JPS6059458U - 電子線装置 - Google Patents

電子線装置

Info

Publication number
JPS6059458U
JPS6059458U JP15147983U JP15147983U JPS6059458U JP S6059458 U JPS6059458 U JP S6059458U JP 15147983 U JP15147983 U JP 15147983U JP 15147983 U JP15147983 U JP 15147983U JP S6059458 U JPS6059458 U JP S6059458U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic pole
electron beam
sample
objective lens
moving stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP15147983U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS643168Y2 (ja
Inventor
繁 鈴木
谷中　隆志
Original Assignee
株式会社明石製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社明石製作所 filed Critical 株式会社明石製作所
Priority to JP15147983U priority Critical patent/JPS6059458U/ja
Publication of JPS6059458U publication Critical patent/JPS6059458U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS643168Y2 publication Critical patent/JPS643168Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来からの電子顕微鏡の一般的な構造例を示
す断面図、第２図は本考案の一実施例に係わる試料ホル
ダを対物レンズ磁極間隙に設置した状態を示す断面図、
第３図は上記実施例における試料ホルダを示す斜視図、
第４図は試料ホルダの断面図である。 １・・・鏡筒、２・・・観察室、３・・・電子銃、５・
・・集束レンズ、６・・・電子線軸（光軸）、８，１６
・・・励磁コイル、９．２５・・・対物レンズ、１１・
・・中間レンズ、１２・・・投影レンズ、１５・・・試
料、１６．２１・・・上側磁極、１７・・・下側磁極、
１９．３１・・・試料移動ステージ、２０．３０・・・
試料保持装置、３２・・・試料ホルダ、３３・・・収容
孔、４３・・・凹部、４９・・・試料交換棒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 上側磁極と、この上側磁極から所定の間隔を開けて配置
    された下側磁極とを有する対物レンズと、対物レンズの
    磁極近傍に設けられた試料移動ステージと、対物レンズ
    に向は電子線軸に対して交差する方向から試料交換棒に
    よって挿入され試料移動ステージ上に設置される試料保
    持用の試料ホルダとを備えた電子線装置において、上記
    対物レンズの上側磁極または下側磁極のうち少なくとも
    一方は試料観察時における、電子線軸と合致した第１の
    位置と、試料交換時における、電子線軸から変位した第
    ２の位置と電子線軸から変位した第２の位置との間で移
    動可能とし、試料移動ステージにはその中心部に試料ホ
    ルダを保持する収容孔を上下方向に貫通して形成し、試
    料ホルダは上記試料移動ステージの収容孔内に嵌入配置
    されると共に当該試料ホルダのほぼ中央部には、対物レ
    ンズ磁極の頂面径よりも充分に大きな径を有する凹部を
    穿設したことを特徴とする電子線装置。
JP15147983U 1983-09-30 1983-09-30 電子線装置 Granted JPS6059458U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15147983U JPS6059458U (ja) 1983-09-30 1983-09-30 電子線装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15147983U JPS6059458U (ja) 1983-09-30 1983-09-30 電子線装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6059458U true JPS6059458U (ja) 1985-04-25
JPS643168Y2 JPS643168Y2 (ja) 1989-01-26

Family

ID=30335666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15147983U Granted JPS6059458U (ja) 1983-09-30 1983-09-30 電子線装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6059458U (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS643168Y2 (ja) 1989-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5428481A (en) Optical system supporting device
JPS6124820U (ja) レンズ駆動装置
JPS6059458U (ja) 電子線装置
JPS6059457U (ja) 電子線装置
JPS60111516U (ja) 輻射スポツトの位置を電気力学制御する電気光学装置
JPS5899763U (ja) 電子顕微鏡
JPS60163664U (ja) 電子顕微鏡等の試料微動装置
JPS5853362U (ja) 電子顕微鏡等の試料磁区構造観察装置
JPS58125352U (ja) 走査透過電子顕微鏡
JPS6112594Y2 (ja)
JPS6222246A (ja) 光学ヘツド用内磁型アクチユエ−タ
JPH0454565Y2 (ja)
JPS59152656U (ja) 電子顕微鏡
JPS63106053U (ja)
JPS6336499Y2 (ja)
JPH06290471A (ja) 光ピックアップ用焦点合わせ対物レンズ用アクチュエータ
JPH1031829A (ja) 光ピックアップ装置
JPS6120662Y2 (ja)
JPS6335065B2 (ja)
JPS60142824U (ja) 光ピツクアツプ
JPS58140521U (ja) 光学式ピツクアツプ用アクチユエ−タ
JPS6242120U (ja)
JPS6136954U (ja) 電子顕微鏡等における試料移動装置
JPS6073162U (ja) 電子顕微鏡等用電子レンズ
JPS60169720U (ja) 対物レンズ装置