JPS5936567U - 走査電子顕微鏡の試料微動装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡の試料微動装置Info
- Publication number
- JPS5936567U JPS5936567U JP13133182U JP13133182U JPS5936567U JP S5936567 U JPS5936567 U JP S5936567U JP 13133182 U JP13133182 U JP 13133182U JP 13133182 U JP13133182 U JP 13133182U JP S5936567 U JPS5936567 U JP S5936567U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine movement
- scanning electron
- movement device
- electron microscope
- sample fine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図はＳＥＭの試料室と試料微動装置のブロ
ック説明図、第３図は動作フローチャートである。 １・・・・・・最終段集束レンズ、２・・・・・・光学
顕微鏡、３・・・・・・反射鏡、４・・・・・・試料、
５・・・・・・試料ステージ、６・・・・・・マイクロ
スイッチ、７・・・・・・マイクロコンピュータ、８・
・・・・・外部入力装置、９・・・・・・モータ駆動回
路、１０・・・・・・モータ、１１・・・・・・Ｘ線分
光結晶、１２・・・・・・ローランド円。 寥 Ｉ 目 Δ 、／” ／ＬＪ 算２閏 八 １ （７＼９Ｘ。
ック説明図、第３図は動作フローチャートである。 １・・・・・・最終段集束レンズ、２・・・・・・光学
顕微鏡、３・・・・・・反射鏡、４・・・・・・試料、
５・・・・・・試料ステージ、６・・・・・・マイクロ
スイッチ、７・・・・・・マイクロコンピュータ、８・
・・・・・外部入力装置、９・・・・・・モータ駆動回
路、１０・・・・・・モータ、１１・・・・・・Ｘ線分
光結晶、１２・・・・・・ローランド円。 寥 Ｉ 目 Δ 、／” ／ＬＪ 算２閏 八 １ （７＼９Ｘ。
Claims (1)
- 抜き差しが可能な光学顕微鏡と、光学顕微鏡の位置より
上方へ移動可能な試料微動装置を備えた走査電子顕微鏡
および類似装置において、光学顕微鏡挿入判別手段を追
加し、試料微動のＺ軸移動範囲を制限する機能を付加し
たことを特徴とする走査電子顕微鏡の試料微動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13133182U JPS5936567U (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 走査電子顕微鏡の試料微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13133182U JPS5936567U (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 走査電子顕微鏡の試料微動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5936567U true JPS5936567U (ja) | 1984-03-07 |
Family
ID=30296943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13133182U Pending JPS5936567U (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 走査電子顕微鏡の試料微動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5936567U (ja) |
-
1982
- 1982-09-01 JP JP13133182U patent/JPS5936567U/ja active Pending
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