JPS607047U - マイクロレンズの球面収差測定装置 - Google Patents

マイクロレンズの球面収差測定装置

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JPS607047U
JPS607047U JP9870583U JP9870583U JPS607047U JP S607047 U JPS607047 U JP S607047U JP 9870583 U JP9870583 U JP 9870583U JP 9870583 U JP9870583 U JP 9870583U JP S607047 U JPS607047 U JP S607047U
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JP
Japan
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spherical aberration
microlens
measuring device
aberration measuring
matsuhatsu
Prior art date
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Application number
JP9870583U
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English (en)
Inventor
満 西川
Original Assignee
工業技術院長
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Publication date
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  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図はレンズの球面収差の従来の測定法の説明図、第
2図は本考案の球面収差測定装置の要部干渉顕微鏡の説
明図、第3図イ1口はそれぞれ第1波面、第2波面の説
明図、第4図イ1口はそれぞれ干渉縞と球面収差の関係
説明図、第5図は第4図イの実画図、第6図は第5図か
ら求めた球面収差面図である。 1・・・・・・被検レンズ、2・・・・・・光軸、3・
・・・・・光線、F・・・・・・近軸焦点、F′・・・
・・・光線と光軸が交わる点、Δ・・・・・・FとF′
の距離、h・・・・・・入射高、10・・・・・・光束
、10a、10b・・・・・・分れた光束、11・・・
・・・ハーフミラ−112・・・・・・ジャリング機構
、13゜14・・・・・・ミラー、15・・・・・・ハ
ーフミラ−116・・・・・・対物レンズ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マツハツエンター型干渉顕微鏡を用い、それによる干渉
    縞位置がオンライン計算機に入力されて球面収差曲線が
    求められる構成を特徴とするマイクロレンズの球面収差
    測定装置。
JP9870583U 1983-06-28 1983-06-28 マイクロレンズの球面収差測定装置 Pending JPS607047U (ja)

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JPS607047U true JPS607047U (ja) 1985-01-18

Family

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04299232A (ja) * 1991-03-28 1992-10-22 Agency Of Ind Science & Technol レンズ横収差測定用シアリング干渉計
JP2005319318A (ja) * 1998-11-02 2005-11-17 Family Co Ltd 椅子型マッサージ機

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH04299232A (ja) * 1991-03-28 1992-10-22 Agency Of Ind Science & Technol レンズ横収差測定用シアリング干渉計
JP2005319318A (ja) * 1998-11-02 2005-11-17 Family Co Ltd 椅子型マッサージ機
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