JP2013120650A - 走査電子顕微鏡および二次電子検出方法 - Google Patents
走査電子顕微鏡および二次電子検出方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明に係る走査電子顕微鏡は、試料電圧源36を備え、試料13の表面の観察画像を取得するときには、試料電圧源36から試料13に対し、例えば300Vの正極電圧を印加して、試料13に一次電子線2を照射する。このとき、試料13の表面からは二次電子33および反射電子31が放出されるが、二次電子33は、印加された正極電圧のために試料13に引き戻され、試料13からは、実質的に反射電子31だけが放出される。また、反射電子31のうち高角度反射電子31aは、対物レンズ12の中を通ってその上部へ到達する。従って、二次電子検出器22では、低角度反射電子31bが対物レンズなどに衝突したときに放出される二次電子32、すなわち、低角度反射電子31bに由来する二次電子32だけが検出される。
【選択図】図2
Description
そこで、本発明は、簡単な構造で、とくに低角度反射電子に由来する二次電子を弁別して検出することが可能な走査電子顕微鏡および二次電子検出方法を提供することを目的とする。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る走査電子顕微鏡の概略構成の例を示した図である。図1に示すように、走査電子顕微鏡100において、電子源1と第一電極3との間に印加される引き出し電圧V1によって電子源1から引き出された一次電子線2は、第二電極4に印加される加速電圧Vaccによって加速され、後段の電磁レンズ系(第一集束レンズ6など)に進入する。このとき、引き出し電圧V1および加速電圧Vaccは、高電圧制御回路14で制御される。
図4は、本発明の第2の実施形態に係る走査電子顕微鏡における低角反射電子に由来する二次電子の検出構造および原理を模式的に示した図である。第2の実施形態に係る走査電子顕微鏡の基本的な構成は、前記した第1の実施形態に係る走査電子顕微鏡100と同じであるが、この第2の実施形態では、図4に示すように、対物レンズ12と試料13との間に円板状の遮蔽板35が追加された点で、第1の実施形態と相違している。なお、以下の説明では、第1の実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略している。
図5は、本発明の第3の実施形態に係る走査電子顕微鏡における高角反射電子に由来する二次電子の検出構造および原理を模式的に示した図である。第3の実施形態に係る走査電子顕微鏡の基本的な構成は、前記した第1の実施形態に係る走査電子顕微鏡100と同じであるが、この第3の実施形態では、図5に示すように、対物レンズ12と試料13との間に円筒状の遮蔽筒37が追加された点で、第1の実施形態と相違している。なお、以下の説明では、第1の実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略している。
図6は、本発明の実施形態の第1の変形例に係る走査電子顕微鏡における反射電子に由来する二次電子の検出構造および原理を模式的に示した図であり、(a)は、変形前の例、(b)は、変形後の例である。なお、ここでいう変形前の例は、前記した第1の実施形態に係る走査電子顕微鏡100に相当する。
図7は、本発明の実施形態の第2の変形例に係る走査電子顕微鏡における反射電子に由来する二次電子の検出構造および原理を模式的に示した図であり、(a)は、変形前の例、(b)は、変形後の例である。なお、ここでいう変形前の例は、前記した第1の実施形態に係る走査電子顕微鏡100に相当する。
図8は、本発明の実施形態の第3の変形例に係る走査電子顕微鏡における反射電子に由来する二次電子の検出構造および原理を模式的に示した図であり、(a)は、変形前の例、(b)は、変形後の例である。なお、ここでいう変形前の例は、前記した第1の実施形態に係る走査電子顕微鏡100に相当する。
図9は、本発明の実施形態の第4の変形例に係る走査電子顕微鏡における反射電子に由来する二次電子の検出構造および原理を模式的に示した図である。本発明の第1の実施形態では、二次電子検出器22が1つしか配設されていないが(図2参照)、この第4の変形例では、図9に示すように、対物レンズ12と試料13との間の空間の外周部に複数の二次電子検出器22を配設するようにしたものである。
図10は、本発明の第1の実施形態をセミインレンズ型の対物レンズに適用した場合における反射電子に由来する二次電子の検出構造および原理を模式的に示した図、図11は、本発明の第1の実施形態をインレンズ型の対物レンズに適用した場合における反射電子に由来する二次電子の検出構造および原理を模式的に示した図である。
2 一次電子線
3 第一電極
4 第二電極
5 電子線中心軸調節用アライナ
6 第一集束レンズ
7 電子線中心調整用偏向器
9 第二集束レンズ
10 上段偏向コイル
11 下段偏向コイル
12 対物レンズ(アウトレンズ型)
13 試料
14 高電圧制御回路
15 アライナ制御回路
16 第一集束レンズ制御回路
17 第二集束レンズ制御回路
18 偏向制御回路
19 対物レンズ制御回路
20 信号制御回路
21 増幅器
22 二次電子検出器
23 試料台制御回路
24 コンピュータ
25 表示装置
26 画像処理装置
27 記憶装置
28 入力装置
31 反射電子
31a 高角度反射電子
31b 低角度反射電子
32,33 二次電子
34 試料台
35 遮蔽板
36 試料電圧源
37 遮蔽筒
38 対物レンズ(セミアウトレンズ型)
