JPS58174854U - 電子線装置のピント確認装置 - Google Patents

電子線装置のピント確認装置

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JPS58174854U
JPS58174854U JP7143882U JP7143882U JPS58174854U JP S58174854 U JPS58174854 U JP S58174854U JP 7143882 U JP7143882 U JP 7143882U JP 7143882 U JP7143882 U JP 7143882U JP S58174854 U JPS58174854 U JP S58174854U
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JP
Japan
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electron beam
confirmation device
focus confirmation
fluorescent screen
image
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Pending
Application number
JP7143882U
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English (en)
Inventor
繁 鈴木
Original Assignee
株式会社国際精工
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は透過型顕微鏡における従来のピント確認装置の
全体を示す説明図、第２図は従来のピント確認装置の詳
細を示す原理図、第３図は本考案の一実施例を示す原理
図、第４図は本考案の第２の実施例の全体を示す説明図
、第５図は本考案の第３の実施例を示す図、第６図は本
考案の第４の実施例を示す図である。 １・・・電子線、２・・・試料、３・・・投影レンズ、
４゜１４．２４・・・主螢光スクリーン、４ａ、１４ａ
。 ２４ａ・・・螢光体塗付面、５，１５・・・中間螢光ス
クリーン、５ａ・・・螢光体塗付層、６・・・拡大鏡、
７・・・対物レンズ、８・・・接眼レンズ、９，１９・
・・投影像。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子線装置における電子線像を投影する主螢光スクリー
    ンと、主螢光スクリーン上に結像する像を拡大観察する
    光学系レンズを用いた拡大鏡とを有するピント確認装置
    に於いて、上記光学系レンズの像・面湾曲収差に応じて
    上記螢光スクリーンの結像面を湾曲させたことを特徴と
    する電子線装置のピント確認装置。
JP7143882U 1982-05-18 1982-05-18 電子線装置のピント確認装置 Pending JPS58174854U (ja)

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JP7143882U JPS58174854U (ja) 1982-05-18 1982-05-18 電子線装置のピント確認装置

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JP7143882U JPS58174854U (ja) 1982-05-18 1982-05-18 電子線装置のピント確認装置

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JPS58174854U true JPS58174854U (ja) 1983-11-22

Family

ID=30081055

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JP7143882U Pending JPS58174854U (ja) 1982-05-18 1982-05-18 電子線装置のピント確認装置

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