JPH1137956A - 透過ｘ線による構造物検査装置 - Google Patents
透過ｘ線による構造物検査装置Info
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- JPH1137956A JPH1137956A JP19740297A JP19740297A JPH1137956A JP H1137956 A JPH1137956 A JP H1137956A JP 19740297 A JP19740297 A JP 19740297A JP 19740297 A JP19740297 A JP 19740297A JP H1137956 A JPH1137956 A JP H1137956A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、透過Ｘ線を用いて被検査体に内在
する欠陥等を検出する装置に関し、特にＸ線の焦点位置
を同軸上の異なる２点とすることによって、欠陥等の大
きさおよび位置の特定を可能とする構造物検査装置を提
供する。 【解決手段】 透過Ｘ線の強度を測定して被検査体内部
に存在する欠陥等を検出する装置であって、被検査体と
透過Ｘ線の投影面を結ぶ直線上の任意の２点にＸ線の焦
点位置を合わせることが可能な焦点位置決め機構と、第
１の焦点位置からの前記被検査体の前記投影面への第１
の投影像と第２の焦点位置からの前記被検査体の前記投
影面への第２の投影像を得るためのＸ線検出・記録機構
と、前記第１および第２の投影データより前記被検査体
中の欠陥等の前記被検査体中での位置および大きさを特
定する演算処理機構を有することを特徴とする。
する欠陥等を検出する装置に関し、特にＸ線の焦点位置
を同軸上の異なる２点とすることによって、欠陥等の大
きさおよび位置の特定を可能とする構造物検査装置を提
供する。 【解決手段】 透過Ｘ線の強度を測定して被検査体内部
に存在する欠陥等を検出する装置であって、被検査体と
透過Ｘ線の投影面を結ぶ直線上の任意の２点にＸ線の焦
点位置を合わせることが可能な焦点位置決め機構と、第
１の焦点位置からの前記被検査体の前記投影面への第１
の投影像と第２の焦点位置からの前記被検査体の前記投
影面への第２の投影像を得るためのＸ線検出・記録機構
と、前記第１および第２の投影データより前記被検査体
中の欠陥等の前記被検査体中での位置および大きさを特
定する演算処理機構を有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透過Ｘ線を用いて
被検査体に内在する欠陥等を検出する装置に関し、特に
Ｘ線の焦点位置を同軸上の異なる２点とすることによっ
て、欠陥等の大きさおよび位置の特定を可能とする構造
物検査装置に関する。
被検査体に内在する欠陥等を検出する装置に関し、特に
Ｘ線の焦点位置を同軸上の異なる２点とすることによっ
て、欠陥等の大きさおよび位置の特定を可能とする構造
物検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線を透過して欠陥の有無を調べるＸ線
透過試験は、その信頼性も高く広い分野で利用されてい
る。また、被検査体の磁性の有無、厚みの大小、形状な
らびに表面状態の如何に関わらず被検査体を選ぶことが
でき、かつ被検査体の透過厚さの１％以上の大きさま
で、欠陥を確実に検出することができる。この検出方法
では、Ｘ線の特性として物体を透過するが、一部は物体
中に吸収される性質があって、透過Ｘ線の強度は、透過
厚み、欠陥の有無、材質によって変化する。Ｘ線は蛍光
物質にあたって可視光線を発生したり、写真フィルムを
感光させる性質を有するので、これらの特性を利用する
ものである。
透過試験は、その信頼性も高く広い分野で利用されてい
る。また、被検査体の磁性の有無、厚みの大小、形状な
らびに表面状態の如何に関わらず被検査体を選ぶことが
でき、かつ被検査体の透過厚さの１％以上の大きさま
で、欠陥を確実に検出することができる。この検出方法
では、Ｘ線の特性として物体を透過するが、一部は物体
中に吸収される性質があって、透過Ｘ線の強度は、透過
厚み、欠陥の有無、材質によって変化する。Ｘ線は蛍光
物質にあたって可視光線を発生したり、写真フィルムを
