JPH05288692A - コッセル回折像自動解析装置 - Google Patents
コッセル回折像自動解析装置Info
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- JPH05288692A JPH05288692A JP4094392A JP9439292A JPH05288692A JP H05288692 A JPH05288692 A JP H05288692A JP 4094392 A JP4094392 A JP 4094392A JP 9439292 A JP9439292 A JP 9439292A JP H05288692 A JPH05288692 A JP H05288692A
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- cossel
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- electron beam
- diffraction
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コッセル回折像を高精度に観察することがで
きるコッセル回折像自動解析装置を提供する。 【構成】 試料２１に電子線を照射して得られるコッセ
ル回折像を観察するコッセル回折像観察装置１と、この
コッセル回折像観察装置１により得られたコッセル回折
像から試料の結晶粒の方位および歪を解析する画像処理
・解析装置２とからなるコッセル回折像自動解析装置に
おいて、前記コッセル回折像観察装置１が、電子線発生
装置１１と、この電子線発生装置１１から発生した電子
線を試料２１に照射して得られるコッセル回折像が投射
される位置に配設した輝尽性蛍光板２２ー１（２２ー
２）と、この輝尽性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像
を読み取る画像読み取り装置２３ー１（２３ー２）と、
この輝尽性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像を消去す
る画像消去装置２４ー１（２４ー２）とから構成する。
きるコッセル回折像自動解析装置を提供する。 【構成】 試料２１に電子線を照射して得られるコッセ
ル回折像を観察するコッセル回折像観察装置１と、この
コッセル回折像観察装置１により得られたコッセル回折
像から試料の結晶粒の方位および歪を解析する画像処理
・解析装置２とからなるコッセル回折像自動解析装置に
おいて、前記コッセル回折像観察装置１が、電子線発生
装置１１と、この電子線発生装置１１から発生した電子
線を試料２１に照射して得られるコッセル回折像が投射
される位置に配設した輝尽性蛍光板２２ー１（２２ー
２）と、この輝尽性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像
を読み取る画像読み取り装置２３ー１（２３ー２）と、
この輝尽性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像を消去す
る画像消去装置２４ー１（２４ー２）とから構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線コッセル回折像か
ら微小領域の結晶方位および歪量を測定するコッセル回
折像自動解析装置に関するものである。
ら微小領域の結晶方位および歪量を測定するコッセル回
折像自動解析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】微小領域の結晶方位を測定する手法とし
て、走査電子像顕微鏡（以下、ＳＥＭ像という）を利用
したコッセル線解析手法が従来のマイクロラウエ法やエ
ッチピット法に代わって使用されつつある。この手法
は、発明者らがさきに特公昭６３ー１５３３号公報およ
び実公昭５７ー４７７９１号公報において開示したよう
にに、走査型電子顕微鏡とコッセルカメラを組み合わ
せ、結晶解析すべき微小領域に走査型電子顕微鏡用の直
径数ミクロンまで絞りこんだ電子線を照射して、微小領
域中の原子が励起されて発生したコッセル線の像をコッ
セルカメラによって撮影するものである。しかしなが
ら、上述した装置ではＸ線フィルムを用いている都合
上、装置へのフィルムのセッティング、フィルムの現
像、定着、フィルムの解析等に時間と労力がかかり、広
範囲の集合組織に関する情報を得るのは大変困難であっ
た。
て、走査電子像顕微鏡（以下、ＳＥＭ像という）を利用
したコッセル線解析手法が従来のマイクロラウエ法やエ
