱荷電粒子線(散乱電子EB2)を変換して発生する光の輝度をいう。
部10および第2発光部20を容易に交換することができる。
次に、第1実施形態に係る検出器の製造方法について図面を参照しながら説明する。図6および図7は、第1実施形態に係る検出器100の製造方法を模式的に示す断面図である。
次に、第2実施形態に係る荷電粒子線装置について図面を参照しながら説明する。図8は、第2実施形態に係る荷電粒子線装置1の構成を示す図である。ここでは、荷電粒子線装置1が、走査透過電子顕微鏡(STEM)である例について説明する。
ズ3は、図示はしないが、多段に構成されていてもよい。
せて、画像(暗視野像)を生成する。
次に、第3実施形態に係る荷電粒子線装置について図面を参照しながら説明する。図9は、第3実施形態に係る荷電粒子線装置1Aの構成を示す図である。ここでは、荷電粒子線装置1Aが、走査電子顕微鏡(SEM)である例について説明する。
子線EBを、走査コイル4を用いて試料S上で走査する。
Claims (5)
- 荷電粒子線を検出するための検出器であって、
前記荷電粒子線を光に変換する第1発光部と、
前記第1発光部を透過した前記荷電粒子線を光に変換する第2発光部と、
前記第1発光部で発生した光および前記第2発光部で発生した光を検出する光検出部と、
を含み、
前記第1発光部は、粉末のシンチレーターであり、
前記第2発光部は、単結晶のシンチレーターである、検出器。 - 請求項1において、
前記第2発光部は、前記第1発光部で発生した光を透過し、
前記光検出部は、前記第1発光部で発生して前記第2発光部を透過した光を検出する、検出器。 - 請求項1または2において、
前記第1発光部の厚さは、5μm以上500μm以下である、検出器。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記第1発光部を覆っている導体膜を含む、検出器。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の検出器を含む荷電粒子線装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013128576A JP6084902B2 (ja) | 2013-06-19 | 2013-06-19 | 検出器および荷電粒子線装置 |
US14/307,551 US9029768B2 (en) | 2013-06-19 | 2014-06-18 | Detector and charged particle beam instrument |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013128576A JP6084902B2 (ja) | 2013-06-19 | 2013-06-19 | 検出器および荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015005351A true JP2015005351A (ja) | 2015-01-08 |
JP6084902B2 JP6084902B2 (ja) | 2017-02-22 |
Family
ID=52110108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013128576A Active JP6084902B2 (ja) | 2013-06-19 | 2013-06-19 | 検出器および荷電粒子線装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9029768B2 (ja) |
JP (1) | JP6084902B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020008526A1 (ja) * | 2018-07-03 | 2020-01-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線検出器、電子顕微鏡、電子線エネルギー損失分光装置および撮像装置 |
WO2022190473A1 (ja) * | 2021-03-10 | 2022-09-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | ライトガイド、電子線検出器、及び荷電粒子装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11348757B2 (en) * | 2018-07-19 | 2022-05-31 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam device |
US11545334B2 (en) * | 2018-08-02 | 2023-01-03 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam device |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51137370A (en) * | 1975-05-23 | 1976-11-27 | Hitachi Ltd | Electron line detector |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7612342B1 (en) * | 2005-09-27 | 2009-11-03 | Radiation Monitoring Devices, Inc. | Very bright scintillators |
JP2013026152A (ja) | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
-
2013
- 2013-06-19 JP JP2013128576A patent/JP6084902B2/ja active Active
-
2014
- 2014-06-18 US US14/307,551 patent/US9029768B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51137370A (en) * | 1975-05-23 | 1976-11-27 | Hitachi Ltd | Electron line detector |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020008526A1 (ja) * | 2018-07-03 | 2020-01-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線検出器、電子顕微鏡、電子線エネルギー損失分光装置および撮像装置 |
WO2022190473A1 (ja) * | 2021-03-10 | 2022-09-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | ライトガイド、電子線検出器、及び荷電粒子装置 |
JP2022138495A (ja) * | 2021-03-10 | 2022-09-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | ライトガイド、電子線検出器、及び荷電粒子装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6084902B2 (ja) | 2017-02-22 |
US9029768B2 (en) | 2015-05-12 |
US20140374594A1 (en) | 2014-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2518755B1 (en) | In-column detector for particle-optical column | |
JP6012191B2 (ja) | 荷電粒子顕微鏡に用いられる検出方法 | |
JP6084902B2 (ja) | 検出器および荷電粒子線装置 | |
EP2521157A1 (en) | Segmented charged particle detector using scintillator material | |
JP6576257B2 (ja) | 荷電粒子検出器、及び荷電粒子線装置 | |
JP2015087237A (ja) | 質量分布計測方法及び質量分布計測装置 | |
WO2019064496A1 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
US8952328B2 (en) | Charged particle detector system comprising a conversion electrode | |
JP2013026152A (ja) | 電子顕微鏡 | |
US10984979B2 (en) | Charged particle detector and charged particle beam apparatus | |
US9202667B2 (en) | Charged particle radiation device with bandpass detection | |
JP6228870B2 (ja) | 検出器および荷電粒子線装置 | |
CN114252653A (zh) | 超快成像装置及其方法 | |
WO2013175972A1 (ja) | 電子顕微鏡および電子検出器 | |
JPH1054878A (ja) | 蛍光装置およびこれを用いた撮像装置並びに検査装置 | |
KR101939465B1 (ko) | 양전자 빔 집속 장치 및 이를 이용한 양전자 현미경 | |
JP2005135611A (ja) | 複合型荷電粒子ビーム装置 | |
RU2452052C1 (ru) | Рентгеновский микроскоп наноразрешения | |
JP4547507B2 (ja) | イオンビーム検出器 | |
JPH11213933A (ja) | 蛍光装置およびこれを用いた撮像装置並びに検査装置 | |
WO2001084590A2 (en) | Method and apparatus for imaging a specimen using indirect in-column detection of secondary electrons in a microcolumn | |
JP2007073529A (ja) | イメージインテンシファイア装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170111 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6084902 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |