JPS6021911U - 表面粗さ測定装置 - Google Patents
表面粗さ測定装置Info
- Publication number
- JPS6021911U JPS6021911U JP11312083U JP11312083U JPS6021911U JP S6021911 U JPS6021911 U JP S6021911U JP 11312083 U JP11312083 U JP 11312083U JP 11312083 U JP11312083 U JP 11312083U JP S6021911 U JPS6021911 U JP S6021911U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring device
- surface roughness
- roughness measuring
- camera tube
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例の構成図である。
１・・・光源、２・・・光パターン部、４・・・対物レ
ンズ、６・・・物体、７・・・アレイセンサ、点Ｐ・・
・対物レンズによる結像位置、Ｃ・・・対物レンズの最
大視野、９・・・凸レンズ、１０・・・撮像管、１２・
・・受光面、１３・・・モニタテレビ、１４・・・画像
。
ンズ、６・・・物体、７・・・アレイセンサ、点Ｐ・・
・対物レンズによる結像位置、Ｃ・・・対物レンズの最
大視野、９・・・凸レンズ、１０・・・撮像管、１２・
・・受光面、１３・・・モニタテレビ、１４・・・画像
。
Claims (1)
- 合焦点検出用アレイセンサを用いた光学系省、微細な凹
凸測定装置において、その先軸の延長上に凸レンズとテ
レビ用撮像管を設けた事で、対物レンズの最大視野が撮
像管の受光面内に投影出来る事を特徴とした表面粗さ測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11312083U JPS6021911U (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 表面粗さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11312083U JPS6021911U (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 表面粗さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021911U true JPS6021911U (ja) | 1985-02-15 |
Family
ID=30261979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11312083U Pending JPS6021911U (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 表面粗さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021911U (ja) |
-
1983
- 1983-07-22 JP JP11312083U patent/JPS6021911U/ja active Pending
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