39 対物レンズ(インレンズ型)
100 走査電子顕微鏡
Claims (8)
- 一次電子線を放出する電子源と、観察対象の試料を載置する試料台と、前記一次電子線を走査のために偏向させる偏向器と、前記一次電子線を前記試料の表面上に収束させる対物レンズと、前記対物レンズと前記試料台との間の空間の外周部に配設された二次電子検出器と、前記二次電子検出器の検出信号に基づき生成された前記試料表面の観察画像を表示する表示装置と、前記試料台に載置された前記試料に印加する試料電圧源と、を備え、
前記試料電圧源から前記試料に対し、前記一次電子線の照射によって前記試料から放出される二次電子のエネルギーよりも高く、かつ、前記一次電子線の照射によって前記試料から放出される反射電子のエネルギーよりも低い電子エネルギーに相当する正極電圧を印加し、
前記電子源から放出される前記一次電子線を前記試料に照射し、
前記一次電子線の照射によって前記試料の表面から放出される反射電子が前記対物レンズを含む前記試料の周辺部材に衝突したとき、前記周辺部材から放出される二次電子を、前記二次電子検出器で検出すること
を特徴とする走査電子顕微鏡。 - 前記対物レンズの下方で、かつ、前記試料台に載置された試料の上方の位置には、中央部に前記一次電子線を通過させるための開口部を有するとともに、前記反射電子のうち、前記試料表面に対して垂直に近い角度をなして前記試料表面から放出される高角度反射電子の多くを吸収して、遮蔽する遮蔽板が、さらに、配設されていること
を特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記遮蔽板は、軽元素を主成分とすること
を特徴とする請求項2に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記試料台に載置された試料の上方で、かつ、前記試料表面に略接する位置には、前記反射電子のうち、前記試料表面の垂直方向に対して傾斜した方向に放出される低角度反射電子の多くを吸収し、遮蔽する遮蔽筒が、さらに、配設されていること
を特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記遮蔽筒は、軽元素を主成分とすること
を特徴とする請求項4に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記試料台は、その上面に載置した前記試料を、前記一次電子線の照射路の中心軸に垂直な面に対して傾斜させて保持すること
を特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡。 - 前記二次電子検出器は、前記対物レンズと前記試料台との間の空間の外周部に、複数個配設されていること
を特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡。 - 一次電子線を放出する電子源と、観察対象の試料を載置する試料台と、前記一次電子線を走査のために偏向させる偏向器と、前記一次電子線を前記試料の表面上に収束させる対物レンズと、前記対物レンズと前記試料台との間の空間の外周部に配設された二次電子検出器と、前記二次電子検出器の検出信号に基づき生成された前記試料表面の観察画像を表示する表示装置と、前記試料台に載置された前記試料に印加する試料電圧源と、を備えた走査電子顕微鏡における二次電子検出方法であって、
前記試料電圧源から前記試料に対し、前記一次電子線の照射によって前記試料から放出される二次電子のエネルギーよりも高く、かつ、前記一次電子線の照射によって前記試料から放出される反射電子のエネルギーよりも低い電子エネルギーに相当する正極電圧を印加し、
前記電子源から放出される前記一次電子線を前記試料に照射し、
前記一次電子線の照射によって前記試料の表面から放出される反射電子が前記対物レンズを含む前記試料の周辺部材に衝突したとき、前記周辺部材から放出される二次電子を、前記二次電子検出器で検出すること
を特徴とする二次電子検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011267068A JP2013120650A (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | 走査電子顕微鏡および二次電子検出方法 |
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JP2013120650A5 JP2013120650A5 (ja) | 2014-12-04 |
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JP2011267068A Pending JP2013120650A (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | 走査電子顕微鏡および二次電子検出方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016120971A1 (ja) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線装置 |
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2011
- 2011-12-06 JP JP2011267068A patent/JP2013120650A/ja active Pending
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