JP2008027788A - 走査荷電粒子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検出信号をアナログ積分器7でアナログ積分し、アナログ積分器7の出力が指定した値を越えたらA/D変換器8でディジタル値に変換し、そのディジタル値をディジタル積分器9でディジタル積分する。
【選択図】 図1
Description
浜松ホトニクス株式会社編集委員会著「光電子増倍管」発行:浜松ホトニクス株式会社、1993年4月20日、p179−190(7章 7.3外部回路との接続)
第1に、一次プローブビームにより試料から得られる検出信号をアナログ積分して出力するアナログ積分器と、該アナログ積分した信号をディジタル信号に変換するA/D変換器と、前記A/D変換器からのディジタル信号を積分して画像記憶装置に出力するディジタル積分器とを有する。すなわち、離散化した検出信号をアナログ積分器にてアナログ積分し、さらにこの積分した信号をA/D変換してからディジタル積分するようにした。
2 一次プローブビーム
3 偏向電極
4 試料
5 二次電子
6 二次電子検出器
7 アナログ積分器
8 A/D変換器
9 ディジタル積分器
10 画像記憶装置
11 走査制御回路
12 画像表示装置
13 入力信号
14 アナログ積分器
15 アナログ積分器出力
16 コンパレータ
17 基準信号
18 判定信号
19 アナログリセット信号
20 A/D変換器
21 加算器
22 レジスタ
23 ディジタル積分器出力
24 ディジタルリセット信号
25 入力信号波形
26 積分信号波形
27 アナログ積分器1
28 アナログ積分器2
29 A/D変換器1
30 A/D変換器2
31 セレクタ
32 切替信号
Claims (3)
- 一次プローブビームにより試料から得られる検出信号をアナログ積分して出力するアナログ積分器と、該アナログ積分した信号をディジタル信号に変換するA/D変換器と、前記A/D変換器からのディジタル信号を積分して画像記憶装置に出力するディジタル積分器とを有する走査荷電粒子顕微鏡。
- 前記アナログ積分器で積分した信号値を判定するコンパレータを有し、前記アナログ積分器の信号が、前記コンパレータにより指定された値を超えた事を検出したら、前記アナログ積分器の信号を前記A/D変換器でディジタル値に変換してディジタル積分器に出力すると共に前記アナログ積分器をリセットする請求項1記載の走査荷電粒子顕微鏡。
- 前記アナログ積分器とA/D変換器の組を少なくとも2つ備え、該組を交互にあるいは順に切り替えて使用する請求項1記載の走査荷電粒子顕微鏡。
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JP2006200345A JP2008027788A (ja) | 2006-07-24 | 2006-07-24 | 走査荷電粒子顕微鏡 |
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JP2006200345A JP2008027788A (ja) | 2006-07-24 | 2006-07-24 | 走査荷電粒子顕微鏡 |
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2006
- 2006-07-24 JP JP2006200345A patent/JP2008027788A/ja not_active Withdrawn
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