JPS6136954U - 電子顕微鏡等における試料移動装置 - Google Patents
電子顕微鏡等における試料移動装置Info
- Publication number
- JPS6136954U JPS6136954U JP12262284U JP12262284U JPS6136954U JP S6136954 U JPS6136954 U JP S6136954U JP 12262284 U JP12262284 U JP 12262284U JP 12262284 U JP12262284 U JP 12262284U JP S6136954 U JPS6136954 U JP S6136954U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample moving
- moving device
- ball
- sample
- retainer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第2図及び
第3図は本考案で使用されるボール軸受の縦断面図及び
平面断面図、第4図は本考案の他の実施例を示す縦断面
図である。 1:対物レンズ、5:ポールピース、6:レンズヨーク
、7:励磁コイノペ8a乃至8c:ボール軸受、9:ガ
イド溝、10:リテーナ、lla乃至11h:小ボール
、12:大ボール、13:試料移動台、14:載せ台、
15:試料、16:試料筒、17a乃至17c:プッシ
ュ。
第3図は本考案で使用されるボール軸受の縦断面図及び
平面断面図、第4図は本考案の他の実施例を示す縦断面
図である。 1:対物レンズ、5:ポールピース、6:レンズヨーク
、7:励磁コイノペ8a乃至8c:ボール軸受、9:ガ
イド溝、10:リテーナ、lla乃至11h:小ボール
、12:大ボール、13:試料移動台、14:載せ台、
15:試料、16:試料筒、17a乃至17c:プッシ
ュ。
Claims (2)
- (1)試料が装着される試料移動台を基台上に移動可能
に載置するに際し、両者間に前記基台に固定されたリテ
ーナ内に回転可能に置かれた数個の小ボールとこれらの
小ボールによって支持され、且つ前記試料移動台に接触
する大ボールとから構成されるボール軸受を少なくとも
3個設置したことを特徴とする電子顕微鏡等における試
料移動装置。 - (2)前記ボール軸受の基台への固定に際し、リテーナ
の上面が夫々光軸方向を向くように傾iナで固定したこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の電
子顕微鏡等における試料移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12262284U JPS6136954U (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 電子顕微鏡等における試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12262284U JPS6136954U (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 電子顕微鏡等における試料移動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6136954U true JPS6136954U (ja) | 1986-03-07 |
JPH037882Y2 JPH037882Y2 (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=30681378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12262284U Granted JPS6136954U (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 電子顕微鏡等における試料移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6136954U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016213042A (ja) * | 2015-05-08 | 2016-12-15 | 株式会社島津製作所 | X線発生装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS564237A (en) * | 1979-06-26 | 1981-01-17 | Jeol Ltd | Method of moving sample stage in exposure to electron beam |
JPS5611842A (en) * | 1979-07-09 | 1981-02-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Sample shifting device |
-
1984
- 1984-08-10 JP JP12262284U patent/JPS6136954U/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS564237A (en) * | 1979-06-26 | 1981-01-17 | Jeol Ltd | Method of moving sample stage in exposure to electron beam |
JPS5611842A (en) * | 1979-07-09 | 1981-02-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Sample shifting device |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016213042A (ja) * | 2015-05-08 | 2016-12-15 | 株式会社島津製作所 | X線発生装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH037882Y2 (ja) | 1991-02-27 |
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