感光させる性質を有するので、これらの特性を利用する
ものである。
【０００３】前記透過Ｘ線による構造材内部の欠陥、異
物検出は非破壊で行えることから、金属材料やセラミッ
クス等の広い範囲で行われている。しかし、この欠陥、
異物の被検査体中の内在位置が明らかにされないという
問題があった。一方向からの単純な検査では、欠陥の有
無の確認が主目的であり、欠陥サイズは被検査体サイズ
からの平均的な算出のみで、参考程度の値または位置ま
での把握は奥行き方向も含めて推測であった。
物検出は非破壊で行えることから、金属材料やセラミッ
クス等の広い範囲で行われている。しかし、この欠陥、
異物の被検査体中の内在位置が明らかにされないという
問題があった。一方向からの単純な検査では、欠陥の有
無の確認が主目的であり、欠陥サイズは被検査体サイズ
からの平均的な算出のみで、参考程度の値または位置ま
での把握は奥行き方向も含めて推測であった。
【０００４】この分野の公知技術として、特開平４−１
０２０１９号公報には、微小距離離間した二物体間の相
対位置を検出する位置検出装置において、所定の厚みを
有し位置検出に必要なマークが形成されている参照レク
ティクルを、対物レンズの二つの結像位置に設ける方法
が開示されている。また、特開昭６２−７２３２８号公
報には、ＣＴスキャナの主検出器のＸ線焦点位置と同一
位置を望むように、比較検出器を配置することによって
Ｘ線の変動を正確に把握でき、線量変動に対して正確な
補正が可能であることが開示されている。さらに、特開
昭５７−１１７８３７号公報には、Ｘ線焦点位置データ
収集手段と、その結果を処理してＸ線焦点位置に対応す
る検出器感度補正用基準水データを出力することによっ
て、焦点位置の変動による誤差を確実に補正することが
でき、アーチファクトの発生を防止できる方法が開示さ
れている。
０２０１９号公報には、微小距離離間した二物体間の相
対位置を検出する位置検出装置において、所定の厚みを
有し位置検出に必要なマークが形成されている参照レク
ティクルを、対物レンズの二つの結像位置に設ける方法
が開示されている。また、特開昭６２−７２３２８号公
報には、ＣＴスキャナの主検出器のＸ線焦点位置と同一
位置を望むように、比較検出器を配置することによって
Ｘ線の変動を正確に把握でき、線量変動に対して正確な
補正が可能であることが開示されている。さらに、特開
昭５７−１１７８３７号公報には、Ｘ線焦点位置データ
収集手段と、その結果を処理してＸ線焦点位置に対応す
る検出器感度補正用基準水データを出力することによっ
て、焦点位置の変動による誤差を確実に補正することが
でき、アーチファクトの発生を防止できる方法が開示さ
れている。
【０００５】最近では、検出できる微小な内部欠陥は高
性能な微小焦点型（マイクロフォーカス）Ｘ線管の開発
により数μｍレベルまで可能となってきている。また、
欠陥の位置の測定に関しては、被検査体の多方向からの
Ｘ線照射を行い、大まかな座標位置を推定する方法が行
われている。一方、測定時間も長く、設備規模の大きな
物では、前記ＣＴスキャナーを用いて多方向からの多層
断面データを構築し内部検査をするといった方法があ
る。しかし、現在の透過Ｘ線検査では、欠陥検出が可能
であっても欠陥の被検査体中の内在位置は明らかになら
ない。このため正確なサイズ情報も得られないといった
問題がある。
性能な微小焦点型（マイクロフォーカス）Ｘ線管の開発
により数μｍレベルまで可能となってきている。また、
欠陥の位置の測定に関しては、被検査体の多方向からの
Ｘ線照射を行い、大まかな座標位置を推定する方法が行
われている。一方、測定時間も長く、設備規模の大きな
物では、前記ＣＴスキャナーを用いて多方向からの多層
断面データを構築し内部検査をするといった方法があ
る。しかし、現在の透過Ｘ線検査では、欠陥検出が可能
であっても欠陥の被検査体中の内在位置は明らかになら
ない。このため正確なサイズ情報も得られないといった
問題がある。
【０００６】また、設備に関しては高精度な測定には設
備コストも高く、測定時間も大きいといった問題があ
り、広い範囲で利用されることの障害となっている。透
過Ｘ線で得られる情報は、焦点から照射されたＸ線が、
被検査体内部の密度差（形状、混入物、気孔）により投