ッチピット法に代わって使用されつつある。この手法
は、発明者らがさきに特公昭６３ー１５３３号公報およ
び実公昭５７ー４７７９１号公報において開示したよう
にに、走査型電子顕微鏡とコッセルカメラを組み合わ
せ、結晶解析すべき微小領域に走査型電子顕微鏡用の直
径数ミクロンまで絞りこんだ電子線を照射して、微小領
域中の原子が励起されて発生したコッセル線の像をコッ
セルカメラによって撮影するものである。しかしなが
ら、上述した装置ではＸ線フィルムを用いている都合
上、装置へのフィルムのセッティング、フィルムの現
像、定着、フィルムの解析等に時間と労力がかかり、広
範囲の集合組織に関する情報を得るのは大変困難であっ
た。
【０００３】上述した欠点を解決するため、発明者らは
特開昭５６ー２６２４８号公報において、Ｘ線イメージ
インテンシファイヤを用いたＸ線コッセル回折像解析装
置を開示した。この装置は、従来のＸ線フィルムに代わ
って、Ｘ線イメージインテンシファイヤの出力をデジタ
ルデータに変換してブラウン管上に表示させることがで
きる。しかしながら、このようにして得られるコッセル
回折像もこのままでは実験データとして使用することは
できず、コッセル回折像解析にあたり、誤差を最小限に
抑えるためにも、また省力化のためにも、解析の自動化
が必要不可欠のものであった。
特開昭５６ー２６２４８号公報において、Ｘ線イメージ
インテンシファイヤを用いたＸ線コッセル回折像解析装
置を開示した。この装置は、従来のＸ線フィルムに代わ
って、Ｘ線イメージインテンシファイヤの出力をデジタ
ルデータに変換してブラウン管上に表示させることがで
きる。しかしながら、このようにして得られるコッセル
回折像もこのままでは実験データとして使用することは
できず、コッセル回折像解析にあたり、誤差を最小限に
抑えるためにも、また省力化のためにも、解析の自動化
が必要不可欠のものであった。
【０００４】１９６０年初頭からコンピュータによる画
像解析法が発達し、Ｘ線ラウエ法や電子線解析法が発達
し、Ｘ線ラウエ法や電子線回折法による回折スポットの
距離の自動測定などが行われてきているが、発明者らは
Ｘ線イメージインテンシファイヤに画像回折装置を接続
することにより、コッセル線像の方位、歪量解析の自動
化が可能であると考え、多数のデータを高精度にしかも
短時間に処理できるものとして、特開昭６０ー１６６８
９７号公報において、上述した欠点を解消し、自動的に
コッセル線像の方位および歪量を解析することによっ
て、多数のデータを高精度、短時間に処理でき、誤差も
少ないＸ線コッセル回折像解析装置を提案した。
像解析法が発達し、Ｘ線ラウエ法や電子線解析法が発達
し、Ｘ線ラウエ法や電子線回折法による回折スポットの
距離の自動測定などが行われてきているが、発明者らは
Ｘ線イメージインテンシファイヤに画像回折装置を接続
することにより、コッセル線像の方位、歪量解析の自動
化が可能であると考え、多数のデータを高精度にしかも
短時間に処理できるものとして、特開昭６０ー１６６８
９７号公報において、上述した欠点を解消し、自動的に
コッセル線像の方位および歪量を解析することによっ
て、多数のデータを高精度、短時間に処理でき、誤差も
少ないＸ線コッセル回折像解析装置を提案した。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このＸ
線インテンシファイヤを用いたＸ線コッセル回折像解析
装置は、測定感度が低く、また感度の経時変化があり、
さらに照射した後読み取る方式では再現性に問題があ
り、満足できる正確なデータを得ることができない問題
があった。
線インテンシファイヤを用いたＸ線コッセル回折像解析
装置は、測定感度が低く、また感度の経時変化があり、
さらに照射した後読み取る方式では再現性に問題があ
り、満足できる正確なデータを得ることができない問題
があった。
【０００６】本発明の目的は上述した課題を解消して、
コッセル回折像を高精度に観察することができるコッセ
ル回折像自動解析装置を提供しようとするものである。
コッセル回折像を高精度に観察することができるコッセ
ル回折像自動解析装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のコッセル回折像
自動解析装置は、試料に電子線を照射して得られるコッ
セル回折像を観察するコッセル回折像観察装置と、この
コッセル回折像観察装置により得られたコッセル回折像
から試料の結晶粒の方位および歪を解析する画像処理・
解析装置とからなるコッセル回折像自動解析装置におい
て、前記コッセル回折像観察装置が、電子線発生装置
