JP2013058314A5

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Info

Publication number: JP2013058314A5
Application number: JP2011194563A
Authority: JP
Filing date: 2011-09-07
Publication date: 2014-04-10
Anticipated expiration: 2031-09-07

Claims

プロ−ブとなる電子線を発生させる電子源と、
前記電子線の径を制限するアパ−チャと、
前記電子線が照射される試料が搭載される試料台と、
前記電子線を前記試料表面に収束するための対物レンズと、
前記電子線を照射する試料上で前記電子線を走査するための偏向手段と、
前記試料からの二次電子を検出する二次電子検出器と、
前記試料からの反射電子または反射電子に由来する変換電子を検出する反射電子検出器と、
前記電子源と前記試料台に搭載される試料の間となる位置に筒状の電子輸送手段を備え、
前記反射電子検出器の感受面は前記電子輸送手段の内部であって、前記二次電子検出器及び前記偏向手段よりも前記電子源に対して遠方側に設置され、
前記反射電子検出器の前記感受面は前記電子輸送手段と同電位となるように電気的に配線されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項１に記載の走査電子顕微鏡において、
前記対物レンズは電界レンズと磁界レンズとを含み、
前記磁界レンズは、セミインレンズ型であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項１に記載の走査電子顕微鏡において、
前記対物レンズは電界レンズと磁界レンズとを含み、
前記磁界レンズは、アウトレンズ型であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項１に記載の走査電子顕微鏡において、
前記反射電子検出器は、半導体検出器、アバランシェダイオ−ド、または、構成要素としてシンチレ−タ材料を用いる検出器であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項４に記載の走査電子顕微鏡において、
前記シンチレ−タ材料を用いる検出器は、シンチレ−タ、ライトガイド、光電子増倍管で構成される、Ｅｖｅｒｈａｒｔ−Ｔｈｏｒｎｌｅｙ型の検出器であることを特徴する走査電子顕微鏡。
請求項５に記載の走査電子顕微鏡において、
前記ライトガイドは、光ファイバであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項５に記載の走査電子顕微鏡において、
前記ライトガイドおよび前記シンチレ−タは、シンチレ−ティングファイバを具備していることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項３に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料と前記電子輸送手段の間隙に、反射電子を変換電子に変換するための電極を備えていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項１に記載の走査電子顕微鏡において、
前記反射電子検出器は、前記二次電子を通過させるための開口部を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項５に記載の走査電子顕微鏡において、
前記シンチレータは、その表面に導電体の膜が設けられていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項３に記載の走査電子顕微鏡において、
前記反射電子検出器は光軸に対して線対称な配置となるように２つ設置され、
２つの前記反射電子検出器は、前記磁界レンズの主面が２つ前記反射電子検出器の試料側下端よりも前記電子源側に形成されるように配置されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
電子源と、試料台と、加速管と対物レンズを含み前記電子源から放出された電子を加速後、減速して前記試料台に載置される試料に電子線として照射する電子光学系と、前記電子線の照射により生じる前記試料からの二次電子を検出するための二次電子検出器と反射電子または反射電子に由来する変換電子を検出するための反射電子検出器とを備えた走査電子顕微鏡において、
前記反射電子検出器はその中央部に開口部を有すると共に、その感受面は前記加速管の内部に設置され、
前記反射電子検出器の前記感受面は前記加速管と同電位となるように電気的に配線されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項１２に記載の走査電子顕微鏡において、
前記二次電子検出器は、前記反射電子検出器の前記開口部を通過した二次電子を検出するものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
請求項１２に記載の走査電子顕微鏡において、
前記反射電子検出器の感受面は、前記感受面に設けた導電体を介して前記加速管と電気的に接続されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。