JPS59103261A - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPS59103261A JPS59103261A JP21249882A JP21249882A JPS59103261A JP S59103261 A JPS59103261 A JP S59103261A JP 21249882 A JP21249882 A JP 21249882A JP 21249882 A JP21249882 A JP 21249882A JP S59103261 A JPS59103261 A JP S59103261A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- pulse
- electron beam
- signal
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料上に電子線を照射して試料像を得る装置に
関し、特に電子線の照射位置の走査を試料を移動さ−１
ることにＪ：つで行う電子線装置に関する。
関し、特に電子線の照射位置の走査を試料を移動さ−１
ることにＪ：つで行う電子線装置に関する。
例えばＸ線マイクロアナライザーを用いて試料の極めて
広い部分の像（極低倍像）を電子線の走査によって得よ
うとすると、電子線の照射位置と検出器の距離が大幅に
変化するため歪の無い像を得ることはできない。そこで
このような極低倍像を歪無く得るために、電子線ではな
く試料の方を機械的に移動させて電子線の試料上におけ
る照射位置を二次元的に走査するよにした装置が開発さ
れ使用されている。即ち、この装置は試料をＸ方向に往
復移動させるためのパルスモータと、該方向と直交する
Ｙ方向に試料を移動させるためのパルスモータとを有し
、これらパルスモータにパルスを供給して試料をＸ方向
に沿って往復移動させると共にＹ方向に沿って試料を移
動させるようにし、この試料の移動に同期して陰極線管
を走査し、この陰極線管に試料より得られた信号を供給
して試料像を得ている。ところが、Ｘ方向の試料の移動
は、像を短時間で得ようとすると、かなりの速度で行わ
なければならないが、一方試料の移動には移動方向の逆
転が伴うため、この逆転の前後で移動速度を落さないと
大きな衝撃を生じる。従ってこの種の従来装置において
は、試料をＸ方向に移動させるためのパルスモータに供
給するパルスの時間間隔を変化させて、第１図に示すよ
うに試料の移動の開始時や移動方向の逆転時の前後にお
いては試料の移動速度を落すようにしている。但し、第
１図にＪ３いて、横軸は時間を示しており、縦軸は各時
間における試料の移動速度を示している。その結果移動
方向の逆転の前後（即ち、Ｘ方向走査像の両端部の近傍
）においては電子線の伯の部分に比較して試料上の同一
個所ににり長い時間停留する。一方試料から検出される
Ｘ線カウント数は時間に比例するため、停留時間に比例
して児か（）」−大きな信号が得られることになる。従
−）て得られた像は、第２図に示すように像の両端部Ａ
、Ｂが他の部分より信号密度が高い像となってしまう。
広い部分の像（極低倍像）を電子線の走査によって得よ
うとすると、電子線の照射位置と検出器の距離が大幅に
変化するため歪の無い像を得ることはできない。そこで
このような極低倍像を歪無く得るために、電子線ではな
く試料の方を機械的に移動させて電子線の試料上におけ
る照射位置を二次元的に走査するよにした装置が開発さ
れ使用されている。即ち、この装置は試料をＸ方向に往
復移動させるためのパルスモータと、該方向と直交する
Ｙ方向に試料を移動させるためのパルスモータとを有し
、これらパルスモータにパルスを供給して試料をＸ方向
に沿って往復移動させると共にＹ方向に沿って試料を移
動させるようにし、この試料の移動に同期して陰極線管
を走査し、この陰極線管に試料より得られた信号を供給
して試料像を得ている。ところが、Ｘ方向の試料の移動
は、像を短時間で得ようとすると、かなりの速度で行わ
なければならないが、一方試料の移動には移動方向の逆
転が伴うため、この逆転の前後で移動速度を落さないと
大きな衝撃を生じる。従ってこの種の従来装置において
は、試料をＸ方向に移動させるためのパルスモータに供
給するパルスの時間間隔を変化させて、第１図に示すよ
うに試料の移動の開始時や移動方向の逆転時の前後にお
いては試料の移動速度を落すようにしている。但し、第
１図にＪ３いて、横軸は時間を示しており、縦軸は各時
間における試料の移動速度を示している。その結果移動
方向の逆転の前後（即ち、Ｘ方向走査像の両端部の近傍
）においては電子線の伯の部分に比較して試料上の同一
個所ににり長い時間停留する。一方試料から検出される
Ｘ線カウント数は時間に比例するため、停留時間に比例
して児か（）」−大きな信号が得られることになる。従
