JPS6319757U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6319757U JPS6319757U JP11028086U JP11028086U JPS6319757U JP S6319757 U JPS6319757 U JP S6319757U JP 11028086 U JP11028086 U JP 11028086U JP 11028086 U JP11028086 U JP 11028086U JP S6319757 U JPS6319757 U JP S6319757U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic pole
- pole piece
- sample
- lens
- electron
- Prior art date
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- Pending
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- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の一実施例とその実施例の電子
レンズにおける軸上磁場分布を示すための図、第
２図は従来の電子レンズとその軸上磁場分布を示
すための図である。 １：上磁極片、２：下磁極片、１ｓ：試料挿入
孔、Ｓ：試料、３：磁気シールド部材、３ａ：電
子線通過孔、３ｓ：試料挿入孔、４：支持部材。
レンズにおける軸上磁場分布を示すための図、第
２図は従来の電子レンズとその軸上磁場分布を示
すための図である。 １：上磁極片、２：下磁極片、１ｓ：試料挿入
孔、Ｓ：試料、３：磁気シールド部材、３ａ：電
子線通過孔、３ｓ：試料挿入孔、４：支持部材。
Claims (1)
- 上磁極片と、下磁極片と、両磁極片間に磁束を
生じさせるためのヨーク及び励磁コイルとを備え
、レンズ主面より前記上磁極側の位置に試料を挿
入するようにした電子顕微鏡等における電子レン
ズにおいて、前記上磁極片と下磁極片との間に生
じる主磁場の前記試料側への漏れを防ぐため筒状
の磁気シールド部材を前記試料と上磁極片との間
に設けると共に、該シールド部材に電子線を通過
させるための通過孔と前記試料をレンズ光軸に対
して垂直な方向から挿入するための挿入孔を設け
て成る電子顕微鏡等における電子レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11028086U JPS6319757U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11028086U JPS6319757U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6319757U true JPS6319757U (ja) | 1988-02-09 |
Family
ID=30989155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11028086U Pending JPS6319757U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6319757U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58214257A (ja) * | 1982-06-08 | 1983-12-13 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡等の磁区観察装置 |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP11028086U patent/JPS6319757U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58214257A (ja) * | 1982-06-08 | 1983-12-13 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡等の磁区観察装置 |
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