と、この電子線発生装置から発生した電子線を試料に照
射して得られるコッセル回折像が投射される位置に配設
した輝尽性蛍光板と、この輝尽性蛍光板に蓄積されたコ
ッセル回折像を読み取る画像読み取り装置と、この輝尽
性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像を消去する画像消
去装置とからなることを特徴とするものである。
自動解析装置は、試料に電子線を照射して得られるコッ
セル回折像を観察するコッセル回折像観察装置と、この
コッセル回折像観察装置により得られたコッセル回折像
から試料の結晶粒の方位および歪を解析する画像処理・
解析装置とからなるコッセル回折像自動解析装置におい
て、前記コッセル回折像観察装置が、電子線発生装置
と、この電子線発生装置から発生した電子線を試料に照
射して得られるコッセル回折像が投射される位置に配設
した輝尽性蛍光板と、この輝尽性蛍光板に蓄積されたコ
ッセル回折像を読み取る画像読み取り装置と、この輝尽
性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像を消去する画像消
去装置とからなることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】上述した構成において、コッセル回折像を輝尽
性蛍光板で撮像して、この輝尽性蛍光板に蓄積したコッ
セル回折像を読み出して、コッセル回折像を得ているた
め、従来のＸ線インテンシファイヤを用いた場合と比べ
て、高感度で感度の変化がなく再現性も良好なコッセル
回折像を得ることができる。なお、輝尽性蛍光板は、上
述したように蓄積した画像の読み出しおよび消去の手間
がかかり短時間に連続してコッセル像を得ることは難し
い。そのため、輝尽性蛍光板の同一平面上にコッセル回
折像撮像領域、コッセル回折像読み取り領域およびコッ
セル回折像消去領域を設け、同時にコッセル回折像の撮
像、読み取りおよび消去を行うように構成すると、短時
間に連続してコッセル回折像を得ることができるため好
ましい。
性蛍光板で撮像して、この輝尽性蛍光板に蓄積したコッ
セル回折像を読み出して、コッセル回折像を得ているた
め、従来のＸ線インテンシファイヤを用いた場合と比べ
て、高感度で感度の変化がなく再現性も良好なコッセル
回折像を得ることができる。なお、輝尽性蛍光板は、上
述したように蓄積した画像の読み出しおよび消去の手間
がかかり短時間に連続してコッセル像を得ることは難し
い。そのため、輝尽性蛍光板の同一平面上にコッセル回
折像撮像領域、コッセル回折像読み取り領域およびコッ
セル回折像消去領域を設け、同時にコッセル回折像の撮
像、読み取りおよび消去を行うように構成すると、短時
間に連続してコッセル回折像を得ることができるため好
ましい。
【０００９】また、従来、放射線画像を得るには写真フ
ィルムが利用されていたが、銀資源の枯渇等の問題から
銀塩を使用しない放射線像を画像化する方法が種々検討
されてきた。その結果、ある種の感度に優れた蛍光体、
いわゆる輝尽性蛍光体板（イメージングプレートともい
われている）を利用する方法が、特公昭６０ー９５４２
号公報、特公昭６０ー４２８３７号公報、特公昭６２ー
２７１１８号公報、特公平１ー４１１９１号公報等に開
示されている。本発明では、これらの公報で開示されて
いるのと同じ輝尽性蛍光板を使用している。
ィルムが利用されていたが、銀資源の枯渇等の問題から
銀塩を使用しない放射線像を画像化する方法が種々検討
されてきた。その結果、ある種の感度に優れた蛍光体、
いわゆる輝尽性蛍光体板（イメージングプレートともい
われている）を利用する方法が、特公昭６０ー９５４２
号公報、特公昭６０ー４２８３７号公報、特公昭６２ー
２７１１８号公報、特公平１ー４１１９１号公報等に開
示されている。本発明では、これらの公報で開示されて
いるのと同じ輝尽性蛍光板を使用している。
【００１０】この輝尽性蛍光板は、例えばＸ線像を潜像
として記録するとともに、この潜像に参照光を照射した
とき、その潜像に対応した発光が生じてこの潜像が消え
て元の状態に復帰する性質（輝尽性）を有するものであ
る。したがって、例えばＸ線回折像を潜像として記録
し、この潜像の各点に参照光を照射してそのときこれら
各点で生ずる発光を検出すれば、前記潜像を読み取るこ
とができる。この方法は、前記写真法と同様の機能を有
するほかに、前記写真法に比較して露光時間（蓄積時
間）が短くてすみ、かつ、繰り返し露光（蓄積）及び読
み取りができる。しかも、例えば、コンピュータ画像処
理技術を利用した画像読み取り装置を用いれば高速読み
取りができ、かつ、読み取った画像のコンピュータ解析
