JPH11273608A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH11273608A JPH11273608A JP7369998A JP7369998A JPH11273608A JP H11273608 A JPH11273608 A JP H11273608A JP 7369998 A JP7369998 A JP 7369998A JP 7369998 A JP7369998 A JP 7369998A JP H11273608 A JPH11273608 A JP H11273608A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- reflected electron
- composition
- phosphor
- sample
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【課題】シンチレータ方式反射電子検出器を具備する走
査電子顕微鏡において、１つの反射電子検出器で組成
像，凹凸像，組成と凹凸の混合像を分けて観察可能とな
る装置を提供することにある。 【解決手段】検出面下部に、試料面からの反射電子の反
射角度が、比較的高角度の範囲を遮る手段と、比較的低
角度の範囲の反射電子を遮る手段を具備するよう構成し
た走査電子顕微鏡。
査電子顕微鏡において、１つの反射電子検出器で組成
像，凹凸像，組成と凹凸の混合像を分けて観察可能とな
る装置を提供することにある。 【解決手段】検出面下部に、試料面からの反射電子の反
射角度が、比較的高角度の範囲を遮る手段と、比較的低
角度の範囲の反射電子を遮る手段を具備するよう構成し
た走査電子顕微鏡。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は反射電子検出器を具
備する走査電子顕微鏡の改良に関する。
備する走査電子顕微鏡の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のシンチレータ方式反射電子検出器
は組成像観察または組成像と凹凸像の混合像観察が一般
的であり凹凸像を観察する場合は検出器を凹凸情報のと
れる位置まで引き出して観察する方法が一般的であっ
た。また、１つの検出器においてそれらを分けて観察す
ることができなかった。
は組成像観察または組成像と凹凸像の混合像観察が一般
的であり凹凸像を観察する場合は検出器を凹凸情報のと
れる位置まで引き出して観察する方法が一般的であっ
た。また、１つの検出器においてそれらを分けて観察す
ることができなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記、従来のシンチレ
ータ方式反射電子検出器は、検出面(蛍光体)の形状によ
り組成情報を主に取り込む検出器と、組成情報と凹凸情
報を同時に取り込む検出器の２つのタイプが一般的であ
った。このため凹凸情報のみを取り出したい場合は、検
出面を凹凸情報のとれる位置に移動させて観察せざるを
得なかった。その結果、凹凸情報の一部しか検出するこ
とができなく、収量が低下するという問題点があった。
また、１つの反射電子検出器において、組成情報，凹凸
情報，組成と凹凸の混合情報の３つの情報をわけて取り
出すことができないという問題点もあった。
ータ方式反射電子検出器は、検出面(蛍光体)の形状によ
り組成情報を主に取り込む検出器と、組成情報と凹凸情
報を同時に取り込む検出器の２つのタイプが一般的であ
った。このため凹凸情報のみを取り出したい場合は、検
出面を凹凸情報のとれる位置に移動させて観察せざるを
得なかった。その結果、凹凸情報の一部しか検出するこ
とができなく、収量が低下するという問題点があった。
また、１つの反射電子検出器において、組成情報，凹凸
情報，組成と凹凸の混合情報の３つの情報をわけて取り
出すことができないという問題点もあった。
【０００４】本発明の目的は、１つのシンチレータ方式
の反射電子検出器において検出面を移動させることな
く、組成情報，凹凸情報，組成と凹凸の混合情報の３つ
の情報をわけて取り込むことにより、それぞれの画像を
得ることができる走査電子顕微鏡を提供することにあ
る。
の反射電子検出器において検出面を移動させることな
く、組成情報，凹凸情報，組成と凹凸の混合情報の３つ
の情報をわけて取り込むことにより、それぞれの画像を
得ることができる走査電子顕微鏡を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明はその１つとして、検出面下部に、比較的反
射電子が効率良く取り込める試料位置において、試料面
からの反射電子の反射角度が、比較的高角度の範囲に加
え検出面の半分から１／４程度を遮る手段を具備し、こ
れは反射電子の凹凸情報のみを検出する機能がある。更
に、試料面からの反射電子の反射角度が比較的低角度の
範囲の反射電子を遮る手段を具備し、これは反射電子の
組成情報のみを検出する機能がある。そして、これらの
手段を切り替えることにより凹凸像と組成像を切り替え
る。また、これらの手段をどちらも使用しない場合は、
凹凸と組成の混合像が得られる機能がある。
に、本発明はその１つとして、検出面下部に、比較的反
射電子が効率良く取り込める試料位置において、試料面
からの反射電子の反射角度が、比較的高角度の範囲に加
え検出面の半分から１／４程度を遮る手段を具備し、こ
れは反射電子の凹凸情報のみを検出する機能がある。更
に、試料面からの反射電子の反射角度が比較的低角度の
範囲の反射電子を遮る手段を具備し、これは反射電子の
組成情報のみを検出する機能がある。そして、これらの
手段を切り替えることにより凹凸像と組成像を切り替え
