JPS63106053U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63106053U JPS63106053U JP20145286U JP20145286U JPS63106053U JP S63106053 U JPS63106053 U JP S63106053U JP 20145286 U JP20145286 U JP 20145286U JP 20145286 U JP20145286 U JP 20145286U JP S63106053 U JPS63106053 U JP S63106053U
- Authority
- JP
- Japan
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- sample
- tip
- tube
- magnetic pole
- lower magnetic
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の構成断面図、第２
図は本装置に使用する試料筒の斜視図である。 １：対物レンズ上磁極片、２：対物レンズ下磁
極片、３：試料、４：試料筒、４ａ′：孔、５：
スプリング、６：球、７：試料筒受け、８：試料
ステージ、９：ビス、１０：スプリング、１１：
ビス、１２：対物レンズヨーク、１３：対物レン
ズコイル、１４：非点補正コイル、１５：対物絞
り、１６：絞りホルダー、１７：絞り移動装置、
１８：試料移動軸、１９：鏡体、２０：２次電子
検出器、２１：Ｘ線検出器。
図は本装置に使用する試料筒の斜視図である。 １：対物レンズ上磁極片、２：対物レンズ下磁
極片、３：試料、４：試料筒、４ａ′：孔、５：
スプリング、６：球、７：試料筒受け、８：試料
ステージ、９：ビス、１０：スプリング、１１：
ビス、１２：対物レンズヨーク、１３：対物レン
ズコイル、１４：非点補正コイル、１５：対物絞
り、１６：絞りホルダー、１７：絞り移動装置、
１８：試料移動軸、１９：鏡体、２０：２次電子
検出器、２１：Ｘ線検出器。
Claims (1)
- 上下磁極片に電子線通過孔を有する対物レンズ
と、その先端部に試料を保持する試料筒と、該先
端部を前記下磁極片の電子線通過孔に上向にして
挿入した状態で該試料筒を保持する手段とを備え
、光軸と垂直な方向から絞り板を挿入するための
孔又は切り欠き部が前記試料筒先端部の前記試料
より下側に形成されていることを特徴とする電子
顕微鏡等の試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20145286U JPS63106053U (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20145286U JPS63106053U (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106053U true JPS63106053U (ja) | 1988-07-08 |
Family
ID=31164917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20145286U Pending JPS63106053U (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63106053U (ja) |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP20145286U patent/JPS63106053U/ja active Pending
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