影像となって得られるものである。この場合、投影後の
像は焦点からの距離が近いほど拡大率が高く、遠いほど
拡大率は低い。しかし、現在行われている透過Ｘ線検査
では被検査体と焦点との平均的距離、または被検査体と
焦点との最短距離は把握できても個々の欠陥と焦点との
正確な距離は明らかにならない。つまり投影像から得ら
れる欠陥の情報からは本来の正確なサイズ情報は得られ
ず、必然的に平均的または推定の値が用いられている状
況にある。そこで、前記透過Ｘ線検査における問題を解
決し、かつ内在欠陥等の位置情報を正確に特定できる検
査方法の開発が望まれていた。
備コストも高く、測定時間も大きいといった問題があ
り、広い範囲で利用されることの障害となっている。透
過Ｘ線で得られる情報は、焦点から照射されたＸ線が、
被検査体内部の密度差（形状、混入物、気孔）により投
影像となって得られるものである。この場合、投影後の
像は焦点からの距離が近いほど拡大率が高く、遠いほど
拡大率は低い。しかし、現在行われている透過Ｘ線検査
では被検査体と焦点との平均的距離、または被検査体と
焦点との最短距離は把握できても個々の欠陥と焦点との
正確な距離は明らかにならない。つまり投影像から得ら
れる欠陥の情報からは本来の正確なサイズ情報は得られ
ず、必然的に平均的または推定の値が用いられている状
況にある。そこで、前記透過Ｘ線検査における問題を解
決し、かつ内在欠陥等の位置情報を正確に特定できる検
査方法の開発が望まれていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、透過
Ｘ線検査における、欠陥の被検出体中の内在位置を特定
する方法を検討し、これを達成することによって正確な
サイズ情報を得ることができる構造物検査装置を提供す
ることにある。また、本発明の他の目的は、透過Ｘ線検
査における位置情報について、Ｘ線を多方向から照射す
る大がかりなＣＴスキャンに代わる簡便な方法を検討
し、測定時間と設備コストの低減を可能とする構造物検
査装置を提供することにある。さらに、本発明の別の目
的は、透過Ｘ線検査における、微小焦点型（マイクロフ
ォーカス）Ｘ線の解像力を利用し、かつこれに独立した
２点の焦点からの距離情報の解析を可能とする機能を付
与した構造物検査装置を提供することにある。
Ｘ線検査における、欠陥の被検出体中の内在位置を特定
する方法を検討し、これを達成することによって正確な
サイズ情報を得ることができる構造物検査装置を提供す
ることにある。また、本発明の他の目的は、透過Ｘ線検
査における位置情報について、Ｘ線を多方向から照射す
る大がかりなＣＴスキャンに代わる簡便な方法を検討
し、測定時間と設備コストの低減を可能とする構造物検
査装置を提供することにある。さらに、本発明の別の目
的は、透過Ｘ線検査における、微小焦点型（マイクロフ
ォーカス）Ｘ線の解像力を利用し、かつこれに独立した
２点の焦点からの距離情報の解析を可能とする機能を付
与した構造物検査装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、透過Ｘ線
の強度を測定して被検出体内部に存在する欠陥等を検出
する装置であって、被検査体と透過Ｘ線の投影面を結ぶ
直線上の任意の２点にＸ線の焦点位置を合わせることが
可能な焦点位置決め機構と、第１の焦点位置からの前記
被検査体の前記投影面への第１の投影像と第２の焦点位
置からの前記被検査体の前記投影面への第２の投影像を
得るためのＸ線検出・記録機構と、前記第１および第２
の投影データより前記被検査体中の欠陥または異物の前
記被検査体中での位置および大きさを特定する演算処理
機構を有することを特徴とする構造物検査装置によって
達成される。
の強度を測定して被検出体内部に存在する欠陥等を検出
する装置であって、被検査体と透過Ｘ線の投影面を結ぶ
直線上の任意の２点にＸ線の焦点位置を合わせることが
可能な焦点位置決め機構と、第１の焦点位置からの前記
被検査体の前記投影面への第１の投影像と第２の焦点位
置からの前記被検査体の前記投影面への第２の投影像を
得るためのＸ線検出・記録機構と、前記第１および第２
の投影データより前記被検査体中の欠陥または異物の前
記被検査体中での位置および大きさを特定する演算処理