る。また、これらの手段をどちらも使用しない場合は、
凹凸と組成の混合像が得られる機能がある。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１（ａ),（ｂ）および図３
（ａ),（ｂ）は本発明の実施例を示す概略図である。
（ａ),（ｂ）は本発明の実施例を示す概略図である。
【０００７】図１及び図３（ａ),（ｂ）は、対物レンズ
１で収束された電子ビーム２を試料３上に照射し、試料
３からはね返った反射電子４を蛍光体５で受け、発光し
た光はライトガイド６を通り光電子倍増管で増幅される
いわゆるシンチレータ方式の反射電子検出器である。検
出面下部には、組成情報しゃへい板７と凹凸情報しゃへ
い板８が配置されている。
１で収束された電子ビーム２を試料３上に照射し、試料
３からはね返った反射電子４を蛍光体５で受け、発光し
た光はライトガイド６を通り光電子倍増管で増幅される
いわゆるシンチレータ方式の反射電子検出器である。検
出面下部には、組成情報しゃへい板７と凹凸情報しゃへ
い板８が配置されている。
【０００８】反射電子は試料面からの反射角度が高い範
囲のものは、試料の組成情報のコントラストが強く検出
され、反射角度が低い範囲のものは、凹凸情報のコント
ラストが強く検出されることは一般的に知られているこ
とである。そこで図１（ａ），（ｂ）に示すように、高
角度範囲の反射電子４をしゃへいする組成情報しゃへい
板７を蛍光体５下に移動させ配置することで、比較的低
角度範囲の反射電子４を取り込み凹凸像の観察が可能と
なる。ここでは１例として凹凸感を強調するため、いわ
ゆる影付きのある画像を得る為に組成情報に加え凹凸情
報の１／２もしゃへいしているが、凹凸情報を遮る範囲
はこれに限らない。
囲のものは、試料の組成情報のコントラストが強く検出
され、反射角度が低い範囲のものは、凹凸情報のコント
ラストが強く検出されることは一般的に知られているこ
とである。そこで図１（ａ），（ｂ）に示すように、高
角度範囲の反射電子４をしゃへいする組成情報しゃへい
板７を蛍光体５下に移動させ配置することで、比較的低
角度範囲の反射電子４を取り込み凹凸像の観察が可能と
なる。ここでは１例として凹凸感を強調するため、いわ
ゆる影付きのある画像を得る為に組成情報に加え凹凸情
報の１／２もしゃへいしているが、凹凸情報を遮る範囲
はこれに限らない。
【０００９】図２（ａ),（ｂ）は蛍光体５下に凹凸情報
しゃへい板８を移動させ配置することで、反対に比較的
高角度範囲の反射電子４を取り込み組成像の観察が可能
となる。図３（ａ),（ｂ）は蛍光体５の全面で反射電子
４を受けることで凹凸と組成の混合像の観察が可能とな
る。
しゃへい板８を移動させ配置することで、反対に比較的
高角度範囲の反射電子４を取り込み組成像の観察が可能
となる。図３（ａ),（ｂ）は蛍光体５の全面で反射電子
４を受けることで凹凸と組成の混合像の観察が可能とな
る。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、シンチレータ方式の反
射電子検出器を具備する走査電子顕微鏡において、今ま
では１つの検出器で別々に検出することができなかった
凹凸像，組成像，凹凸と組成の混合像を分けて観察する
ことが可能となる。
射電子検出器を具備する走査電子顕微鏡において、今ま
では１つの検出器で別々に検出することができなかった
凹凸像，組成像，凹凸と組成の混合像を分けて観察する
ことが可能となる。
【図１】（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施例である走査
電子顕微鏡の概略側断面図及び平面図。
電子顕微鏡の概略側断面図及び平面図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施例である走査
電子顕微鏡の概略側断面図及び平面図。
電子顕微鏡の概略側断面図及び平面図。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施例である走査
電子顕微鏡の概略側断面図及び平面図。
電子顕微鏡の概略側断面図及び平面図。
１…対物レンズ、２…電子ビーム、３…試料、４…反射
電子、５…蛍光体、６…ライトガイド、７…組成情報し
ゃへい板、８…凹凸情報しゃへい板。
電子、５…蛍光体、６…ライトガイド、７…組成情報し
ゃへい板、８…凹凸情報しゃへい板。
Claims (2)
- 【請求項１】対物レンズによって細く絞られ、試料に照
射された電子ビームが、試料にぶつかりはね返ってきた
電子、いわゆる反射電子を蛍光体によって光に変換し、
ライトガイドを通して光電子倍増管で増幅するシンチレ
ータ方式の反射電子検出器を具備する走査電子顕微鏡に
おいて、比較的効率良く反射電子が取り込める試料位置
における反射電子の試料面からの反射角度が、比較的高
角度の範囲に加え検出面の半分から１／４程度の範囲を
遮る手段と、反対に比較的低角度の範囲の反射電子を遮
る手段の両方を具備し、観察目的に応じ反射電子を遮る
手段を切り替えることで、凹凸像，組成像およびそれら
の混合像の観察を切り替えられることを特徴とした走査
電子顕微鏡。 - 【請求項２】観察者が目的に応じて、組成像，凹凸像，
組成と凹凸の混合像をメニュー選択、またはスイッチに
より切り替えることにより、自動的に目的に応じた像を
