JPS58125352U - 走査透過電子顕微鏡 - Google Patents

走査透過電子顕微鏡

Info

Publication number
JPS58125352U
JPS58125352U JP2220582U JP2220582U JPS58125352U JP S58125352 U JPS58125352 U JP S58125352U JP 2220582 U JP2220582 U JP 2220582U JP 2220582 U JP2220582 U JP 2220582U JP S58125352 U JPS58125352 U JP S58125352U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic pole
pole piece
objective lens
electron microscope
transmission electron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2220582U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6314374Y2 (ja
Inventor
本田　敏和
Original Assignee
日本電子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP2220582U priority Critical patent/JPS58125352U/ja
Publication of JPS58125352U publication Critical patent/JPS58125352U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6314374Y2 publication Critical patent/JPS6314374Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は試料透過電子線の検出を説明するための図、第
２図は従来装置を示す略図、第３図は第、２図の装置を
説明するための略図、第４図は本考案の一実施例装置を
示す略図及び第５図は第４図の装置を説明するための略
図である。 １：試料、２：電子線、３：光軸、４：励磁コイル、５
：ヨーク、６：上磁極片、７：下磁極片、８：スペ　　
　　　″−サー、９：試料保持部材、１０：絞り保持部
材、１１：対物レンズ絞り、１２，１３：移動機構、１
４、ｉ５：偏向コイル、１６：電子線検出装置、１７：
シンチレータ−，１８：光電子増倍管、１９ニライトパ
イプ、２０：曲線、２１：レンズ主面、２２：上磁極片
、２３：下磁極片、２４：曲線、２６：スペーサー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズの上磁極片と下磁極片の間隙に試料ホルダー
    と対物レンズ絞りが挿入される装置において、前記上磁
    極片の穴径を下磁極片の穴径よりも小さくすると共に、
    前記対物リンズ絞りと下磁極片との間隙に対物レンズ光
    軸と垂直な方向から挿入される電子線検出手段を鰻けた
    ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
JP2220582U 1982-02-19 1982-02-19 走査透過電子顕微鏡 Granted JPS58125352U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2220582U JPS58125352U (ja) 1982-02-19 1982-02-19 走査透過電子顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2220582U JPS58125352U (ja) 1982-02-19 1982-02-19 走査透過電子顕微鏡

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58125352U true JPS58125352U (ja) 1983-08-25
JPS6314374Y2 JPS6314374Y2 (ja) 1988-04-22

Family

ID=30034300

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2220582U Granted JPS58125352U (ja) 1982-02-19 1982-02-19 走査透過電子顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58125352U (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6314374Y2 (ja) 1988-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0125186B2 (ja)
JPS58125352U (ja) 走査透過電子顕微鏡
JPS59152656U (ja) 電子顕微鏡
JPS5899763U (ja) 電子顕微鏡
JPS6059458U (ja) 電子線装置
JPS58173160U (ja) 透過形電子顕微鏡
JPS59150159U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS582856U (ja) 透過走査像観察装置
GB794603A (en) Improvements in or relating to electron precision oscillographs
JPS6065967U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS6065966U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS58176355U (ja) 走査電子顕微鏡等の対物レンズ
JPS5853362U (ja) 電子顕微鏡等の試料磁区構造観察装置
JPS59150158U (ja) 電子顕微鏡
JPS58135860U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS6117675Y2 (ja)
US5042304A (en) Ultrasonic microscope
JPS5985569U (ja) 電子ビ−ム軸合せ装置
JPH0136666B2 (ja)
JPS59134260U (ja) 電子顕微鏡
JPS6080655U (ja) 電子顕微鏡のシヤツタ−装置
JPS61153022U (ja)
JPS6059457U (ja) 電子線装置
JPS6073162U (ja) 電子顕微鏡等用電子レンズ
JPS5860851U (ja) 電子顕微鏡における試料ホルダ−