JPS6059458U - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPS6059458U JPS6059458U JP15147983U JP15147983U JPS6059458U JP S6059458 U JPS6059458 U JP S6059458U JP 15147983 U JP15147983 U JP 15147983U JP 15147983 U JP15147983 U JP 15147983U JP S6059458 U JPS6059458 U JP S6059458U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic pole
- electron beam
- sample
- objective lens
- moving stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、従来からの電子顕微鏡の一般的な構造例を示
す断面図、第2図は本考案の一実施例に係わる試料ホル
ダを対物レンズ磁極間隙に設置した状態を示す断面図、
第3図は上記実施例における試料ホルダを示す斜視図、
第4図は試料ホルダの断面図である。 1・・・鏡筒、2・・・観察室、3・・・電子銃、5・
・・集束レンズ、6・・・電子線軸(光軸)、8,16
・・・励磁コイル、9.25・・・対物レンズ、11・
・・中間レンズ、12・・・投影レンズ、15・・・試
料、16.21・・・上側磁極、17・・・下側磁極、
19.31・・・試料移動ステージ、20.30・・・
試料保持装置、32・・・試料ホルダ、33・・・収容
孔、43・・・凹部、49・・・試料交換棒。
す断面図、第2図は本考案の一実施例に係わる試料ホル
ダを対物レンズ磁極間隙に設置した状態を示す断面図、
第3図は上記実施例における試料ホルダを示す斜視図、
第4図は試料ホルダの断面図である。 1・・・鏡筒、2・・・観察室、3・・・電子銃、5・
・・集束レンズ、6・・・電子線軸(光軸)、8,16
・・・励磁コイル、9.25・・・対物レンズ、11・
・・中間レンズ、12・・・投影レンズ、15・・・試
料、16.21・・・上側磁極、17・・・下側磁極、
19.31・・・試料移動ステージ、20.30・・・
試料保持装置、32・・・試料ホルダ、33・・・収容
孔、43・・・凹部、49・・・試料交換棒。
Claims (1)
- 上側磁極と、この上側磁極から所定の間隔を開けて配置
された下側磁極とを有する対物レンズと、対物レンズの
磁極近傍に設けられた試料移動ステージと、対物レンズ
に向は電子線軸に対して交差する方向から試料交換棒に
よって挿入され試料移動ステージ上に設置される試料保
持用の試料ホルダとを備えた電子線装置において、上記
対物レンズの上側磁極または下側磁極のうち少なくとも
一方は試料観察時における、電子線軸と合致した第1の
位置と、試料交換時における、電子線軸から変位した第
2の位置と電子線軸から変位した第2の位置との間で移
動可能とし、試料移動ステージにはその中心部に試料ホ
ルダを保持する収容孔を上下方向に貫通して形成し、試
料ホルダは上記試料移動ステージの収容孔内に嵌入配置
されると共に当該試料ホルダのほぼ中央部には、対物レ
ンズ磁極の頂面径よりも充分に大きな径を有する凹部を
穿設したことを特徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15147983U JPS6059458U (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15147983U JPS6059458U (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 電子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6059458U true JPS6059458U (ja) | 1985-04-25 |
JPS643168Y2 JPS643168Y2 (ja) | 1989-01-26 |
Family
ID=30335666
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15147983U Granted JPS6059458U (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 電子線装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6059458U (ja) |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP15147983U patent/JPS6059458U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS643168Y2 (ja) | 1989-01-26 |
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