得ることを特徴とする請求項１記載の走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7369998A JPH11273608A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7369998A JPH11273608A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11273608A true JPH11273608A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13525733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7369998A Pending JPH11273608A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11273608A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008186689A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査形電子顕微鏡 |
| JP2009193968A (ja) * | 2003-01-31 | 2009-08-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| US8044352B2 (en) | 2008-03-31 | 2011-10-25 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscopy |
| JP2013120650A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡および二次電子検出方法 |
| WO2014050326A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡および電子線検出器 |
| NL2012566A (en) * | 2010-07-06 | 2014-04-22 | Zeiss Carl Nts Gmbh | Particle beam system. |
| JP2014225354A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | 日本電子株式会社 | 走査荷電粒子顕微鏡、画像取得方法、および電子検出方法 |
| WO2018020624A1 (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP7369998A patent/JPH11273608A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009193968A (ja) * | 2003-01-31 | 2009-08-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2008186689A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査形電子顕微鏡 |
| US8044352B2 (en) | 2008-03-31 | 2011-10-25 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscopy |
| NL2012566A (en) * | 2010-07-06 | 2014-04-22 | Zeiss Carl Nts Gmbh | Particle beam system. |
| JP2013120650A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡および二次電子検出方法 |
| JP2014067526A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡および電子線検出器 |
| WO2014050326A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡および電子線検出器 |
| KR20150036579A (ko) | 2012-09-25 | 2015-04-07 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 전자 현미경 및 전자선 검출기 |
| TWI482193B (zh) * | 2012-09-25 | 2015-04-21 | Hitachi High Tech Corp | Electron microscopy and electronic wire detectors |
| CN104584182A (zh) * | 2012-09-25 | 2015-04-29 | 株式会社日立高新技术 | 电子显微镜及电子射线检测器 |
| US9355815B2 (en) | 2012-09-25 | 2016-05-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope and electron beam detector |
| JP2014225354A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | 日本電子株式会社 | 走査荷電粒子顕微鏡、画像取得方法、および電子検出方法 |
| WO2018020624A1 (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| US10629408B2 (en) | 2016-07-28 | 2020-04-21 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam device |
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