機構を有することを特徴とする構造物検査装置によって
達成される。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明によれば、透過Ｘ線（特に
微小焦点型）を用いた内部欠陥の検査において、精度の
高い欠陥サイズの測定と位置検出を可能とする、特にセ
ラミックスプリフォーム等の内部構造が一様のものでは
効果が大きい。本発明のＸ線透過撮影では、Ｘ線管の焦
点位置を受像装置（イメージインテンシファイアなど）
とをつなぎ、直線上の２点にとり各々透過撮影した時の
投影像と焦点位置の関係から欠陥位置、サイズを座標と
して求めるものである。透過Ｘ線による構造物の内部検
査を行う場合、一般的には図２に示すように被検出体１
と投影面（イメージングプレート等）２とを結ぶ直線上
にＸ線管焦点３を配置する。なお、前記投影面（イメー
ジングプレート等）２の撮影像またはデータが透過Ｘ線
の測定値を表わす。この時、焦点３から照射されたＸ線
は被検出体を透過して投影面２に記録される。また欠陥
４等が内在されていた場合、その欠陥像５も投影面２に
記録されることになる。
微小焦点型）を用いた内部欠陥の検査において、精度の
高い欠陥サイズの測定と位置検出を可能とする、特にセ
ラミックスプリフォーム等の内部構造が一様のものでは
効果が大きい。本発明のＸ線透過撮影では、Ｘ線管の焦
点位置を受像装置（イメージインテンシファイアなど）
とをつなぎ、直線上の２点にとり各々透過撮影した時の
投影像と焦点位置の関係から欠陥位置、サイズを座標と
して求めるものである。透過Ｘ線による構造物の内部検
査を行う場合、一般的には図２に示すように被検出体１
と投影面（イメージングプレート等）２とを結ぶ直線上
にＸ線管焦点３を配置する。なお、前記投影面（イメー
ジングプレート等）２の撮影像またはデータが透過Ｘ線
の測定値を表わす。この時、焦点３から照射されたＸ線
は被検出体を透過して投影面２に記録される。また欠陥
４等が内在されていた場合、その欠陥像５も投影面２に
記録されることになる。
【００１０】透過Ｘ線検査では、まずＸ線管の対陰極
（ターゲット）に高速の電子を衝突させてそこから発生
するＸ線を、Ｐｂ板スリットで絞って被検出体にあて、
透過Ｘ線を、例えば写真フィルムに撮影する。この時、
波長λで強度Ｉ0 のＸ線を厚みｔの金属に透過する場
合、健全部の透過Ｘ線強度Ｉx 、欠陥の長さｃの時の透
過強度をＩy とすると、Ｘ線吸収法則により、下記式の
関係が成立し、 Ｉx ＝Ｉ0 ｅ-kt Ｉy ＝Ｉ0 ｅ-k(t-c)-k'c が得られる。
（ターゲット）に高速の電子を衝突させてそこから発生
するＸ線を、Ｐｂ板スリットで絞って被検出体にあて、
透過Ｘ線を、例えば写真フィルムに撮影する。この時、
波長λで強度Ｉ0 のＸ線を厚みｔの金属に透過する場
合、健全部の透過Ｘ線強度Ｉx 、欠陥の長さｃの時の透
過強度をＩy とすると、Ｘ線吸収法則により、下記式の
関係が成立し、 Ｉx ＝Ｉ0 ｅ-kt Ｉy ＝Ｉ0 ｅ-k(t-c)-k'c が得られる。
【００１１】ここで、ｋは材質とＸ線波長λで決まる吸
収係数で、波長が小さいほどｋは小さい（吸収が少な
い）。従って、 Ｉy ／Ｉx ＝ｅ(k-k')C 欠陥が気体の場合は、ｋ’＜＜ｋなので、 Ｉy ／Ｉx ＝ｅ+kC すなわち、欠陥による透過Ｘ線の強度比は、入射Ｘ線の
強度には無関係で、欠陥の長さｃと、物質の吸収係数で
決まる。Ｉy ／Ｉx が大きいほど前記写真フィルムに現
れる黒さの差が大きくコントラストが増すから、ｋがで
きるだけ大きくなるように波長の長い（軟い）Ｘ線を用
いることが望まれる。一方、波長が長くなると厚物を透
過し難くなるから、透過可能の限度でなるべく波長が長
くなるように管電圧をさげて使う方が望ましい。通常で
は、１５０〜４００ｋｖのＸ線装置が使用される。内部
の気孔は普通は球状中空であるからＸ線の吸収が少な
く、従ってフィルム上では黒い丸い点となる。割れはそ
の破面がＸ線の透過方向に略平行な場合は黒い鋭い線と
なって明瞭にわかるが、直角の場合にはほとんどわから
ない。
収係数で、波長が小さいほどｋは小さい（吸収が少な
い）。従って、 Ｉy ／Ｉx ＝ｅ(k-k')C 欠陥が気体の場合は、ｋ’＜＜ｋなので、 Ｉy ／Ｉx ＝ｅ+kC すなわち、欠陥による透過Ｘ線の強度比は、入射Ｘ線の
