JPS59161638U - ウエハ・プリアライメント構造 - Google Patents
ウエハ・プリアライメント構造Info
- Publication number
- JPS59161638U JPS59161638U JP5536783U JP5536783U JPS59161638U JP S59161638 U JPS59161638 U JP S59161638U JP 5536783 U JP5536783 U JP 5536783U JP 5536783 U JP5536783 U JP 5536783U JP S59161638 U JPS59161638 U JP S59161638U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alignment structure
- image
- wafer pre
- objective lens
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来より行われているプリアライメント方法の
説明図、第２図は第１図の方法でプリアライメント完の
状態の説明図、第３図はターゲットと回路のパターンの
関係の説明図、第４図は□斜めパターン検出時のターゲ
ットとシリンドリカルレンズの関係の説明図、第５図は
第４図での光学系の構成図、第６図はターゲット検出信
号の波形図１、第７図は検出範囲証とプリアライメント
による位置合せ範囲の説明図、第８図は精アライメント
時におけるウェハと対物レンズの関係の説明図、第９図
はスクライブエリア検出時のウェハ粒物レンズの関係の
説明図、第１０図は第９図における検出の構成図、第１
１図は広範囲取り込み像とシリンドリカルレンズの関係
の説明図、第１２図は第１０図によって行った信号の波
形図である。 １−１．１−３・・・位置合せ用ピン、２・・・ウェハ
、３・・・シリンドリカルレンズ、４−１・・・高倍率
対物レンズ、４−２・・・低倍率対物レンズ、５・・・
ターゲットパターン、６・・・回路パターン、７・・・
ＯＣＤ。 訃＊ａ ミラー、９・・・スクライブエリア、１０・・
・精アライメント時の検出範囲、１１・・・外形２点の
プリアライメントによるターゲット位置合せ範囲、１２
・・・ミラー、１３・・・斜めパターン検出部。 −ｍ−「−□ オｌＯ閏
説明図、第２図は第１図の方法でプリアライメント完の
状態の説明図、第３図はターゲットと回路のパターンの
関係の説明図、第４図は□斜めパターン検出時のターゲ
ットとシリンドリカルレンズの関係の説明図、第５図は
第４図での光学系の構成図、第６図はターゲット検出信
号の波形図１、第７図は検出範囲証とプリアライメント
による位置合せ範囲の説明図、第８図は精アライメント
時におけるウェハと対物レンズの関係の説明図、第９図
はスクライブエリア検出時のウェハ粒物レンズの関係の
説明図、第１０図は第９図における検出の構成図、第１
１図は広範囲取り込み像とシリンドリカルレンズの関係
の説明図、第１２図は第１０図によって行った信号の波
形図である。 １−１．１−３・・・位置合せ用ピン、２・・・ウェハ
、３・・・シリンドリカルレンズ、４−１・・・高倍率
対物レンズ、４−２・・・低倍率対物レンズ、５・・・
ターゲットパターン、６・・・回路パターン、７・・・
ＯＣＤ。 訃＊ａ ミラー、９・・・スクライブエリア、１０・・
・精アライメント時の検出範囲、１１・・・外形２点の
プリアライメントによるターゲット位置合せ範囲、１２
・・・ミラー、１３・・・斜めパターン検出部。 −ｍ−「−□ オｌＯ閏
Claims (1)
- 斜めパターン検出部と低倍率・広範囲の対物レンズ及び
シリンドリカル５°傾けるミラ５°傾けるミラーとによ
り構成し、広範囲対物レンズによりパターン像を取り込
み、シリンドリカルレンズを通しミラーにより４５°像
を傾は斜めパターン検出部に像を入れることによりスク
ライブエリアを検出し、その結果を基にしてスクライブ
エリア内を一方向のみ探索することによりターゲットを
検出することを可能にしたことを特徴としたウェハ・プ
リアライメント構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5536783U JPS59161638U (ja) | 1983-04-15 | 1983-04-15 | ウエハ・プリアライメント構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5536783U JPS59161638U (ja) | 1983-04-15 | 1983-04-15 | ウエハ・プリアライメント構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59161638U true JPS59161638U (ja) | 1984-10-29 |
Family
ID=30185692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5536783U Pending JPS59161638U (ja) | 1983-04-15 | 1983-04-15 | ウエハ・プリアライメント構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59161638U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62199031A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | Rohm Co Ltd | 露光装置 |
| JPWO2019003328A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2019-06-27 | 佳則 山口 | 測定用ピペットチップ、その測定用ピペットチップを用いる測定装置及び測定方法 |
-
1983
- 1983-04-15 JP JP5536783U patent/JPS59161638U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62199031A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | Rohm Co Ltd | 露光装置 |
| JPWO2019003328A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2019-06-27 | 佳則 山口 | 測定用ピペットチップ、その測定用ピペットチップを用いる測定装置及び測定方法 |
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