JP6857511B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
ため、非常に薄く形成される。そのため、導電層は抵抗が大きい。したがって、シンチレータとライナーチューブとの間に放電が生じた場合、シンチレータの表面の導電層が放電時の抵抗加熱により剥離してしまうおそれがある。
電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記導電部材の厚さは、前記導電層の厚さよりも大きい。
電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記導電部材と前記導電層とは、離間している。
電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記導電部材の前記ライナーチューブとの間の距離が最も小さい箇所と、前記導電部材の外部端子と、の間の抵抗は、前記導電層の前記ライナーチューブとの間の距離が最も小さい箇所と、前記導電層の外部端子と、の間の抵抗よりも小さい。
との間よりも、ライナーチューブと導電部材との間のほうが、放電が起こりやすい。したがって、このような走査電子顕微鏡では、放電による導電層の剥離を防ぐことができる。また、このような走査電子顕微鏡では、放電による電流は導電層に比べて導電部材を流れやすいため、放電による導電層の剥離を低減することができる。
電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記シンチレータは、前記感受面とは反対側の光射出面から光を射出し、
前記導電部材は、前記光射出面に設けられ、
前記光射出面に設けられている前記導電部材は、前記ライトガイドの光入射面から見て、前記ライナーチューブの後方に位置している。
電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記シンチレータと前記ライトガイドとは一体に設けられ、
前記導電部材は、前記シンチレータの感受面とは反対側の面の全面を覆っている。
電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記導電部材は、前記ライナーチューブを囲む円筒面を有している。
前記導電部材は、前記貫通孔の内面に設けられていてもよい。
前記導電部材と前記導電層とは、接していてもよい。
前記光射出面から射出された光を前記ライトガイドに向けて反射するミラーを含んでいてもよい。
1.1. 走査電子顕微鏡
まず、第1実施形態に係る走査電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る走査電子顕微鏡100を模式的に示す図である。
ライナーチューブ8は、コンデンサーレンズ4や、偏向器5、対物レンズ6などのガス放出の多い部品を真空外に置くための真空隔壁として機能する。電子源2から放出された電子線は、ライナーチューブ8を通って試料Sに照射される。
できる。ここで、不連続な面とは、当該面が1つの連続した面ではなくスリットや溝が形成されていたり、複数の面で構成されていたりする場合をいう。
次に、第1実施形態の変形例に係る走査電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図6は、第1実施形態の変形例に係る走査電子顕微鏡101の電子検出器10を模式的に示す断面図である。図7は、第1実施形態の変形例に係る走査電子顕微鏡101のシンチレータ12の第1面12aを模式的に示す平面図である。図8は、第1実施形態の変形例に係る走査電子顕微鏡101の電子検出器10において放電による電流が流れる経路を説明するための図である。
次に、第2実施形態に係る走査電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図9は、第2実施形態に係る走査電子顕微鏡200の電子検出器10を模式的に示す断面図である。図10は、第2実施形態に係る走査電子顕微鏡200の電子検出器10の第2面12bを模式的に示す平面図である。
次に、第3実施形態に係る走査電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図11は、第3実施形態に係る走査電子顕微鏡300の電子検出器10を模式的に示す断面図である。
18…光電子増倍管、20…導電層、21…外部端子、22…導電部材、22a…第1部分、22b…第2部分、22d…円筒面、23…外部端子、100…走査電子顕微鏡、101…走査電子顕微鏡、200…走査電子顕微鏡、300…走査電子顕微鏡、310…第1グリッド、320…第2グリッド
Claims (9)
- 電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記導電部材の厚さは、前記導電層の厚さよりも大きい、走査電子顕微鏡。 - 電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記導電部材と前記導電層とは、離間している、走査電子顕微鏡。 - 電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記導電部材の前記ライナーチューブとの間の距離が最も小さい箇所と、前記導電部材の外部端子と、の間の抵抗は、前記導電層の前記ライナーチューブとの間の距離が最も小さい箇所と、前記導電層の外部端子と、の間の抵抗よりも小さい、走査電子顕微鏡。 - 電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記シンチレータは、前記感受面とは反対側の光射出面から光を射出し、
前記導電部材は、前記光射出面に設けられ、
前記光射出面に設けられている前記導電部材は、前記ライトガイドの光入射面から見て、前記ライナーチューブの後方に位置している、走査電子顕微鏡。 - 電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記シンチレータと前記ライトガイドとは一体に設けられ、
前記導電部材は、前記シンチレータの感受面とは反対側の面の全面を覆っている、走査電子顕微鏡。 - 電子線を通過させるライナーチューブと、
前記ライナーチューブが挿入されている貫通孔を有するシンチレータと、
前記シンチレータで発生した光を導くライトガイドと、
前記シンチレータの感受面に設けられた導電層と、
前記シンチレータに設けられた導電部材と、
を含み、
前記ライナーチューブと前記導電部材との間の最短距離は、前記ライナーチューブと前記導電層との間の最短距離よりも小さく、
前記導電層には、電子を加速させるための電圧が印加され、
前記導電層と前記導電部材とは、同電位であり、
前記導電部材は、前記ライナーチューブを囲む円筒面を有している、走査電子顕微鏡。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記導電部材は、前記貫通孔の内面に設けられている、走査電子顕微鏡。 - 請求項1、3ないし7のいずれか1項において、
前記導電部材と前記導電層とは、接している、走査電子顕微鏡。 - 請求項4において、
前記光射出面から射出された光を前記ライトガイドに向けて反射するミラーを含む、走査電子顕微鏡。
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