JPS613660U - 走査型電子顕微鏡の対物レンズ - Google Patents

走査型電子顕微鏡の対物レンズ

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JPS613660U
JPS613660U JP8612584U JP8612584U JPS613660U JP S613660 U JPS613660 U JP S613660U JP 8612584 U JP8612584 U JP 8612584U JP 8612584 U JP8612584 U JP 8612584U JP S613660 U JPS613660 U JP S613660U
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JP
Japan
Prior art keywords
objective lens
electron microscope
scanning electron
microscope objective
electron beam
Prior art date
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Pending
Application number
JP8612584U
Other languages
English (en)
Inventor
繁 鈴木
Original Assignee
株式会社明石製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社明石製作所 filed Critical 株式会社明石製作所
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Publication of JPS613660U publication Critical patent/JPS613660U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、一般的な走査型電子顕微鏡の構造例を示す断
面図、第２図は従来の対物レンズを示す断面図、第３図
は本考案の第一の実隼例に係る対物レンズの断面図、第
４図は第３図の一部拡大図、第５図は本考案の第二の実
施例に係る対物レ、ンズの断面図である。 １・・・走査型電子顕微鏡、３・・・電子銃、４・・・
電子線、９・・・対物レン〆、１５・・・試料、２０・
・・磁極、２１・・・基端部、２３・・・第一実施例に
おける第２傾斜部、２５・・・第一実施例における第１
傾斜部、２６・・・第二実施例における第１傾斜部、２
７・・・第二実施例におけ．る第２傾斜部、２８・・・
第二実施例における第３傾斜部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子線４を放出する電子銃３および前記電子線４を試料
    １５に集束するための対物レンズ９を含むレンズ系とを
    有する走査型電子顕微鏡１において、前記対物レンズ９
    は、先端部２４から基端部２１へかけて次第に拡開する
    円錐台構造に形成された磁極２０を有し、且つこの磁極
    ２０は、少なくとも、先端位置から基端方向所定の長さ
    位置にかけては電子線４に対して第１の角度の傾斜を有
    する円錐形状に形成されると共に、前記所定の長さ位置
    から基端部２１へ向けては、電子線４に対して前記第１
    の角度により小さい第２の角度の傾斜を有する円錐形状
    に形成されていることを特徴とする走査型電子顕微鏡の
    対物レンズ。
JP8612584U 1984-06-12 1984-06-12 走査型電子顕微鏡の対物レンズ Pending JPS613660U (ja)

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JP8612584U JPS613660U (ja) 1984-06-12 1984-06-12 走査型電子顕微鏡の対物レンズ

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JPS613660U true JPS613660U (ja) 1986-01-10

Family

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH031432A (ja) * 1989-05-30 1991-01-08 Seiko Instr Inc 電子線装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5994350A (ja) * 1982-11-19 1984-05-31 Akashi Seisakusho Co Ltd 電磁式対物レンズ

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