JPS60178960U - 走査電子顕微鏡用対物レンズ - Google Patents

走査電子顕微鏡用対物レンズ

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Publication number
JPS60178960U
JPS60178960U JP6765384U JP6765384U JPS60178960U JP S60178960 U JPS60178960 U JP S60178960U JP 6765384 U JP6765384 U JP 6765384U JP 6765384 U JP6765384 U JP 6765384U JP S60178960 U JPS60178960 U JP S60178960U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic pole
pole piece
lower magnetic
objective lens
lens
Prior art date
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Pending
Application number
JP6765384U
Other languages
English (en)
Inventor
大山　純一
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP6765384U priority Critical patent/JPS60178960U/ja
Publication of JPS60178960U publication Critical patent/JPS60178960U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本考案に先立って開発された対物レ
ンズの断面図、第３図は本考案の一実施例を示す断面図
、第４図は第３図にレンズの動作状態における磁界分布
を示す図である。 １：レンズヨーク、２：励磁コイル、３：上磁極片、４
：下磁極片、４ａ：中央部下磁極片、４ｂ：残部の下磁
極片、５：試料、６：雌螺子体、７：雌螺子体、８，９
：傘歯車、１０：軸、１１：嫡子、１２：補助コイル、
１３：電源、１　　　　゛４：スイッチ。 −１−−２−″ ４−（９ 第４図　　　　／ 巨〜ター４

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）レンズヨークと、励磁コイルと、前記ヨークの下
    端部に磁極間隙を形成する上下磁極片を有。 し、前記下磁極片の中央部を他の部分から分割し、該分
    割された中央部下磁極片にはレンズ磁界が下方の試料方
    向に漏洩しないような微小な電子線通過孔を穿つと共に
    、該中央部下磁極片、　　　を上下磁極片間で何れかの
    磁極片に接触するように移動可能に支持したレンズであ
    って、前記上磁極片の内側近傍に補助コイルを設置し、
    該補助コイルを前記励磁コイルとは独立に且つ所望時に
    励磁する電源を備えてなる走査電子顕微鏡用対物レンズ
    。
  2. （２）前記補助コイルに前記分離された中央部下磁極片
    が下磁極片に接触しているときのみ励磁可能に構成され
    ている実用新案登録請求の範囲第１項記載の走査電子顕
    微鏡用対物レンズ。
JP6765384U 1984-05-09 1984-05-09 走査電子顕微鏡用対物レンズ Pending JPS60178960U (ja)

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JP6765384U JPS60178960U (ja) 1984-05-09 1984-05-09 走査電子顕微鏡用対物レンズ

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JPS60178960U true JPS60178960U (ja) 1985-11-28

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JP6765384U Pending JPS60178960U (ja) 1984-05-09 1984-05-09 走査電子顕微鏡用対物レンズ

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002097851A1 (en) * 2001-05-31 2002-12-05 Hamamatsu Photonics K.K. X-ray generator
JP2020021733A (ja) * 2018-08-03 2020-02-06 株式会社ニューフレアテクノロジー 電子光学系及びマルチビーム画像取得装置

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