JPS5863614U - 表面検査装置の照明制御装置 - Google Patents

表面検査装置の照明制御装置

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JPS5863614U
JPS5863614U JP15483681U JP15483681U JPS5863614U JP S5863614 U JPS5863614 U JP S5863614U JP 15483681 U JP15483681 U JP 15483681U JP 15483681 U JP15483681 U JP 15483681U JP S5863614 U JPS5863614 U JP S5863614U
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JP
Japan
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control device
lighting control
surface inspection
inspection equipment
video signal
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Pending
Application number
JP15483681U
Other languages
English (en)
Inventor
和三 古田
西　茂男
石本　清士
Original Assignee
コニカ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by コニカ株式会社 filed Critical コニカ株式会社
Priority to JP15483681U priority Critical patent/JPS5863614U/ja
Publication of JPS5863614U publication Critical patent/JPS5863614U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はセンサーの出力信号飽和レベルとＳ／Ｈの関係
説明図、第２図は表面検査装置の光学系説明図、第３図
は本考案装置の回路図である。 １・・・ビデオ信号、２・・・第１コンパレータ、３・
・・第２コンパレータ、４・・・インバータ、５・・・
第３コンパレータ、６・・・（−）端子、７・・・（＋
）端子、８・・・ダイオード、９・・・コンデンサ、１
０・・・ダイオード、１１・・・制御回路、１ａ・・・
基準電圧、Ａ・・・光源、Ｂ・・・赤外透過フィルター
、Ｃ・・・第１コンデンサレンズ、Ｄ・・・シリントリ
男ルレンズ、Ｅ・・・第２コンデンサレンズ、Ｆ・・・
ロール、Ｇ・・・被検体、Ｈ・・・被検査域、■・・・
欠陥箇所、Ｊ・・・検出レンズ、Ｋ・・・検出部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被検体表面を走査して得たライン状センサーからのビデ
    オ信号の大きさをその飽和レベルの７０〜９０％の基準
    値と比較し、この比較結果に応じて光源の光量を制御す
    る制御回路を有することを特徴とする表面検査装置の照
    明制御装置。
JP15483681U 1981-10-20 1981-10-20 表面検査装置の照明制御装置 Pending JPS5863614U (ja)

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JPS5863614U true JPS5863614U (ja) 1983-04-28

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07325036A (ja) * 1994-05-31 1995-12-12 New Kurieishiyon:Kk 検査用光学系および検査装置
JPH085571A (ja) * 1994-06-21 1996-01-12 New Kurieishiyon:Kk 検査装置
KR20190049461A (ko) 2017-10-31 2019-05-09 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 연마 장치 및 연마 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5379594A (en) * 1976-12-24 1978-07-14 Hitachi Ltd Surface inspecting apparatus of objects

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