JPS6040137B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6040137B2 JPS6040137B2 JP11254380A JP11254380A JPS6040137B2 JP S6040137 B2 JPS6040137 B2 JP S6040137B2 JP 11254380 A JP11254380 A JP 11254380A JP 11254380 A JP11254380 A JP 11254380A JP S6040137 B2 JPS6040137 B2 JP S6040137B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron
- scanning
- electron beam
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料の表裏両面からの情報を含まず、純粋に試
料内部の組成に基づくコントラストのみが与えられた透
過走査像を取得することのできる走査電子顕微鏡に関す
るものである。
料内部の組成に基づくコントラストのみが与えられた透
過走査像を取得することのできる走査電子顕微鏡に関す
るものである。
走査電子顕微鏡においては、試料上に細く絞った電子線
を照射すると共に該電子線を２次元的に走査し、試料を
透過した電子線をそのまま直接に又はエネルギー分析器
を介して検出し、得られた検出信号を上記試料上での電
子線走査に同期した表示手段に供給し、該表示手段の画
面上に試料の透過走査像を形成するようにしている。
を照射すると共に該電子線を２次元的に走査し、試料を
透過した電子線をそのまま直接に又はエネルギー分析器
を介して検出し、得られた検出信号を上記試料上での電
子線走査に同期した表示手段に供給し、該表示手段の画
面上に試料の透過走査像を形成するようにしている。
透過電子は試料内部を透過する間に試料各部の組成に応
じた影響を受けるため、透過走査像は試料の内部組成に
関する情報を含んだものになると考えられている。とこ
ろが実際には透過電子線は試料に入射する際と試料裏面
から出射する際にその入出射部における試料の表面状態
（凹凸等）によって少なからぬ影響を受けており、その
結果得られる透過走査像は表面状態の情報を含んだもの
となってしまっている。
じた影響を受けるため、透過走査像は試料の内部組成に
関する情報を含んだものになると考えられている。とこ
ろが実際には透過電子線は試料に入射する際と試料裏面
から出射する際にその入出射部における試料の表面状態
（凹凸等）によって少なからぬ影響を受けており、その
結果得られる透過走査像は表面状態の情報を含んだもの
となってしまっている。
本発明は従来の走査電子顕微鏡で透過走査像を取得する
際、試料透過電子線の検出信号のみを輝度信号として用
いたのに対して、試料を挟んで上下に試料の上側及び下
側表面から発生する２次電子を検出する検出器を夫々設
置し、透過電子線の検出信号から上記２つの２次電子検
出器からの検出信号を減算したものを輝度信号として用
いることにより試料の表面状態の情報を除くことを特徴
とするものであり、以下図面を用いて本発明を説明する
。
際、試料透過電子線の検出信号のみを輝度信号として用
いたのに対して、試料を挟んで上下に試料の上側及び下
側表面から発生する２次電子を検出する検出器を夫々設
置し、透過電子線の検出信号から上記２つの２次電子検
出器からの検出信号を減算したものを輝度信号として用
いることにより試料の表面状態の情報を除くことを特徴
とするものであり、以下図面を用いて本発明を説明する
。
図面は本発明の一実施例の構成を示す図であり、同図に
おいて１は電子銃である。
おいて１は電子銃である。
該電子銃１から発生した電子線２は集東レンズ３によっ
て試料４へ向けて細く集東されると共に、走査回路５か
ら発生する走査信号が供給される偏向コイル６×，６Ｙ
によって試料上で２次元的に走査される。試料４の上方
及び下方には該試料の上側表面及び下側表面（裏面）か
ら発生する２次電子を検出するための、シンチレータ、
光電子増倍管等より構成されている２次電子検出器７′
，８が夫々配置されている。
て試料４へ向けて細く集東されると共に、走査回路５か
ら発生する走査信号が供給される偏向コイル６×，６Ｙ
によって試料上で２次元的に走査される。試料４の上方
及び下方には該試料の上側表面及び下側表面（裏面）か
ら発生する２次電子を検出するための、シンチレータ、
光電子増倍管等より構成されている２次電子検出器７′
，８が夫々配置されている。
更に試料下方の光軸上には試料を透過した透過電子線を
検出するための透過電子検出器９が配置されており、該
検出器９から得られる検出信号Ｖ，は減算回路１０の一
方の入力端子へ供給される。
検出するための透過電子検出器９が配置されており、該
検出器９から得られる検出信号Ｖ，は減算回路１０の一
方の入力端子へ供給される。
該減算回路１０の他方の入力端子には前記２次電子検出
器７，８から得られる検出信号Ｖ２，Ｖ３を加算回路１
１で加算して得られた信号Ｖ２十Ｖ３が供給される。
上記減算回路１０の出力信号としてはＶ，とＶ２十Ｖ３
との差即ちＶ，一Ｖ２一Ｖ３が得られ、該出力信号は陰
極線管（ＣＲＴ）１２のグリッドへ輝度信号として送ら
れる。
器７，８から得られる検出信号Ｖ２，Ｖ３を加算回路１
１で加算して得られた信号Ｖ２十Ｖ３が供給される。
上記減算回路１０の出力信号としてはＶ，とＶ２十Ｖ３
との差即ちＶ，一Ｖ２一Ｖ３が得られ、該出力信号は陰
極線管（ＣＲＴ）１２のグリッドへ輝度信号として送ら
れる。
該ＣＲＴ１２の偏向コイル１３×，１３Ｙには前記走査
回路５から発生する走査信号が供給されるため、該ＣＲ
