JP2015018720A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015018720A JP2015018720A JP2013145960A JP2013145960A JP2015018720A JP 2015018720 A JP2015018720 A JP 2015018720A JP 2013145960 A JP2013145960 A JP 2013145960A JP 2013145960 A JP2013145960 A JP 2013145960A JP 2015018720 A JP2015018720 A JP 2015018720A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- sampling time
- sample
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
本発明は、画素ごとの信号電子の数を正確に計数することが可能な荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、以下に荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームの試料への照射によって得られる荷電粒子を検出する検出器と、前記試料に対する前記荷電粒子ビームの照射を遮断するブランカを備えた荷電粒子線装置であって、前記検出器の出力に基づいて、サンプリング時間単位の荷電粒子の検出の有無を決定する処理部を備え、当該処理部は、前記ブランカによって前記試料に対する荷電粒子ビームの照射が遮断されているときの前記検出器の出力に基づいて、前記荷電粒子の検出の有無を決定するための参照情報を算出し、当該参照情報に基づいて、前記試料に荷電粒子ビームが照射されているときの荷電粒子の検出の有無を決定し、計数して画素毎に計数した数に対応した輝度を出力する荷電粒子線装置を提案する。
【選択図】図4
Description
あるサンプリング時間T(M)で信号電子が検出された(Hit)という判定出力をすると、T(O)>T(M)のサンプリング時間では、次の条件4が満たされない限り、出力判定スイッチはOffとなり、条件4が満たされたT(O)以降は全てOnとなる。
図5は本アルゴリズムを説明する図である。図5の最上段は、図3の特に電子線が試料に照射されている走査時間中のあるサンプリング時間(T(1)〜T(24))に対してA/D変換機205で出力されたデジタル電圧信号の出力電圧をプロットしたグラフ311である。ここでは、T(5)、T(10)、T(15)に信号電子が検出された場合を仮定する。T(1)から考えると、T(4)で条件1、条件3が満たされる。ただし、条件2は満たされない。T(5)では、出力電圧差のグラフ313に示すとおり条件1と条件2と条件3が同時に満たされるため、検出判定314はHitを出力する。T(6)では、条件4が満たされないため、出力判定スイッチ312はOffとなっており、条件1、条件2が同時に満たされるが、条件3が満たされないので、Hitは出力されない。これ以降、T(8)で初めて条件4が満たされ、スイッチはOnに戻る。同様にして、T(5)、T(10)、T(15)において、条件1と条件2と条件3が同時に満たされることなり、信号電子が検出されたという検出判定314を出力する。
図12は条件4´を用いた場合のアルゴリズムを説明する図である。図5の場合と同様に、T(5)、T(10)、T(15)に信号電子が検出された場合を仮定する。図5の場合とは、T(7)、T(8)の出力電圧の挙動が異なっている。この挙動は、T(5)で立ち上がり始めた出力電圧が、立ち上がりの途中であるにも関わらず、フロアノイズなどの影響によりT(7)で立ち下がってしまっている状態を示している。先述の条件4を採用していた場合、V(T(7))<V(T(6))であるため、T(7)で出力判定スイッチ312がOnになってしまい、T(8)でV(T(8))−V(T(7))がしきい立ち上がり強度310より大きいため、T(8)でHitの検出判定をしてしまう。一方、条件4´を用いる場合、V(T(7))―V(T(6))>しきい立下り強度316であるため、T(7)で出力判定スイッチ312はOffのままである。その結果、T(8)での誤検出を避けることが出来る。
CNR = (AveB−AveD)/(StdB2+StdD2) 式705
信号判定処理の最適化に使うパラメータを変化させながら1フレーム画像を取得し、CNRが最小になる値を最適条件として保存する。ここでいう、パラメータとは、例えば、ブランキング時間中に集計したデータの統計量からしきい値309としきい立ち上がり強度310を算出する際の計算式に使う係数や、光電子増倍器202の設定ゲインである。
Claims (12)
- 荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームの試料への照射によって得られる荷電粒子をサンプリング時間毎に検出する検出器と、前記試料に対する前記荷電粒子ビームの照射を遮断するブランカを備えた荷電粒子線装置において、
前記検出器の出力に基づいて、画素単位の荷電粒子の検出の有無を決定する処理部を備え、当該処理部は、前記ブランカによって前記試料に対する荷電粒子ビームの照射が遮断されているときの前記検出器の出力に基づいて、前記荷電粒子の検出の有無を決定するための参照情報を算出し、当該参照情報に基づいて、前記試料に荷電粒子ビームが照射されているときの荷電粒子の検出の有無を判定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記処理部にて荷電粒子の検出が有りと判定されたときの前記処理部の出力に基づいて画像を形成する画像形成部を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2において、
前記画増形成部は、前記処理部の出力を積算して画像形成を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記処理部は、前記ブランカによって前記試料に対する荷電粒子ビームの照射が遮断されているときの前記検出器の出力に基づいて、前記荷電粒子の検出の有無を決定するための一つもしくは複数のしきい値を決定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記処理部は、前記ブランカによって前記試料に対する荷電粒子ビームの照射が遮断されているときの前記検出器の出力信号について統計処理を行うことによって、前記しきい値を算出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記処理部は、前記試料上を荷電粒子ビームが走査している間のあるサンプリング時間T(N)とそれより前のサンプリング時間T(N−1)の出力との差である(V(T(N))−V(T(N−1)))と第一のしきい値との大小の比較を行って検出があったかの判定を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記処理部は、前記試料上を荷電粒子ビームが走査している間のあるサンプリング時間T(N)とそれより前のサンプリング時間T(N−1)の出力との差である(V(T(N))−V(T(N−1)))と第二のしきい値との大小の比較を行って、結果によっては、それ以降のサンプリング時間で検出があったと判定される条件が起こっても検出があったと判定させないこと特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記処理部は、あるサンプリング時間T(N)とそれより前のサンプリング時間T(N−1)の出力との差である(V(T(N))−V(T(N−1)))と第一のしきい値との大小の比較を行った上で検出があったかの判定を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記処理部は、前記試料上を荷電粒子ビームが走査している間のあるサンプリング時間T(N)とそれより前のサンプリング時間T(N−1)の出力との差である(V(T(N))−V(T(N−1)))と第二のしきい値との大小の比較を行って、結果によっては、それ以降のサンプリング時間で検出があったと判定される前記条件が起こっても検出があったと判定させないこと特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記処理部は、あるサンプリング時間T(N)での前記検出器の出力V(T(N))と第一のしきい値との大小を比較した上で検出があったかの第一の判定を行い、あるサンプリング時間T(N)とそれより前のサンプリング時間T(N−1)の出力との差である(V(T(N))−V(T(N−1)))と第二のしきい値との大小の比較を行った上で検出があったかの第二の判定を行い、第一と第二の判定の両者で検出があったと判定された場合に、前記荷電粒子の検出が有ったと判定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10において、
