JP6239322B2 - 複合粒子光学レンズの使用方法 - Google Patents
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Description
− 対称軸
− 前記試料位置に近い第1磁気レンズ極と前記試料位置から遠い第2磁気レンズ極
− 前記第1磁気レンズ極と前記第2磁気レンズ極との間で集束磁場を発生させる第1レンズコイル
− 前記第1磁気レンズ極と前記試料位置との間で集束浸漬磁場を発生させる第2レンズコイル
− 前記レンズを介して前記試料へ向かう荷電粒子ビームを通過させる中心孔を備える電極であって、前記電極と前記試料との間に電位差を印加することによって減速場を発生させる電極
を有する。
− 前記ビームが前記試料で微細に集束され、かつ、前記試料の電位差が所定の電位差となるように、当該複合レンズの浸漬コイル、レンズコイル、及び減速電場を励起させる段階、
− 前記検出器に衝突する後方散乱電子を検出する段階であって、
前記後方散乱電子は、選択された角度αと選択されたエネルギーEで前記試料から放出され、
前記選択された角度αは、前記後方散乱電子が前記試料を飛び出す際の当該複合レンズの対称軸とのなす角度で、かつ、
前記選択されたエネルギーEは、前記後方散乱電子が前記試料を飛び出す際のエネルギーである、
段階を有する。
− 前記電子検出器は、第1群の後方散乱電子と第2群の後方散乱電子とを区別するように備えられ、前記第1群の後方散乱電子は、前記第2群の後方散乱電子よりも前記対称軸に対して近い位置で前記検出器に衝突し、前記第1群の後方散乱電子は、前記第2群の後方散乱電子とは異なるαとEの組み合わせを有する。
− 前記第1コイルの励起と前記第2コイルの励起との比は、前記試料での焦点を維持しながら、前記第1群に属する後方散乱電子の一部と、前記第2群に属する後方散乱電子の一部を制御するのに用いられる。
102 荷電粒子ビーム
104 粒子光学軸
106 ポールピース
108 ポールピース
110 コイル
112 コイル
122 試料キャリア
114 電極
112 絶縁体
116 面
120 荷電粒子検出器
118 領域
205 環状体
206 環状体
207 環状体
205-1…205-3 環状セグメント
206-1…206-3 環状セグメント
207-1…207-3 環状セグメント
Claims (5)
- 微細に集束された荷電粒子ビームで試料を走査することによって、試料位置で前記試料の像を生成する方法であって、
前記微細に集束された荷電粒子ビームで試料を走査する結果、後方散乱電子が前記試料から放出され、
前記像は前記後方散乱電子を検出することによって生成され、
前記ビームは複合荷電粒子レンズによって集束され、
当該複合荷電粒子レンズは、
対称軸、
前記試料位置に近い第1磁気レンズ極と前記試料位置から遠い第2磁気レンズ極、
前記第1磁気レンズ極と前記第2磁気レンズ極との間で集束磁場を発生させる第1レンズコイル、
前記第1磁気レンズ極と前記試料位置との間で集束浸漬磁場を発生させる第2レンズコイル、及び、
当該複合荷電粒子レンズを介して前記試料へ向かう荷電粒子ビームを通過させる中心孔を備える電極であって、前記電極と前記試料との間に電位差を印加することによって、当該複合荷電粒子レンズと前記試料との間に減速電場を発生させる電極、を有し、
当該複合荷電粒子レンズは、該複合荷電粒子レンズの焦点強度を決定する少なくとも3つのパラメータを有し、
当該複合荷電粒子レンズは、前記電極の一部と一致して前記電極の一部を電気的に構成する、中心孔を備える感受性表面を有する電子検出器を有し:
前記ビームが前記試料で微細に集束され、かつ、前記試料の電位差が所定の電位差となるように、当該複合荷電粒子レンズの前記第1レンズコイル、前記第2レンズコイル、及び前記減速電場を励起させる段階;及び、
前記電子検出器に衝突する後方散乱電子を検出する段階であって、
前記後方散乱電子は、選択された角度αと選択されたエネルギーEで前記試料から放出され、