Ｔは試料上での電子走査線に同期して走査される。斯か
る構成において、２次電子検出器７から得られる検出信
号Ｖ２は試料４の上側表面の情報を含んだ信号であり、
同じく検出器８かち得られる検出信号Ｖ３は試料４の下
側表面の情報を含んだ信号である。
回路５から発生する走査信号が供給されるため、該ＣＲ
Ｔは試料上での電子走査線に同期して走査される。斯か
る構成において、２次電子検出器７から得られる検出信
号Ｖ２は試料４の上側表面の情報を含んだ信号であり、
同じく検出器８かち得られる検出信号Ｖ３は試料４の下
側表面の情報を含んだ信号である。
従って加算回路１１及び減算回路１０から成る演算回路
を用いて前記検出器９から得られる透過電子線の検出信
号Ｖ，からＶ２，Ｖ３を減算したＶ，一Ｖ２−Ｖ３なる
信号を作成すれば、該信号は試料の表裏両方の表面状態
の情報を除いた純粋に試料内部の組成に関する情報のみ
を含むものとなる。従ってＣＲＴ１２の画面に表示され
る透過走査像は試料の表面状態に左右されない試料内部
の組成に応じたコントラストのみが与えられたものとな
る。以上詳述した如く本発明によれば試料の表裏両方の
表面状態による影響を除くことができるため、例えば試
料の表面あるいは裏面にゴミが付着していた場合、従釆
ではそのゴミによる明暗が像に発生し、組成によるもの
か否かは判別できなかったのに対し、そのゴミによる明
暗はＶ２及びＶ３をＶ，から減算することにより完全に
除去されることとなる。
を用いて前記検出器９から得られる透過電子線の検出信
号Ｖ，からＶ２，Ｖ３を減算したＶ，一Ｖ２−Ｖ３なる
信号を作成すれば、該信号は試料の表裏両方の表面状態
の情報を除いた純粋に試料内部の組成に関する情報のみ
を含むものとなる。従ってＣＲＴ１２の画面に表示され
る透過走査像は試料の表面状態に左右されない試料内部
の組成に応じたコントラストのみが与えられたものとな
る。以上詳述した如く本発明によれば試料の表裏両方の
表面状態による影響を除くことができるため、例えば試
料の表面あるいは裏面にゴミが付着していた場合、従釆
ではそのゴミによる明暗が像に発生し、組成によるもの
か否かは判別できなかったのに対し、そのゴミによる明
暗はＶ２及びＶ３をＶ，から減算することにより完全に
除去されることとなる。
図面は本発明の一実施例の構成を示す図である。
７，８：２次電子検出器、９：透過電子検出器、１０：
減算回路、１１：加算回路、１２：ＣＲＴ。
減算回路、１１：加算回路、１２：ＣＲＴ。
Claims (1)
- １ 電子銃と該電子銃から発生した電子線を試料に向け
て集束させるための集束レンズと、電子線を試料上で２
次元的に走査するための偏向手段と、電子線照射により
試料上側表面から発生する２次電子を検出するために試
料の上方に配置された第１の２次電子検出器と、電子線
照射により試料下側表面から発生する２次電子を検出す
るために試料の下方に配置された第２の２次電子検出器
と、試料を透過した電子線を検出するための透過電子検
出器と、該透過電子検出器の出力信号から前記第１及び
第２の２次電子検出器の出力信号を減算するための演算
手段と、該演算手段の出力が輝度変調信号として供給さ
れる前記偏向手段と同期した表示手段とを具備したこと
を特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11254380A JPS6040137B2 (ja) | 1980-08-15 | 1980-08-15 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11254380A JPS6040137B2 (ja) | 1980-08-15 | 1980-08-15 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5736763A JPS5736763A (ja) | 1982-02-27 |
| JPS6040137B2 true JPS6040137B2 (ja) | 1985-09-09 |
Family
ID=14589272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11254380A Expired JPS6040137B2 (ja) | 1980-08-15 | 1980-08-15 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6040137B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2796360B2 (ja) * | 1989-06-23 | 1998-09-10 | 富士通株式会社 | 送信用ミキサ |
| JPH11250850A (ja) | 1998-03-02 | 1999-09-17 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡及び顕微方法並びに対話型入力装置 |
| JP2003083213A (ja) | 2001-09-17 | 2003-03-19 | Denso Corp | エンジン始動システム |
| JP3914750B2 (ja) | 2001-11-20 | 2007-05-16 | 日本電子株式会社 | 収差補正装置を備えた荷電粒子線装置 |
-
1980
- 1980-08-15 JP JP11254380A patent/JPS6040137B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5736763A (ja) | 1982-02-27 |
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