前記処理部は、前記試料上を荷電粒子ビームが走査している間のあるサンプリング時間T(N)とそれより前のサンプリング時間T(N−1)の出力との差である(V(T(N))−V(T(N−1)))と第三のしきい値との大小の比較を行って、結果によっては、それ以降のサンプリング時間で検出があったと判定される前記条件が起こった場合でも検出があったと判定させないこと特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、前記処理部は、あるサンプリング時間T(N)での前記検出器の出力V(T(N))と第一のしきい値との大小を比較した上で検出があったかの判定を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013145960A JP6298601B2 (ja) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013145960A JP6298601B2 (ja) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | 荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015018720A true JP2015018720A (ja) | 2015-01-29 |
JP6298601B2 JP6298601B2 (ja) | 2018-03-20 |
Family
ID=52439547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013145960A Expired - Fee Related JP6298601B2 (ja) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6298601B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016125378A1 (ja) | 2015-02-02 | 2016-08-11 | 株式会社Ihi | コイル装置の取付構造およびコイル装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5965783A (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-14 | Hamamatsu Tv Kk | 粒子線に原因する画像計測装置 |
JPS59224038A (ja) * | 1983-06-02 | 1984-12-15 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線走査型分析装置 |
JPH01169862A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-05 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
JPH01265184A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放射線受像装置 |
JP2005243368A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Sii Nanotechnology Inc | Fib/sem複合装置の画像ノイズ除去 |
JP2006189375A (ja) * | 2005-01-07 | 2006-07-20 | Shimadzu Corp | X線分析用信号処理装置 |
JP2011175811A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
-
2013
- 2013-07-12 JP JP2013145960A patent/JP6298601B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5965783A (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-14 | Hamamatsu Tv Kk | 粒子線に原因する画像計測装置 |
JPS59224038A (ja) * | 1983-06-02 | 1984-12-15 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線走査型分析装置 |
JPH01169862A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-05 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
JPH01265184A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放射線受像装置 |
JP2005243368A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Sii Nanotechnology Inc | Fib/sem複合装置の画像ノイズ除去 |
JP2006189375A (ja) * | 2005-01-07 | 2006-07-20 | Shimadzu Corp | X線分析用信号処理装置 |
JP2011175811A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016125378A1 (ja) | 2015-02-02 | 2016-08-11 | 株式会社Ihi | コイル装置の取付構造およびコイル装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6298601B2 (ja) | 2018-03-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9633818B2 (en) | Charged particle beam apparatus, image forming method using a charged particle beam apparatus, and image processing apparatus | |
JP6289339B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 | |
US9322711B2 (en) | Light signal detecting circuit, light amount detecting device, and charged particle beam device | |
JP6352529B2 (ja) | 光量検出装置、それを用いた免疫分析装置および荷電粒子線装置 | |
JP5655084B2 (ja) | 荷電粒子ビーム顕微鏡 | |
US9368324B2 (en) | Measurement and inspection device | |
JP6267529B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び画像生成方法 | |
US10991542B2 (en) | Charged particle beam device | |
JP6202870B2 (ja) | Eds信号の解析方法 | |
US10373797B2 (en) | Charged particle beam device and image forming method using same | |
US9188552B2 (en) | X-ray spectrometer and sample analyzer | |
US8093567B2 (en) | Method and system for counting secondary particles | |
JP2011175811A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP6298601B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
KR20140138974A (ko) | 확장된 동적 범위를 갖는 광전자 증배관 | |
JP2017130334A (ja) | 荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム装置の画像形成方法 | |
US6995369B1 (en) | Scanning electron beam apparatus and methods of processing data from same | |
JP3832331B2 (ja) | 電子線分析装置 | |
JP2000133193A (ja) | 荷電粒子線照射装置 | |
US20230335373A1 (en) | Charged particle beam apparatus and processor system | |
JP2008027788A (ja) | 走査荷電粒子顕微鏡 | |
JP2012112899A (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160606 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170116 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170123 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170327 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170602 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20170803 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6298601 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |