JPS59177939U - 自動焦点合わせ装置 - Google Patents
自動焦点合わせ装置Info
- Publication number
- JPS59177939U JPS59177939U JP4807484U JP4807484U JPS59177939U JP S59177939 U JPS59177939 U JP S59177939U JP 4807484 U JP4807484 U JP 4807484U JP 4807484 U JP4807484 U JP 4807484U JP S59177939 U JPS59177939 U JP S59177939U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern image
- circuit
- optical pattern
- comparator
- focusing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Variable Magnification In Projection-Type Copying Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は投影型露光装置を用いてウェーハ上のレジスト
を露光する一般的な状態を図解した構成図、第２図は本
考案に基づく自動焦点合わせ装置を第１図に挿入した状
態を基本ブロックで示す構成図、第３Ａ図は第２図に示
した焦点合わせ監視回路２１の詳細を示すブロック図、
第３Ｂ図は顕微鏡から与えられた光学パターン像の一部
を例示した平面図、第３Ｃ図は第３Ａ図のブロックの動
作説明に用いる波形図である。 図において、２１は焦点合わせ監視回路、２２ ゛
は焦点合わせ調整機構、３１は撮像管、３３は微分回路
、３４はコンパレータ５．３５はピークホールド回路で
ある。
を露光する一般的な状態を図解した構成図、第２図は本
考案に基づく自動焦点合わせ装置を第１図に挿入した状
態を基本ブロックで示す構成図、第３Ａ図は第２図に示
した焦点合わせ監視回路２１の詳細を示すブロック図、
第３Ｂ図は顕微鏡から与えられた光学パターン像の一部
を例示した平面図、第３Ｃ図は第３Ａ図のブロックの動
作説明に用いる波形図である。 図において、２１は焦点合わせ監視回路、２２ ゛
は焦点合わせ調整機構、３１は撮像管、３３は微分回路
、３４はコンパレータ５．３５はピークホールド回路で
ある。
Claims (1)
- 光学系を通して光学パターン像が投影される被焦点合わ
せ対象物から反射された反射光学パターン像を監視して
該光学パターン像の焦点合わせを行なう焦点合わせ装置
であって、前記光学パターン像と該光学パターン像以外
の領域との境界部分における彩度変化が最も急峻となる
点を見出す彩′ 変度化監視回路と、該彩度変化監視
回路の出力により前記光学系を制御する焦点合わせ機構
とを有してなる自動焦点合わせ装置において、前記彩度
変化監視回路が、前記光学パターン像を所定の線分にお
いて走査する走査型光電変換装置と、該走査型光電変換
装置から出力される映像信号を微分する微分回路と、該
微分回路からの微分出力レベルが最大になる点を検知す
る検知回路とからなり、さらに該検知回路は、ピークホ
ールド回路およびコンパレータかなり、該ピークホール
ド回路は前記微分回路からの前記微分出力の最大レベル
を保持して該コンパレータの一方の比較入力に接続し、
該コンパレータの他方の比較入力は該微分回路に直接接
続することを特徴とする自動焦点合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4807484U JPS59177939U (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | 自動焦点合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4807484U JPS59177939U (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | 自動焦点合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59177939U true JPS59177939U (ja) | 1984-11-28 |
Family
ID=30178612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4807484U Pending JPS59177939U (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | 自動焦点合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59177939U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62245240A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | リ−ダプリンタのオ−トフオ−カス装置 |
-
1984
- 1984-04-03 JP JP4807484U patent/JPS59177939U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62245240A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | リ−ダプリンタのオ−トフオ−カス装置 |
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