ができる。なお、これらの一連のイメージングプレート
を用いたＸ線回折装置に関しては、特開平１ー２０１１
４６号公報、特開平１ー２７４１２８号公報、特開平３
ー１６７４５８号公報等に開示があり、またこれらの装
置の解説は「片山忠二：第８６回Ｘ線材料強度部門委員
会、昭和６３年６月２１日」に示されている。
として記録するとともに、この潜像に参照光を照射した
とき、その潜像に対応した発光が生じてこの潜像が消え
て元の状態に復帰する性質（輝尽性）を有するものであ
る。したがって、例えばＸ線回折像を潜像として記録
し、この潜像の各点に参照光を照射してそのときこれら
各点で生ずる発光を検出すれば、前記潜像を読み取るこ
とができる。この方法は、前記写真法と同様の機能を有
するほかに、前記写真法に比較して露光時間（蓄積時
間）が短くてすみ、かつ、繰り返し露光（蓄積）及び読
み取りができる。しかも、例えば、コンピュータ画像処
理技術を利用した画像読み取り装置を用いれば高速読み
取りができ、かつ、読み取った画像のコンピュータ解析
ができる。なお、これらの一連のイメージングプレート
を用いたＸ線回折装置に関しては、特開平１ー２０１１
４６号公報、特開平１ー２７４１２８号公報、特開平３
ー１６７４５８号公報等に開示があり、またこれらの装
置の解説は「片山忠二：第８６回Ｘ線材料強度部門委員
会、昭和６３年６月２１日」に示されている。
【００１１】
【実施例】図１は本発明のコッセル回折像自動解析装置
の一例の構成を示す図である。図１に示す例において、
本発明のコッセル回折像自動解析装置は、試料に電子線
を照射して得られるコッセル回折像を観察するコッセル
回折像観察装置１と、このコッセル回折像解析装置１に
より得られたコッセル回折像から試料の結晶粒の方位お
よび歪を解析して表示する画像処理・解析装置２とから
構成される。また、コッセル回折像観察装置１は、電子
線発生装置１１と、この電子線発生装置１１から発生し
た電子線を試料２１に照射して得られる反射または透過
コッセル回折像が投射される位置に配設した輝尽性蛍光
板（イメージングプレート）２２ー１、２２ー２と、こ
の輝尽性蛍光板２２ー１、２２ー２に蓄積されたコッセ
ル回折像を読み取る画像読み取り装置２３ー１、２３ー
２と、この輝尽性蛍光板２２ー１、２２ー２に蓄積され
たコッセル回折像を消去する画像消去装置２４ー１、２
４ー２とから構成される。さらに、画像処理・解析装置
２は、得られたコッセル回折像を解析する画像処理解析
部３１と、この画像処理解析部３１で解析した試料の結
晶粒の方位および歪を表示する表示部３２とから構成さ
れる。
の一例の構成を示す図である。図１に示す例において、
本発明のコッセル回折像自動解析装置は、試料に電子線
を照射して得られるコッセル回折像を観察するコッセル
回折像観察装置１と、このコッセル回折像解析装置１に
より得られたコッセル回折像から試料の結晶粒の方位お
よび歪を解析して表示する画像処理・解析装置２とから
構成される。また、コッセル回折像観察装置１は、電子
線発生装置１１と、この電子線発生装置１１から発生し
た電子線を試料２１に照射して得られる反射または透過
コッセル回折像が投射される位置に配設した輝尽性蛍光
板（イメージングプレート）２２ー１、２２ー２と、こ
の輝尽性蛍光板２２ー１、２２ー２に蓄積されたコッセ
ル回折像を読み取る画像読み取り装置２３ー１、２３ー
２と、この輝尽性蛍光板２２ー１、２２ー２に蓄積され
たコッセル回折像を消去する画像消去装置２４ー１、２
４ー２とから構成される。さらに、画像処理・解析装置
２は、得られたコッセル回折像を解析する画像処理解析
部３１と、この画像処理解析部３１で解析した試料の結
晶粒の方位および歪を表示する表示部３２とから構成さ
れる。
【００１２】電子線発生装置１１は、フィラメント１
２、ウェーネルト電極１３、コンデンサレンズ１４、対
物レンズ１５からなる電子線発生部と、コンデンサレン
ズ１４と対物レンズ１５との間に設けた電子線をＸ、Ｙ
方向に掃引する偏向コイル１６ー１、１６ー２および輝
度信号装置１７、試料２１から出る２次電子を検出する
検出器１８、検出した画像を表示するブラウン管１９ー
１、１９ー２からなる走査像表示部とから構成される。
この走査像表示部は、コッセル回折像を求めた位置を知
るために使用される。また、試料２１は図示しない反射
・透過の両用に使用できる試料台により、目的、用途に
応じて反射コッセル回折像を得る位置（実線）と透過コ
ッセル回折像を得る位置（破線）とをとれるように構成
している。
２、ウェーネルト電極１３、コンデンサレンズ１４、対
物レンズ１５からなる電子線発生部と、コンデンサレン