強度には無関係で、欠陥の長さｃと、物質の吸収係数で
決まる。Ｉy ／Ｉx が大きいほど前記写真フィルムに現
れる黒さの差が大きくコントラストが増すから、ｋがで
きるだけ大きくなるように波長の長い（軟い）Ｘ線を用
いることが望まれる。一方、波長が長くなると厚物を透
過し難くなるから、透過可能の限度でなるべく波長が長
くなるように管電圧をさげて使う方が望ましい。通常で
は、１５０〜４００ｋｖのＸ線装置が使用される。内部
の気孔は普通は球状中空であるからＸ線の吸収が少な
く、従ってフィルム上では黒い丸い点となる。割れはそ
の破面がＸ線の透過方向に略平行な場合は黒い鋭い線と
なって明瞭にわかるが、直角の場合にはほとんどわから
ない。
【００１２】さらに、前記記録された欠陥像より欠陥の
有無は確認できたとしても、内在している位置は明らか
にならない。また、内在位置が明らかにならないため、
欠陥サイズも正確な値を求めることができない。本発明
では、この問題を解決するものであり、以下にその構成
について説明する。被検査体と投影面を結ぶ直線上で投
影面からＬ1 の位置に焦点３を置き、投影像より欠陥像
が得られる時、焦点位置、欠陥位置、投影面および欠陥
端点の位置をＸＹ座標上に示す。この関係は図１（ａ）
のように表わすことができる。また、焦点位置３を変化
させ投影面からＬ2 の位置に置いた場合の投影像からも
同様に、図１（ｂ）に示す座標表示が得られる。この図
で、ａ1 、ｂ1 およびａ2 、ｂ2 は、撮影像からの透過
Ｘ線情報（データ）を表わす。
有無は確認できたとしても、内在している位置は明らか
にならない。また、内在位置が明らかにならないため、
欠陥サイズも正確な値を求めることができない。本発明
では、この問題を解決するものであり、以下にその構成
について説明する。被検査体と投影面を結ぶ直線上で投
影面からＬ1 の位置に焦点３を置き、投影像より欠陥像
が得られる時、焦点位置、欠陥位置、投影面および欠陥
端点の位置をＸＹ座標上に示す。この関係は図１（ａ）
のように表わすことができる。また、焦点位置３を変化
させ投影面からＬ2 の位置に置いた場合の投影像からも
同様に、図１（ｂ）に示す座標表示が得られる。この図
で、ａ1 、ｂ1 およびａ2 、ｂ2 は、撮影像からの透過
Ｘ線情報（データ）を表わす。
【００１３】図１（ａ）および図１（ｂ）で得られた座
標系より欠陥位置、サイズは直線の交点として求めるこ
とができる。成形体から焦点までの距離が異なる２点か
ら透過撮影した時、検査対象の成形体中に内在する欠陥
の両端点位置、透過後の欠陥像の端点位置、また焦点の
位置をｘｙ座標上で表現すると、欠陥の端点を通る直線
として下記の式で表現できる。
標系より欠陥位置、サイズは直線の交点として求めるこ
とができる。成形体から焦点までの距離が異なる２点か
ら透過撮影した時、検査対象の成形体中に内在する欠陥
の両端点位置、透過後の欠陥像の端点位置、また焦点の
位置をｘｙ座標上で表現すると、欠陥の端点を通る直線
として下記の式で表現できる。
【００１４】ｙ1=−(L1/a1) ｘ1 + L1 ｙ1=−(L2/a2) ｘ1 + L2 この2 直線の交点は、(x1,y1) に対応する。 ｙ2=−(L1/b1) ｘ2 + L1 ｙ2=−(L2/b2) ｘ2 + L2 この2 直線の交点は、(x2,y2) に対応する。この関係か
ら、 ｘ1=(L1 − L2)/(L1/a1 − L2/a2) ｙ1=−L1(L1 − L2) /a1/(L1/a1 − L2/a2) + L1 ｘ2=(L1 − L2)/(L1/b1 − L2/b2) ｙ2=−L2(L1 − L2) /b2/(L1/b1 − L2/b2) + L2 が求まる。すなわち、点(x1,y1) および点(x2,y2) が前
記透過Ｘ線情報（データ）によって表せることになり、
位置およびサイズとして求まることになる。
ら、 ｘ1=(L1 − L2)/(L1/a1 − L2/a2) ｙ1=−L1(L1 − L2) /a1/(L1/a1 − L2/a2) + L1 ｘ2=(L1 − L2)/(L1/b1 − L2/b2) ｙ2=−L2(L1 − L2) /b2/(L1/b1 − L2/b2) + L2 が求まる。すなわち、点(x1,y1) および点(x2,y2) が前
