SU1040388A1 - Устройство дл рентгеновской топографии - Google Patents

Устройство дл рентгеновской топографии Download PDF

Info

Publication number
SU1040388A1
SU1040388A1 SU823442351A SU3442351A SU1040388A1 SU 1040388 A1 SU1040388 A1 SU 1040388A1 SU 823442351 A SU823442351 A SU 823442351A SU 3442351 A SU3442351 A SU 3442351A SU 1040388 A1 SU1040388 A1 SU 1040388A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
detector
ray
focal spot
ray topography
spatial resolution
Prior art date
Application number
SU823442351A
Other languages
English (en)
Inventor
Эрнст Константинович Ковьев
Валерий Павлович Ефанов
Всеволод Григорьевич Лютцау
Феликс Николаевич Чуховский
Анатолий Вениаминович Миренский
Борис Трофимович Головченко
Original Assignee
Специальное Конструкторское Бюро Института Кристаллографии Им.А.В.Шубникова
Институт Машиноведения Им.А.А.Благонравова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Специальное Конструкторское Бюро Института Кристаллографии Им.А.В.Шубникова, Институт Машиноведения Им.А.А.Благонравова filed Critical Специальное Конструкторское Бюро Института Кристаллографии Им.А.В.Шубникова
Priority to SU823442351A priority Critical patent/SU1040388A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1040388A1 publication Critical patent/SU1040388A1/ru

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПОГРАФИИ, содержащее микрофокусный источник рентгеновского излучени  со средствами линейного перемещени  фокусного п тна, гониометр с механизмом линейного перемещени  образца и детектор, отличающеес  тем, что, с целью повышени  пространственного разрешени  топографического изображени  и контрастной чувствительности устройства, перед детектором введен кристалл-анализатор, размещенный так, что отражающие его плоскости перпендикул рны направлению перемещени  фокусного п тна. (Л с: /оо 00 00 2. /

Description

Изобретение относитс  к рентгеноструктному анализу кристаллов и може быть использовано дл  неразрушающего контрол  реальной структуры кристалл ческих пластин {съёмка на прохождение ) при производртве полупроводниковых приборов и материалов, а также массивных кристаллов (съемка на отражение ). . Дл  пр мого наблюдени  дефектов в монокристаллах разработаны и широко примен ютс  различные устройства дл  рентгеновской топографии, основанные на регистрации дифракчионного изображени  ГО Обычно дифракционное изображение регистрируетс  на  дерную фотопластинку , разрешение пор дка 10-50 мкм, с последующей ее обработкой стандарт ными химическими реактивами и увеличением изображени  (20-50 раз )на фотобумагу. При этом существенными ограничени ми сдерживающими применение рентгеновских топографических устройств дл  целей промышленного не разрушающего контрол  кристалличес .ких структур,  вл ютс  отсутствие экспрессности контрол ,, низка  точность количественной обработки результатов с помощью, ЭВМ и невозможность применени  методов рентгенбвской топографии дл  пооперационного нераэрушающего контрол  кристаллических структур в процессе их технологического изготовлени , особенно дл  контрол  кристаллических пластин диаметром 0-60 мм. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  уст ройство дл  рентгеновской топографии содержащее микрофокусный источник рентгеновского излучени  со средствами линейного перемещени  фокусного .п тна, гониометр с механизмом перемещени  образца и детектор 2 . Однако при использовании в качест ве детектора рентгеновского счетчика нужен специальный коллиматор с пространственным разрешением пор дка 10 50 мкм и площадью - 100x100 мм изготовление которого представл ет определенные трудности, непреодолимые в насто щее врем . Пространствен ное разрешение таких систем в силу принципиальных технических Трудносте не превышает 70-150 мкм. Снижение контрастной чувствительности и пространственного разрешени  в известных устройствах происходит в дпределеннои мере из-за того, что электронные системы детектирован +  нар ду с полезной информацией воспринимают значительную часть рассе нного и флюоресцентного рентгеновского иапучени . Таким образом, практическое использование известных устройств дл  целей неразрушающего пооперационного контрол  качества больших кристаллических пластин в услови х массового производства не представл етс  возможным или сопр жено со значительными техническими трудност ми. Цель изобретени  - повышение пространственного разрешени  топографического изображени  и контрастной чуйЬтиительности устройства. Поставленна  цель Достигаетс  тем, что в устройстве дл  рентгеновской, топографии, содержащем микрофокусный источник рентгеновского излучени  со средствами линейного перемещени  фокусного п тна, гониометр с механиз эм линейного перемещени  образца и детектор, перед детектором введен кристалл-анализатор, размещенный так, что отражающие его плоскости перпендикул рны направлению перемещени  фокусного п тна. Введение кристалл-анализатора перед детектором позвол ет практически исключить рассе нное и флюоресцентное излучение на детекторе, что повышает контраст изображени  дефектов. Кроме того,-- кристалл-анализатор формирует дифрагированный пучок привод  его размеры в горизонтальном направлении к размерам фокусного п тна источника излучени  (10-20 мкм X На фиг.1 и 2 представлены варианты предлагаемого устройства (съемка на прохождение и otpaжeниel соответственно ). В основу метода измерени  положен принцип растрового формировани  изображени  на топограммах. С этой целью использован микрофокусный источник 1 рентгеновского излучени  со средства ми линейного сканировани  3 фокусного п тна 2. Диаметр Г1 тна микрофокусного источника составл ет 20 мкм, а линии сканировани  мм. За источником рентгеновского излучени  расположена щель коллиматора , параллельна  линии сканировани  источника излучени . Коллиматор ограничивает только вертикальную расходимость рентгеновских лучей. При этом параллельна  расхо