ズ１４と対物レンズ１５との間に設けた電子線をＸ、Ｙ
方向に掃引する偏向コイル１６ー１、１６ー２および輝
度信号装置１７、試料２１から出る２次電子を検出する
検出器１８、検出した画像を表示するブラウン管１９ー
１、１９ー２からなる走査像表示部とから構成される。
この走査像表示部は、コッセル回折像を求めた位置を知
るために使用される。また、試料２１は図示しない反射
・透過の両用に使用できる試料台により、目的、用途に
応じて反射コッセル回折像を得る位置（実線）と透過コ
ッセル回折像を得る位置（破線）とをとれるように構成
している。
【００１３】図２は本発明で使用する輝尽性蛍光板２２
ー１（２２ー２）の好適な例を示す図である。図２に示
す例では、各輝尽性蛍光板２２ー１（２２ー２）を、大
きな回転体４１の上に図中斜線で示す４つの輝尽性蛍光
板４２ー１〜４２ー４を設置して構成している。また、
輝尽性蛍光板４２ー１はコッセル回折像４３を蓄積して
撮影する位置に、輝尽性蛍光板４２ー３は蓄積されたコ
ッセル回折像を画像読み取り装置２３ー１（２３ー２）
により読み取る位置に、輝尽性蛍光板４２ー４は消去ラ
ンプから構成される画像消去装置２４ー１（２４ー２）
を用いて蓄積したコッセル回折像を完全に消去可能な位
置に、それぞれ位置しており、輝尽性蛍光板４２ー２は
何の操作も行わないアイドルポジションに位置してい
る。実際のコッセル回折像の撮影にあたっては、回転体
４１を間欠的に回転させて、上述した各位置に順次位置
させることにより、コッセル回折像の撮影、読み取り、
消去作業を順次行うことができる。そのため、装置とし
てはコッセル回折像の撮影、読み取り、消去を同時にす
ることができ、このように構成することにより、輝尽性
蛍光板の欠点である、蓄積したコッセル回折像の消去工
程が必要で連続的な撮像が難しい点を解消することがで
きる。
ー１（２２ー２）の好適な例を示す図である。図２に示
す例では、各輝尽性蛍光板２２ー１（２２ー２）を、大
きな回転体４１の上に図中斜線で示す４つの輝尽性蛍光
板４２ー１〜４２ー４を設置して構成している。また、
輝尽性蛍光板４２ー１はコッセル回折像４３を蓄積して
撮影する位置に、輝尽性蛍光板４２ー３は蓄積されたコ
ッセル回折像を画像読み取り装置２３ー１（２３ー２）
により読み取る位置に、輝尽性蛍光板４２ー４は消去ラ
ンプから構成される画像消去装置２４ー１（２４ー２）
を用いて蓄積したコッセル回折像を完全に消去可能な位
置に、それぞれ位置しており、輝尽性蛍光板４２ー２は
何の操作も行わないアイドルポジションに位置してい
る。実際のコッセル回折像の撮影にあたっては、回転体
４１を間欠的に回転させて、上述した各位置に順次位置
させることにより、コッセル回折像の撮影、読み取り、
消去作業を順次行うことができる。そのため、装置とし
てはコッセル回折像の撮影、読み取り、消去を同時にす
ることができ、このように構成することにより、輝尽性
蛍光板の欠点である、蓄積したコッセル回折像の消去工
程が必要で連続的な撮像が難しい点を解消することがで
きる。
【００１４】実際に珪素鋼の２次再結晶前の脱炭・１次
再結晶組織について、図１に示す構成の装置により透過
コッセル回折像から微細粒の方位決定を、コッセル回折
像の撮影条件を加速時間：２０ＫＶ、ビーム電流：０．
２５μA 、輝尽性蛍光板への撮影時間：３０秒として行
ったところ、微小粒の結晶方位を短時間で精度良く測定
することができた。
再結晶組織について、図１に示す構成の装置により透過
コッセル回折像から微細粒の方位決定を、コッセル回折
像の撮影条件を加速時間：２０ＫＶ、ビーム電流：０．
２５μA 、輝尽性蛍光板への撮影時間：３０秒として行
ったところ、微小粒の結晶方位を短時間で精度良く測定
することができた。
【００１５】本発明は上述した実施例にのみ限定される
ものでなく、幾多の変形、変更が可能である。例えば、
図１に示す構成は本発明の一例を示したものであって、
他の構成でもコッセル回折像を得ることができれば利用
できるとともに、図２に示す実施例では４つのポジショ
ンをとるために輝尽性蛍光板を４個設けたが、３個以上
であれば何個設けても良いことはいうまでもない。
ものでなく、幾多の変形、変更が可能である。例えば、
図１に示す構成は本発明の一例を示したものであって、
他の構成でもコッセル回折像を得ることができれば利用
できるとともに、図２に示す実施例では４つのポジショ
ンをとるために輝尽性蛍光板を４個設けたが、３個以上
であれば何個設けても良いことはいうまでもない。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、コッセル回折像の読み取りを輝尽性蛍光板を
