JPH0338757Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡に用いられるシヤツター装
置に関し、特に透過走査像観察装置等を用いた際
の集束された電子線をカツトするためのシヤツタ
ー装置に関する。

電子顕微鏡において透過走査像を観察する場合
には、カメラ室の下部に配置された透過電子検出
器に、電子線EBを導かなければならない。又、
エネルギーアナライザーを用いて、エネルギース
ペクトルを観察する場合にも、カメラ室の下部の
アナライザーに電子線EBを導かなければならな
い。このような場合、第１図に示す如き従来の装
置においては、写真フイルム３を光軸Ｃから外し
た後、像観察用スクリーン１を大きく回転させて
１′で示すように光軸から外し、電子線を通過で
きるようにしている。但し第１図において、２は
投影レンズであり、４は透過電子検出器である。

そのため、このような装置においては、透過走
査像を観察するためには、像観察用スクリーンを
大きく回転させなければならないばかりでなく、
電子線スポツトをスクリーン上に表示してモニタ
ーしながら、透過走査像あるいはエネルギースペ
クトルを観察することはできない。

このような欠点を除くため、第１図に示した像
観察用スクリーン１に代えて小孔６を設けたスク
リーン５を使用する装置もある。但し第２図にお
いても、第１図と同一の構成要素に対しては、同
一番号を付されている。しかしながら、このよう
な装置においては、小孔６を通過する電子線EB
によつて写真フイルム３が露光されるのを防ぐた
め、大型のシヤツター板７を写真フイルム３の上
部に配置しなければならず、このシヤツター板７
が大型であることから、その駆動機構も含めた製
作費用は大きなものであつた。

本考案は、このような従来の欠点を解決すべく
なされたもので、像観察用スクリーンに電子線を
通過させるための小孔を設けると共に、前記像観
察用スクリーンの所定の傾斜操作に基づいて前記
小孔に入射した電子線を遮断する位置から通過さ
せる位置に位置を変える阻止部材を前記スクリー
ンの小孔の近傍に取り付けた電子顕微鏡のシヤツ
ター装置を特徴としている。

以下、図面に基づき本考案の一実施例を詳述す
る。

本考案の一実施例を示す第３図において、８は
像観察用スクリーンであり、このスクリーン８の
中央には、集束された電子線を通過させるための
小孔９が設けられている。スクリーン８は支持基
板１０に対して回転可能にされた軸１１にボス１
２を介して固定されている。第３図を矢印Ａ方向
から見た第４図より明らかなように、スクリーン
８の裏面にはシヤツター板１３が軸１４を中心に
回転可能に備えられている。このシヤツター板１
３の一端にはケーブル１５が取り付けられてお
り、このケーブル１５の他端は前記支持基板１０
に取り付けられている。シヤツター板１３の他端
にはスプリング１６の一端が取り付けられてお
り、このスプリング１６の他端はスクリーン８の
一部に固定されている。

このような構成において、スクリーン８が光軸
Ｃと垂直な状態においては、シヤツター板１３は
第４図において実線で示すように、小孔９を塞ぐ
位置にあるが、スクリーン８を第３図において点
線で示すように、所定の小角度傾斜させると、ケ
ーブル１５がスプリング１６の力に抗してシヤツ
ター板１３を回転させるため、シヤツター板１３
は第４図で点線で示すように、小孔９を開く位置
まで回転する。そこで、スクリーン板８は小角度
しか回転していないため、電子線のスポツトをス
クリーン８上においてモニターしながなら、透過
電子線を検出器に導いて、透過透過走査像を観察
することができるが、小型のシヤツター板を用い
ているだけであるため、装置の製作費用を従来に
比して、低減させることができる。

第５図は、本考案の他の実施例を示すためのも
ので、スクリーン板８に小孔９を設けると共に、
この小孔９の位置に、スクリーン板８に対して小
角度傾斜したパイプ１７を取り付けるようにした
ものである。

このようにしても、スクリーン板８を第６図に
示すように、所定の小角度傾斜した際のみ、電子
線EBがパイプ７を通過できるため、電子線スポ
ツトをモニターしながら、透過走査像を観察する
ことができる。

上述した説明から明らかなように、本考案に基
づく装置においては、像観察用スクリーンに電子
線を通過させるための小孔を設けると共に、前記
像観察用スクリーンの所定の傾斜操作に基づいて
前記小孔に入射した電子線を遮断する位置から通
過させる位置に位置を変える阻止部材を前記スク
リーンの小孔の近傍に取り付けるようにしたた
め、電子線スポツトをスクリーンにおいてモニタ
ーしながら透過走査像を観察できると共に、大形
のシヤツター板とその駆動機構を用いることな
く、透過走査像の非観察時におけるフイルムの露
光を防ぐことができる。そのため、本考案により
電子顕微鏡のシヤツター装置の製作コストを大幅
に低減させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置を説明するための図、第２図
は他の従来装置を示すための図、第３図は本考案
の一実施例を示すための図、第４図は本考案の他
の一実施例を示すための図、第５図は本考案の他
の一実施例を示すための図、第６図は第５図に示
した実施例の動作を説明するための図である。 １，１′，５，８：スクリーン板、２：投影レ
ンズ、３：写真フイルム、４：透過電子検出器、
６，９：小孔、７，１３：シヤツター板、１０：
支持基板、１１，１４：軸、１２：ボス、１５：
ケーブル、１６：スプリング、１７：パイプ、
Ｃ：光軸、EB：電子線。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 像観察用スクリーンに電子線を通過させるた
   めの小孔を設けると共に、前記像観察用スクリ
   ーンの所定の傾斜操作に基づいて前記小孔に入
   射した電子線を遮断する位置から通過させる位
   置に位置を変える阻止部材を前記スクリーンの
   小孔の近傍に取り付けたことを特徴とする電子
   顕微鏡のシヤツター装置。 (2) 前記阻止部材は前記像観察用スクリーンの裏
   面に回転可能に取り付けられたシヤツター板で
   あつて、前記所定の傾斜操作に連動した回転に
   よつて前記シヤツター板は前記小孔を塞ぐ位置
   から小孔を開放する位置に位置を変える実用新
   案登録請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡のシ
   ヤツター装置。 (3) 前記阻止部材は前記小孔に連通するように前
   記像観察用スクリーンの裏面に取り付けられた
   パイプであつて、該パイプによつて通過が阻止
   されていた前記小孔通過後の電子線を、前記所
   定の傾斜によつて通過させるように該パイプの
   像観察用スクリーンへの取り付け角度が選ばれ
   ている実用新案登録請求の範囲第１項記載の電
   子顕微鏡のシヤツター装置。