−）て得られた像は、第２図に示すように像の両端部Ａ
、Ｂが他の部分より信号密度が高い像となってしまう。
従来においては、このような事態に対して何等対策を施
さないか、端部の部分は陰極線管に表示しないでカット
してしまうか、あるいは検出信号を大規模なメモリーに
格納した後、演算処理を施して信号を停留時間で除して
正規化し、補正する等が行われていたが、第２の対策は
観察できる視野が小ざくなる大きな欠点を有している。
さないか、端部の部分は陰極線管に表示しないでカット
してしまうか、あるいは検出信号を大規模なメモリーに
格納した後、演算処理を施して信号を停留時間で除して
正規化し、補正する等が行われていたが、第２の対策は
観察できる視野が小ざくなる大きな欠点を有している。
又第３の対策は信号処理に高価なコンピュータを必要と
Ｊるばかゆでなく、リアルタイムで像を見ることはでき
ない。
Ｊるばかゆでなく、リアルタイムで像を見ることはでき
ない。
本発明はこのような従来の欠点を解決し、試料の移動速
度の非一様性に起因する悲影響を除き、リアルタイムで
良質な試料像を観察することのできる構造の簡単な装置
を提供することを目的として成されたもので、細く絞ら
れた電子線を試料上に照射する手段と、該電子線を試料
上においては二次元的に走査するため試料をＸ方向にｔ
ｌｌｉ復移動させるためのパルスモータ及び該方向と直
交するＹ方向に移動させるためのモータと、該Ｘ方向の
移動に伴う試料の移動方向の逆転を小さな加速度で行う
ためパルス発生間隔の変化するパルスを発生して前記パ
ルスモータに供給するパルス発生回路と、該パルス発生
回路よりのパルス信号の供給に基づく試料の移動に同期
して走査される陰極線管とを備えた装置において、前記
パルス発生回路からのパルス信号に基づいて該パルスの
時間間隔が最小値でより長い場合にはその際のパルス＋
陪からτを差し引いたパルス幅を有するパルスを発生
づる制御回路を具備し、該制御回路よりの信号に基づい
て前記試料に照射される電子線又は前記陰極線管をブラ
ンキングするようにしたことを特徴どしている。
度の非一様性に起因する悲影響を除き、リアルタイムで
良質な試料像を観察することのできる構造の簡単な装置
を提供することを目的として成されたもので、細く絞ら
れた電子線を試料上に照射する手段と、該電子線を試料
上においては二次元的に走査するため試料をＸ方向にｔ
ｌｌｉ復移動させるためのパルスモータ及び該方向と直
交するＹ方向に移動させるためのモータと、該Ｘ方向の
移動に伴う試料の移動方向の逆転を小さな加速度で行う
ためパルス発生間隔の変化するパルスを発生して前記パ
ルスモータに供給するパルス発生回路と、該パルス発生
回路よりのパルス信号の供給に基づく試料の移動に同期
して走査される陰極線管とを備えた装置において、前記
パルス発生回路からのパルス信号に基づいて該パルスの
時間間隔が最小値でより長い場合にはその際のパルス＋
陪からτを差し引いたパルス幅を有するパルスを発生
づる制御回路を具備し、該制御回路よりの信号に基づい
て前記試料に照射される電子線又は前記陰極線管をブラ
ンキングするようにしたことを特徴どしている。
以下図面に基づき本発明の一実施例を詳述する。
本発明の一実施例を示す第３図において、１は電子銃で
あり、この電子銃よりの電子線ＦＢは収束レンズ２によ
って収束された後、対物レンズ３によって細く絞られた
後、試料４に照射される。
あり、この電子銃よりの電子線ＦＢは収束レンズ２によ
って収束された後、対物レンズ３によって細く絞られた
後、試料４に照射される。
試料４は試料ステージ５の上に載置されており、この試
料ステージ５はＸ方向移動用のパルスモータ６Ｘ及びＹ
方向移動用のパルスモータ６Ｙによって各々Ｘ方向及び
Ｙ方向に沿って移動できるようになっている。７はアパ
ーチャ板であり、このアパーチャ板７はその上部に配置
された偏向電極８によって電子線が偏向された際に電子
線を遮断して試料に到達するのを阻止するだめのもので
ある。９は試お１４を第１図に示すような速度でＸ方向
に沿って移動させるため、第４図＜ａ ＞に示す如きパ
ルス間隔が最小（ｆｆｉτとそれより長い値との間で変
化するパルスを発生させるパルス発生回路である。但し
、第４図（ａ ）は、Ｘ方向の一回の走査に対応する期
間のパルスのみを示している。
料ステージ５はＸ方向移動用のパルスモータ６Ｘ及びＹ
方向移動用のパルスモータ６Ｙによって各々Ｘ方向及び
Ｙ方向に沿って移動できるようになっている。７はアパ
ーチャ板であり、このアパーチャ板７はその上部に配置
された偏向電極８によって電子線が偏向された際に電子
線を遮断して試料に到達するのを阻止するだめのもので
ある。９は試お１４を第１図に示すような速度でＸ方向
に沿って移動させるため、第４図＜ａ ＞に示す如きパ
ルス間隔が最小（ｆｆｉτとそれより長い値との間で変
化するパルスを発生させるパルス発生回路である。但し