用いて行っているため、高い測定感度で感度の経時変化
および再現性の問題を解消して、微小領域あるいは微小
粒の結晶方位や歪を精度良くまた容易に測定することが
できるコッセル回折像自動解析装置を得ることができ
る。また、輝尽性蛍光板を同一の回転体上に３個以上設
け、コッセル回折像の撮影、読み取り、消去を同時に行
えるように構成した場合は、さらに高速で連続してコッ
セル回折像を解析することができる。
によれば、コッセル回折像の読み取りを輝尽性蛍光板を
用いて行っているため、高い測定感度で感度の経時変化
および再現性の問題を解消して、微小領域あるいは微小
粒の結晶方位や歪を精度良くまた容易に測定することが
できるコッセル回折像自動解析装置を得ることができ
る。また、輝尽性蛍光板を同一の回転体上に３個以上設
け、コッセル回折像の撮影、読み取り、消去を同時に行
えるように構成した場合は、さらに高速で連続してコッ
セル回折像を解析することができる。
【図１】本発明のコッセル回折像自動解析装置の一例の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図２】本発明で使用する輝尽性蛍光板の好適な例を示
す図である。
す図である。
１ コッセル回折像観察装置 ２ 画像処理・解析装置 １１ 電子線発生装置 ２１ 試料 ２２ー１、２２ー２ 輝尽性蛍光板 ２３ー１、２３ー２ 画像読み取り装置 ２４ー１、２４ー２ 画像消去装置
Claims (2)
- 【請求項１】 試料に電子線を照射して得られるコッセ
ル回折像を観察するコッセル回折像観察装置と、このコ
ッセル回折像観察装置により得られたコッセル回折像か
ら試料の結晶粒の方位および歪を解析する画像処理・解
析装置とからなるコッセル回折像自動解析装置におい
て、前記コッセル回折像観察装置が、電子線発生装置
と、この電子線発生装置から発生した電子線を試料に照
射して得られるコッセル回折像が投射される位置に配設
した輝尽性蛍光板と、この輝尽性蛍光板に蓄積されたコ
ッセル回折像を読み取る画像読み取り装置と、この輝尽
性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像を消去する画像消
去装置とからなることを特徴とするコッセル回折像自動
解析装置。 - 【請求項２】 前記輝尽性蛍光板が、コッセル回折像撮
像領域、コッセル回折像読み取り領域およびコッセル回
折像消去領域を同一平面上に有し、同時にコッセル回折
像の撮像、読み取りおよび消去作業を行うことができる
請求項１記載のコッセル回折像自動解析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4094392A JPH05288692A (ja) | 1992-04-14 | 1992-04-14 | コッセル回折像自動解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4094392A JPH05288692A (ja) | 1992-04-14 | 1992-04-14 | コッセル回折像自動解析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05288692A true JPH05288692A (ja) | 1993-11-02 |
Family
ID=14109006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4094392A Pending JPH05288692A (ja) | 1992-04-14 | 1992-04-14 | コッセル回折像自動解析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05288692A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014206506A (ja) * | 2013-04-15 | 2014-10-30 | パルステック工業株式会社 | Ｘ線回折測定システム |
-
1992
- 1992-04-14 JP JP4094392A patent/JPH05288692A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014206506A (ja) * | 2013-04-15 | 2014-10-30 | パルステック工業株式会社 | Ｘ線回折測定システム |
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