記透過Ｘ線情報（データ）によって表せることになり、
位置およびサイズとして求まることになる。
【００１５】本発明の透過Ｘ線装置としては、Ｘ線管か
ら微小ビームＸ線を発生し、これを被検体を挟んで対向
配置されたコリメータ（Ｘ線整形器）によって、Ｘ線管
から放射されるＸ線を絞ることによって整形してもよ
い。この場合の絞り特性は解像度と焦点深度で表現で
き、これらは波長一定の時には、開口数によって決ま
る。すなわち、解像度を高くするためには、開口数を上
げる必要がある。
ら微小ビームＸ線を発生し、これを被検体を挟んで対向
配置されたコリメータ（Ｘ線整形器）によって、Ｘ線管
から放射されるＸ線を絞ることによって整形してもよ
い。この場合の絞り特性は解像度と焦点深度で表現で
き、これらは波長一定の時には、開口数によって決ま
る。すなわち、解像度を高くするためには、開口数を上
げる必要がある。
【００１６】本発明においては、同一のＸ線源および絞
り系を使用して、Ｘ線軸の方向に機械的に移動可能にし
て焦点の移動をさせてもよく、または二組のＸ線投影面
に、それぞれＸ線源を独立系として２焦点からの透過像
を検出してもよい。この場合には、各々焦点を持ちその
焦点面と欠陥の光軸に直交する平面内において同一軸上
での相対位置を記録することになる。また、倍率誤差に
ついては、一般的に倍率は、透過Ｘ線における投影倍率
は焦点から被検査品までの距離と、焦点から投影面まで
の距離の比で表される。しかし投影結像の場合に、前記
欠陥位置が不確定で被検査品の位置によって、実際の倍
率は誤差を持っているが、この誤差については誤差補正
機能を有したＸ線検出器並びに補正演算機能を組み込む
ことによって補正できる。
り系を使用して、Ｘ線軸の方向に機械的に移動可能にし
て焦点の移動をさせてもよく、または二組のＸ線投影面
に、それぞれＸ線源を独立系として２焦点からの透過像
を検出してもよい。この場合には、各々焦点を持ちその
焦点面と欠陥の光軸に直交する平面内において同一軸上
での相対位置を記録することになる。また、倍率誤差に
ついては、一般的に倍率は、透過Ｘ線における投影倍率
は焦点から被検査品までの距離と、焦点から投影面まで
の距離の比で表される。しかし投影結像の場合に、前記
欠陥位置が不確定で被検査品の位置によって、実際の倍
率は誤差を持っているが、この誤差については誤差補正
機能を有したＸ線検出器並びに補正演算機能を組み込む
ことによって補正できる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、従来のＣＴスキャンな
どとは異なる単方向からの簡易測定として、被検査体と
投影面を結ぶ直線上の任意の２点に焦点位置を定め、得
られた投影データより欠陥位置、サイズを求めることが
可能となり、この方法によって構造物に内在する欠陥等
を精度よく、かつ低コストでの検査が可能となる。
どとは異なる単方向からの簡易測定として、被検査体と
投影面を結ぶ直線上の任意の２点に焦点位置を定め、得
られた投影データより欠陥位置、サイズを求めることが
可能となり、この方法によって構造物に内在する欠陥等
を精度よく、かつ低コストでの検査が可能となる。
【図１】本発明に係るＸ線透過検査方法の説明図で、
（ａ）第１の焦点位置、（ｂ）第２の焦点位置での投影
図を示す図である。
（ａ）第１の焦点位置、（ｂ）第２の焦点位置での投影
図を示す図である。
【図２】従来のＸ線透過検査方法の説明図で、１焦点方
式での投影図を示す図である。
式での投影図を示す図である。
１…被検査体 ２…投影面 ３…焦点 ４…欠陥等 ５…欠陥像
Claims (1)
- 【請求項１】 透過Ｘ線の強度を測定して被検査体内部
に存在する欠陥等を検出する装置であって、被検査体と
透過Ｘ線の投影面を結ぶ直線上の任意の２点にＸ線の焦
点位置を合わせることが可能な焦点位置決め機構と、第
１の焦点位置からの前記被検査体の前記投影面への第１
の投影像と第２の焦点位置からの前記被検査体の前記投
影面への第２の投影像を得るためのＸ線検出・記録機構
と、前記第１および第２の投影データより前記被検査体
中の欠陥等の前記被検査体中での位置および大きさを特
定する演算処理機構を有することを特徴とする構造物検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19740297A JPH1137956A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | 透過ｘ線による構造物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19740297A JPH1137956A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | 透過ｘ線による構造物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1137956A true JPH1137956A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16373921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19740297A Pending JPH1137956A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | 透過ｘ線による構造物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1137956A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070330A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Toyota Motor Corp | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
| JP2009150755A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| US20210190706A1 (en) * | 2019-12-24 | 2021-06-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Foreign substance inspection method and foreign substance inspection apparatus |
-
1997
- 1997-07-23 JP JP19740297A patent/JPH1137956A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070330A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Toyota Motor Corp | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
| JP2009150755A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| US20210190706A1 (en) * | 2019-12-24 | 2021-06-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Foreign substance inspection method and foreign substance inspection apparatus |
| JP2021101159A (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-08 | トヨタ自動車株式会社 | 異物検査方法および異物検査装置 |
| US11774378B2 (en) * | 2019-12-24 | 2023-10-03 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Foreign substance inspection method and foreign substance inspection apparatus |
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