Claims (1)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПОГРАФИИ, содержащее микрофокусный источник рентгеновского излучения со средствами линейного перемещения фокусного пятна, гониометр с механизмом линейного перемещения образца и детектор, отличающееся тем, что, с целью повышения пространственного разрешения топографического изображения и контрастной чувствительности устройства, перед детектором введен кристалл-анализатор, размещенный так, что отражающие его плоскости перпендикулярны направлению перемещения фокусного пятна. Λ ω
    I
    1 1040388 2
SU823442351A 1982-05-28 1982-05-28 Устройство дл рентгеновской топографии SU1040388A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823442351A SU1040388A1 (ru) 1982-05-28 1982-05-28 Устройство дл рентгеновской топографии

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823442351A SU1040388A1 (ru) 1982-05-28 1982-05-28 Устройство дл рентгеновской топографии

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1040388A1 true SU1040388A1 (ru) 1983-09-07

Family

ID=21013174

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823442351A SU1040388A1 (ru) 1982-05-28 1982-05-28 Устройство дл рентгеновской топографии

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1040388A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012872C1 (ru) Способ получения изображения внутренней структуры объекта
RU2098797C1 (ru) Способ получения проекции объекта с помощью проникающего излучения и устройство для его осуществления
US5802137A (en) X-ray optics, especially for phase contrast imaging
CN1216109A (zh) 使用小角度图象测定物体内部结构和组成的检测设备
US9952163B2 (en) Coded-aperture X-ray imaging
KR100936746B1 (ko) Χ-선 토포그래피에 의한 결함의 3-차원 분포의 분석
SU1040388A1 (ru) Устройство дл рентгеновской топографии
EP0383752B1 (en) Powder diffraction method and apparatus
Bauch et al. Innovative Analysis of X‐ray Microdiffraction Images on Selected Applications of the Kossel Technique
JP2545209B2 (ja) 結晶欠陥検査方法及びその検査装置
US3848126A (en) Recording of kossel lines
US5753930A (en) Device for translating negative film image to a line scan
JPS62106352A (ja) 走査型x線顕微鏡
WO2008060237A1 (en) Electron rotation camera
JP3529068B2 (ja) X線小角散乱装置
JP3090780B2 (ja) X線回折像動的露光装置
JP3090801B2 (ja) X線回折アーク露光装置
JPH05340894A (ja) K吸収端差分法を用いたx線画像撮影装置並びにx線ct装置
JP2002333409A (ja) X線応力測定装置
JP2988995B2 (ja) 蓄積性蛍光体、x線回折装置およびx線回折方法
JPS63139238A (ja) 簡易型一次元走査x線回折顕微鏡
JPH02266249A (ja) 結晶面のx線回折測定方法
DE3447467A1 (de) Abtastmikroskop
JPS61256243A (ja) 単色x線断層撮影装置
SU1456857A1 (ru) Способ двухкристальной рентгеновской топографии