前記選択された角度αは、前記後方散乱電子が前記試料を飛び出す際の当該複合荷電粒子レンズの対称軸とのなす角度で、かつ、
前記選択されたエネルギーEは、前記後方散乱電子が前記試料を飛び出す際のエネルギーである、
段階;
を有し、
前記電子検出器は、第1群の後方散乱電子と第2群の後方散乱電子とを区別するように備えられ、前記第1群の後方散乱電子は、前記第2群の後方散乱電子よりも前記対称軸に対して近い位置で前記電子検出器に衝突し、前記第1群の後方散乱電子は、前記第2群の後方散乱電子とは異なるαとEの組み合わせを有し、
前記第1レンズコイルの励起と前記第2レンズコイルの励起との比は、前記試料での焦点を維持しながら、前記第1群に属する後方散乱電子の一部と、前記第2群に属する後方散乱電子の一部を制御するのに用いられる、
ことを特徴とする方法。 - 前記電子検出器が、2つ以上の環状検出領域を備える検出器で、
前記環状検出領域の一は前記第1群からの電子を検出し、前記環状検出領域の他は前記第2群からの電子を検出する、
請求項1に記載の方法。 - 前記電子検出器が画素化された検出器で、
第1群の画素の信号が結合されることで第1信号が与えられ、
第2群の画素の信号が結合されることで第2信号が与えられ、
前記第1信号は前記第1群の衝突電子の数に比例し、
前記第2信号は前記第2群の衝突電子の数に比例する、
請求項1に記載の方法。 - 第2検出器が、前記電極と一致する前記電子検出器よりも、前記試料位置から離れた位置に設けられ、
前記第2検出器は、第3群の後方散乱電子に比例する信号を与え、かつ、
前記第3群の後方散乱電子は前記中心孔を通過する、
請求項1乃至3のうちいずれか一項に記載の方法。 - 試料を走査する荷電粒子ビームで試料を集束する複合荷電粒子レンズであって、
対称軸、
試料位置に近い第1磁気レンズ極と前記試料位置から遠い第2磁気レンズ極、
前記第1磁気レンズ極と前記第2磁気レンズ極との間で集束磁場を発生させる第1レンズコイル、
前記第1磁気レンズ極と前記試料位置との間で集束浸漬磁場を発生させる第2レンズコイル、及び、
前記複合荷電粒子レンズを介して前記試料へ向かう荷電粒子ビームを通過させる中心孔を備える電極であって、前記電極と前記試料との間に電位差を印加することによって当該複合荷電粒子レンズと前記試料との間に減速電場を発生させる電極、
を有し、
当該複合荷電粒子レンズは、該複合荷電粒子レンズの焦点強度を決定する少なくとも3つのパラメータを有し、
当該複合荷電粒子レンズは中心孔を備える感受性表面を有する電子検出器を有し、
前記感受性表面は前記電極と一致し、
当該複合荷電粒子レンズの前記第1レンズコイル、前記第2レンズコイル、及び前記減速電場は、前記ビームが前記試料で微細に集束され、かつ、前記試料の電位差が所定の電位差となるように、励起され、
前記電子検出器は、前記試料からの後方散乱電子を検出し、
前記後方散乱電子は、選択された角度αと選択されたエネルギーEで前記試料から放出され、
前記選択された角度αは、前記後方散乱電子が前記試料を飛び出す際の当該複合荷電粒子レンズの対称軸とのなす角度で、かつ、
前記選択されたエネルギーEは、前記後方散乱電子が前記試料を飛び出す際のエネルギーであり、
前記電子検出器は、第1群からの衝突後方散乱電子と、前記第1群よりも前記軸から離れている第2群からの衝突後方散乱電子とを区別するように備えられ、前記第1群の後方散乱電子は、前記第2群の後方散乱電子よりも前記対称軸に対して近い位置で前記電子検出器に衝突し、前記第1群の後方散乱電子は、前記第2群の後方散乱電子とは異なるαとEの組み合わせを有し、
前記第1レンズコイルの励起と前記第2レンズコイルの励起との比は、前記試料での焦点を維持しながら、前記第1群に属する後方散乱電子の一部と、前記第2群に属する後方散乱電子の一部を制御するのに用いられる、
ことを特徴とする複合荷電粒子レンズ。
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