JPS6080655U - 電子顕微鏡のシヤツタ−装置 - Google Patents

電子顕微鏡のシヤツタ−装置

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JPS6080655U
JPS6080655U JP17271783U JP17271783U JPS6080655U JP S6080655 U JPS6080655 U JP S6080655U JP 17271783 U JP17271783 U JP 17271783U JP 17271783 U JP17271783 U JP 17271783U JP S6080655 U JPS6080655 U JP S6080655U
Authority
JP
Japan
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electron microscope
shutter device
microscope shutter
electron beam
hole
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JP17271783U
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JPH0338757Y2 (ja
Inventor
善博 新井
石田　征久
秀雄 小林
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置を説明するための図、第２図は他の従
来装置を示すための図、第３図は本考案の一実施例を示
すための図、第４図は本考案の他の実施例を示すための
図、第５図、第６図、第７図、及び第８図は各々本考案
の他の一実施例を示すための図である。 １．１’、５．８ニスクリーン板、２：投影レンズ、３
：写真フィルム、４：透過電子検出器、６、９．２０：
小孔、？、１３：シャッター板、１０：支持基板、１１
，１４：軸、１２：ボス、　　　−１５：ケーブル、１
６：スプリング、１７：パイプ、１８．２１：偏向コイ
ル１、Ｃ：光軸、ＥＢ：電子線。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 像観察用スクリーンに電子線を通過させるための小孔を
    設けると共に、電子線の該小孔の通過を制御する手段を
    設けたことを特徴とする電子顕微鏡のシャッター装置。
JP17271783U 1983-11-08 1983-11-08 電子顕微鏡のシヤツタ−装置 Granted JPS6080655U (ja)

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JP17271783U JPS6080655U (ja) 1983-11-08 1983-11-08 電子顕微鏡のシヤツタ−装置

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Publication Number Publication Date
JPS6080655U true JPS6080655U (ja) 1985-06-04
JPH0338757Y2 JPH0338757Y2 (ja) 1991-08-15

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ID=30376422

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4964365A (ja) * 1972-10-23 1974-06-21
JPS5339848A (en) * 1976-09-23 1978-04-12 Siemens Ag Method of indicating diffractive picture in transmission scanning particle beam microscope
JPS54114172A (en) * 1978-02-27 1979-09-06 Jeol Ltd Electronic microscope
JPS5613650A (en) * 1979-07-13 1981-02-10 Jeol Ltd Scanning type focusing electron-ray diffractor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4964365A (ja) * 1972-10-23 1974-06-21
JPS5339848A (en) * 1976-09-23 1978-04-12 Siemens Ag Method of indicating diffractive picture in transmission scanning particle beam microscope
JPS54114172A (en) * 1978-02-27 1979-09-06 Jeol Ltd Electronic microscope
JPS5613650A (en) * 1979-07-13 1981-02-10 Jeol Ltd Scanning type focusing electron-ray diffractor

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JPH0338757Y2 (ja) 1991-08-15

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