JPS6059457U - 電子線装置 - Google Patents

電子線装置

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JPS6059457U
JPS6059457U JP15147883U JP15147883U JPS6059457U JP S6059457 U JPS6059457 U JP S6059457U JP 15147883 U JP15147883 U JP 15147883U JP 15147883 U JP15147883 U JP 15147883U JP S6059457 U JPS6059457 U JP S6059457U
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JP
Japan
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electron beam
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recess
magnetic pole
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JP15147883U
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JPH0713163Y2 (ja
Inventor
勝 渡辺
繁 鈴木
谷中　隆志
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株式会社明石製作所
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来からの電子顕微鏡の一般的な構造例を示
す断面図、第２図は、本考案の第１の実施例に係る電子
線装置に用いられる試料ホルダを示す斜視図、第３図は
、上記第１の実施例における試料ホルダを対物レンズ磁
極間隙に設置した状態を示す断面図、第４図は第１の実
施例に係る試料ホルダの対物レンズ磁極間隙への設置状
態を示す第３図中ＩＶ−ＩＶ線における断面図、第５図
は第１の実施例に係る試料ホルダへの試料メツシュ等の
取付状態を示す第２図中■−■線における断面図、第６
図は試料メツシュの固定状態を示す第５図中■の部分の
拡大図、第７図は本考案の第２の実施例に係る電子線装
置に用いられる試料ホルダを示す斜視図である。 １・・・鏡筒、２・・・観察室、３・・・電子銃、５・
・・集束レンズ、６・・・電子線軸（光軸）、８，１０
・・・励磁コイル、９．２５・・・対物レンズ、１１・
・・中間レンズ、１２・・・投影レンズ、１５・・・試
料ホルダ、１６・・・上側磁極、１７・・・下側磁極、
１９．３１・・・試料移動ステージ、２０．３０・・・
試料保持装置、３２・・・試料ホルダ、４３．４４・・
・凹部、５８・・・試料交換棒。

Claims (7)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）上側磁極と、この上側磁極から所定の間隔をあけ
    て配置された下側磁極とを有する対物レンズと、対物レ
    ンズの磁極近傍に設けられた試料移動ステージと、対物
    レンズの電子線軸に対して交差する方向から試料交換棒
    によって試料移動ステージ上に挿入設置される試料保持
    用の試料ホルダとを備えた電子線装置において、試料ホ
    ルダの略中央部には、対物レンズ磁極の頂面径よりも充
    分に大きな径を有し、試料ホルダの先端部から内方へ延
    びる凹部を穿設したことを特徴とする電子線装置。
  2. （２）　　凹部は試料ホルダの上側から下方へ穿設され
    、この凹部内に試料が載置されることを特徴、　　とす
    る実用新案登録請求の範囲第１項記載の電子線装置。
  3. （３）凹部は試料ホルダの下側から上方に穿設されるこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の電
    子線装置。
  4. （４）　　凹部は試料ホルダの上側及び下側から穿設さ
    れることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
    載の電子線装置。　　□
  5. （５）凹部底面には孔が貫通して形成されていることを
    特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項乃至第４項の
    いずれかに記載の電子線装置。
  6. （６）　　対物レンズの磁極間隙の寸法は２ミリメート
    ル以下に設定されていることを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第１項乃至第５項のいずれかに記載の電子線
    装置。
  7. （７）凹部の底は厚さが１ミリメートル以下の薄肉部に
    よって構成される一方、凹部以外の部位には２ミリメー
    トル以上の厚さ寸法を有するフレーム部が形成されてい
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項乃至
    第６項記載の電子線装置。
JP1983151478U 1983-09-30 1983-09-30 電子線装置 Expired - Lifetime JPH0713163Y2 (ja)

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JPS6059457U true JPS6059457U (ja) 1985-04-25
JPH0713163Y2 JPH0713163Y2 (ja) 1995-03-29

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE958584C (de) * 1944-09-06 1957-02-21 Manfred Von Ardenne Elektronenmikroskop mit quer zur Strahlrichtung auswechselbarem Polschuheinsatzkoerper
JPS5622039A (en) * 1979-07-28 1981-03-02 Jeol Ltd Sampling device for electron microscope, etc.
JPS5826439A (ja) * 1981-08-11 1983-02-16 Internatl Precision Inc 電子線装置の対物レンズ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE958584C (de) * 1944-09-06 1957-02-21 Manfred Von Ardenne Elektronenmikroskop mit quer zur Strahlrichtung auswechselbarem Polschuheinsatzkoerper
JPS5622039A (en) * 1979-07-28 1981-03-02 Jeol Ltd Sampling device for electron microscope, etc.
JPS5826439A (ja) * 1981-08-11 1983-02-16 Internatl Precision Inc 電子線装置の対物レンズ

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JPH0713163Y2 (ja) 1995-03-29

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