、第４図（ａ ）は、Ｘ方向の一回の走査に対応する期
間のパルスのみを示している。
この回路９よりの信号はパルスモータ駆動信号発生回路
１０Ｘに供給されていると共にＸ方向走査信号発生回路
１３Ｘにも供給されている。パルスモータ駆動信号発生
回路１０Ｘは、回路９よりのパルス信号に基づいてパル
スモータ６ｘを回転させる為の信号を発生させ、この信
号を増幅器１５Ｘを介して前記パルスモータ６×に供給
する。又、Ｘ方向走査信号発生回路１３Ｘは回路９より
のパルス信号に阜づいて第５図に示すような走査信号を
発生し、陰極線＠１４のＸ方向偏向コイルＸに供給する
。この図において、Ｈで示された期間はＸ方向の一走査
期間に対応している。この走査信号は、パルスが回路９
より供給される毎に信号値を一定レベルずつステップア
ップ（正の向きの走査）またはステップダウン（負の向
きの走査）させることによって得られる。従って試料４
は第１図に示ずような速度で移動すると共に陰極線管１
４はこの試料のＸ方向の移動に同期して走査される。１
６はＹ方向走査を行うためＸ方向走査の方向が逆転する
ときに同期してパルス信号を発生ずる発振器であり、こ
の発振器１６よりの信号はパルスモータ駆動信号発生回
路１０Ｙに供給されると其にＹ方向走査（ｆｆｉ号発生
回路１３Ｙに供給される。パルスモータ駆１Ｉ８ＩＩ信
号発生回路１０Ｙに供給される。パルスモータ駆動信号
発生回路１０Ｙよりの信号は増幅器１５Ｙを介して前記
パルスモータ６Ｙに供給されると共に、Ｙ方向走査信号
発生回路１３Ｙの走査信号も陰極線管１４のＹ方向偏向
コイルＹに供給されるため、試料４及び陰極線管１４は
Ｙ方向にも同期走査される。更に前記パルス発生回路９
よりの信号は、制御信号発生回路１つにも供給されてい
る。制御信号発生回路１１はパルス発生回路９よりの信
号に基づいて、回路９よりのパルス信号の間隔がτより
も長くなっＩｃ場合に、その際のパルス間隔からτを差
し引いた時間幅を有する第４図（ｂ ）に示すようなパ
ルス信号を発生ずる。この制御信号発生回路１１の出力
信号は増幅器１２を介して前記偏向板８に供給される。
１０Ｘに供給されていると共にＸ方向走査信号発生回路
１３Ｘにも供給されている。パルスモータ駆動信号発生
回路１０Ｘは、回路９よりのパルス信号に基づいてパル
スモータ６ｘを回転させる為の信号を発生させ、この信
号を増幅器１５Ｘを介して前記パルスモータ６×に供給
する。又、Ｘ方向走査信号発生回路１３Ｘは回路９より
のパルス信号に阜づいて第５図に示すような走査信号を
発生し、陰極線＠１４のＸ方向偏向コイルＸに供給する
。この図において、Ｈで示された期間はＸ方向の一走査
期間に対応している。この走査信号は、パルスが回路９
より供給される毎に信号値を一定レベルずつステップア
ップ（正の向きの走査）またはステップダウン（負の向
きの走査）させることによって得られる。従って試料４
は第１図に示ずような速度で移動すると共に陰極線管１
４はこの試料のＸ方向の移動に同期して走査される。１
６はＹ方向走査を行うためＸ方向走査の方向が逆転する
ときに同期してパルス信号を発生ずる発振器であり、こ
の発振器１６よりの信号はパルスモータ駆動信号発生回
路１０Ｙに供給されると其にＹ方向走査（ｆｆｉ号発生
回路１３Ｙに供給される。パルスモータ駆１Ｉ８ＩＩ信
号発生回路１０Ｙに供給される。パルスモータ駆動信号
発生回路１０Ｙよりの信号は増幅器１５Ｙを介して前記
パルスモータ６Ｙに供給されると共に、Ｙ方向走査信号
発生回路１３Ｙの走査信号も陰極線管１４のＹ方向偏向
コイルＹに供給されるため、試料４及び陰極線管１４は
Ｙ方向にも同期走査される。更に前記パルス発生回路９
よりの信号は、制御信号発生回路１つにも供給されてい
る。制御信号発生回路１１はパルス発生回路９よりの信
号に基づいて、回路９よりのパルス信号の間隔がτより
も長くなっＩｃ場合に、その際のパルス間隔からτを差
し引いた時間幅を有する第４図（ｂ ）に示すようなパ
ルス信号を発生ずる。この制御信号発生回路１１の出力
信号は増幅器１２を介して前記偏向板８に供給される。
又、１７はＸ線検出器であり、このＸ線検出器１７より
の検出パルス信舅は増幅器１８を介して信号処理回路１
つに供給されている。この処理回路１９はパルスを一定
の形状に整えるためのちので、この回路１９よりの信号
は増幅器２０を介して陰極線管１４のグリッドＧに供給
される。
の検出パルス信舅は増幅器１８を介して信号処理回路１
つに供給されている。この処理回路１９はパルスを一定
の形状に整えるためのちので、この回路１９よりの信号
は増幅器２０を介して陰極線管１４のグリッドＧに供給
される。
２１．２２は増幅器である。
このような構成において、パルス発生回路９よりの第４
図（ａ ）に示す如きパルス信号と前述した発振器１６
よりのパルスを各々パルスモータ駆動信舅発生回路１０
Ｘ、ＩＯＹに供給づると共に、第５図に示づ゛如き走査
