JPS60163664U - 電子顕微鏡等の試料微動装置 - Google Patents

電子顕微鏡等の試料微動装置

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JPS60163664U
JPS60163664U JP5070784U JP5070784U JPS60163664U JP S60163664 U JPS60163664 U JP S60163664U JP 5070784 U JP5070784 U JP 5070784U JP 5070784 U JP5070784 U JP 5070784U JP S60163664 U JPS60163664 U JP S60163664U
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JP
Japan
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fine movement
specimen
electron microscopes
movement devices
specimen fine
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Application number
JP5070784U
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Inventor
四伊　一生
恒 佐藤
功 松井
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本考案を対物レンズ部に装着した
横断面図および縦断面図を示す。 １・・・サイドエントリー試料ステージ、２・・・トッ
プエントリー試料微動器、３・・・トップエントリー右
微動軸、４・・・スプリング、５・・・テコ、６・・・
ケース、７・・・スプリング、８・・・左微動軸、９・
・・スプリング、１０・・・センターＭ、１１・・・ケ
ース、１２・・・スプリング、１３・・・テコ、１４・
・・ツメ、１５・・・サイドエントリー試料ホルダー、
１６・・・試料、１７・・・サイドエン１り一左微動軸
、１８・・・スフリング、１９・・・試料室、２０・・
・トップエントリー試料筒、２１・・・試料交換筒、２
２・・・試料交換駆動部、２３・・・マイクロメータ、
２４・・・対物レンズ下部磁極、２５・・・対物レンズ
上部磁極、２６．２７・・・ピボット。　　　　′

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. トップエントリー、サイドエントリー試料装置を同一の
    対物レンズで共有する電子顕微鏡において上記試料装置
    の試料微動を同一の駆動により同時に可動することを特
    徴とする電子顕微鏡等の試料微動装置。
JP5070784U 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡等の試料微動装置 Pending JPS60163664U (ja)

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JP5070784U JPS60163664U (ja) 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡等の試料微動装置

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JP5070784U JPS60163664U (ja) 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡等の試料微動装置

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JPS60163664U true JPS60163664U (ja) 1985-10-30

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ID=30569092

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