信号と、発振器１６の出力パルスに基づいてＹ７５向走
査信号発生回路１３Ｙにおいて作成される一様な勾配の
走査信号を陰極線管１／Ｉに供給゛りれば、試料４は第
１図に示すように移動覆ると共に、この試料４の移動に
同期して陰極線管１４は走査される。そこで検出器１７
によって検出され処理回路１９によって処理された信号
を陰極線管１４に導入すれば、陰極線管には試料像が得
られるが、この際、パルス発生回路９よりの信号に基づ
いて作成された第４図（１））に示す如き信号が、制御
信号発生回路１１より電極８に供給されるため、試料の
移動の開始あるいは移動方向の逆転近傍性に試料の同一
点にτ時間以上電子線が停留する場合には、電子線ＥＢ
はτ経過した瞬間から偏向電極８により偏向され、アバ
−“チャ板７によって辿ぎられてしまうため、電子線は
どの点にもてたけしか照射されないことになる。従って
、試料の移動速度が変化するにもがかわらず、陰極線管
、１４にはこの変化に基づく兄か（）上の信号量の増加
の影響を除いた像を得ることができる。
図（ａ ）に示す如きパルス信号と前述した発振器１６
よりのパルスを各々パルスモータ駆動信舅発生回路１０
Ｘ、ＩＯＹに供給づると共に、第５図に示づ゛如き走査
信号と、発振器１６の出力パルスに基づいてＹ７５向走
査信号発生回路１３Ｙにおいて作成される一様な勾配の
走査信号を陰極線管１／Ｉに供給゛りれば、試料４は第
１図に示すように移動覆ると共に、この試料４の移動に
同期して陰極線管１４は走査される。そこで検出器１７
によって検出され処理回路１９によって処理された信号
を陰極線管１４に導入すれば、陰極線管には試料像が得
られるが、この際、パルス発生回路９よりの信号に基づ
いて作成された第４図（１））に示す如き信号が、制御
信号発生回路１１より電極８に供給されるため、試料の
移動の開始あるいは移動方向の逆転近傍性に試料の同一
点にτ時間以上電子線が停留する場合には、電子線ＥＢ
はτ経過した瞬間から偏向電極８により偏向され、アバ
−“チャ板７によって辿ぎられてしまうため、電子線は
どの点にもてたけしか照射されないことになる。従って
、試料の移動速度が変化するにもがかわらず、陰極線管
、１４にはこの変化に基づく兄か（）上の信号量の増加
の影響を除いた像を得ることができる。
尚、本発明は上述した実施例に限定されることなく幾多
の変形が可能である。例えば、上述した実施例において
は、試料に照射される電子線ＦＢを制御回路１１よりの
信号により偏向して試１’ｌに到達しないようにしたが
、制御回路１１よりの信号に基づいて陰極線管１４のグ
リッドＧ又はカソードを制御し、試料上の一点にτ時間
電子線が照射された後は、照射点が次の点に移るまで陰
極線管１４がフランキングされるようにしても良い。
の変形が可能である。例えば、上述した実施例において
は、試料に照射される電子線ＦＢを制御回路１１よりの
信号により偏向して試１’ｌに到達しないようにしたが
、制御回路１１よりの信号に基づいて陰極線管１４のグ
リッドＧ又はカソードを制御し、試料上の一点にτ時間
電子線が照射された後は、照射点が次の点に移るまで陰
極線管１４がフランキングされるようにしても良い。
第１図は試料が速度を変化させつつ移動する様子を説明
するだめの図、第２図は従来にお（プる陰極線管の表示
像を例示するための図、第３図は本発明の一実施例の概
略図、第４図は第３図に示した一実施例装置の各回路Ｊ
：りの出力信号を示Ｊための図、第５図は陰極線管に供
給されるＸ方向の走査信号を説明するための図である。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：対物レンズ、４：試
料、５：試料ステージ、６Ｘ、６Ｙ：パルスモータ、７
：アパーチャ板、８：偏向電極、９：パルス発生回路、
１０Ｘ、１０Ｙ’：パルスモータ駆動信号発生回路、１
１：制御回路、１３Ｘ、１３Ｙ：走査信号発生回路、：
１４：陰極線管、１６：発振器、１７：検出器、１９信
号処理回路、特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
するだめの図、第２図は従来にお（プる陰極線管の表示
像を例示するための図、第３図は本発明の一実施例の概
略図、第４図は第３図に示した一実施例装置の各回路Ｊ
：りの出力信号を示Ｊための図、第５図は陰極線管に供
給されるＸ方向の走査信号を説明するための図である。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：対物レンズ、４：試
料、５：試料ステージ、６Ｘ、６Ｙ：パルスモータ、７
：アパーチャ板、８：偏向電極、９：パルス発生回路、
１０Ｘ、１０Ｙ’：パルスモータ駆動信号発生回路、１
１：制御回路、１３Ｘ、１３Ｙ：走査信号発生回路、：
１４：陰極線管、１６：発振器、１７：検出器、１９信
号処理回路、特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
Claims (1)
- 細く絞られた電子線を試料上に照射する手段と、該電子
線を試料上において二次元的に走査するため試料をＸ方
向に往復移動させるためのパルスモータ及び該方向と直
交づ−るＹ方向に移動さぜるためのモータと、該Ｘ方向
の移動に伴う試料の移動方向の逆転を小さな加速度で行
うためパルス発生間隔の変化するパルスを発生して前記
パルスモータに供給するパルスを発生回路と、該パルス
発生回路よりのパルス信号の供給に基づく試料の移動に
同期して走査される陰極線管とを備えた装置において、
前記パルス発生回路からのパルス信号に基づいて該パル
スの時間間隔が最小値τより長い場合にはその際のパル
ス間隔からτを差し引いたパルス幅を有するパルスを発
生する制御回路を具備し、該制御回路よりの信号に基づ
いて前記試料に照射される電子線又は前記陰極線管をブ
ランキングづるようにしたことを特徴とする電子線装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21249882A JPS59103261A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21249882A JPS59103261A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59103261A true JPS59103261A (ja) | 1984-06-14 |
| JPS6363112B2 JPS6363112B2 (ja) | 1988-12-06 |
Family
ID=16623653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21249882A Granted JPS59103261A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59103261A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60245532A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Shinwa Tec Kk | プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス |
| JPS60245522A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Shinwa Tec Kk | プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス |
| JP2005199047A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-07-28 | General Electric Co <Ge> | 冷却剤冷却式のｒｆ体幹用コイル |
-
1982
- 1982-12-03 JP JP21249882A patent/JPS59103261A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60245532A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Shinwa Tec Kk | プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス |
| JPS60245522A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Shinwa Tec Kk | プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス |
| JPH0150576B2 (ja) * | 1984-05-22 | 1989-10-30 | Shinwa Tetsuku Kk | |
| JPH0150577B2 (ja) * | 1984-05-22 | 1989-10-30 | Shinwa Tetsuku Kk | |
| JP2005199047A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-07-28 | General Electric Co <Ge> | 冷却剤冷却式のｒｆ体幹用コイル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6363112B2 (ja) | 1988-12-06 |
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