JP3416103B2 - Ｘ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線検査装置にお
ける実効焦点寸法の決定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】エレクトロニクス工業界における実装技
術は日進月歩の勢いで、その高性能化と高密度化が進展
している。これに呼応してエックス線透視法による非破
壊検査技術も、ミクロン・レベルの実効焦点寸法を有す
るＸ線管の登場により、とりわけＸ線画像が格段に改善
されてきている。

【０００３】しかしながら従来より工業用Ｘ線装置の分
野では、「マイクロフォーカスＸ線管」に対しては、単
に「１００μｍ以下の焦点寸法をもつＸ線管」とのみ定
義されているのが実情である（ＪＩＳ Ｚ ２３０
０）。ましてや微小焦点ターゲットの実効焦点寸法に対
する統一的測定方法、すなわち標準化はまったくなされ
ていない。たとえばＪＩＳ Ｚ ４６１５における標準
化は、焦点の呼び寸法が３００μｍ以上のＸ線管を対象
としたものである。

【０００４】そのため、真に微小な実効焦点寸法をもつ
Ｘ線管を、他のより大きい実効焦点寸法をもつＸ線管と
差別化しうる呼称がない。その上、はなはだしい場合に
は、真に１−２μｍ級の微小な焦点を有していないＸ線
管であるにも拘わらず、製品仕様の実効焦点寸法の項目
に「１μｍ」、又は「２μｍ」と記載されたり、あるい
は営業活動にてデタラメが語られることもしばしばであ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このような状況に鑑
み、その問題点を明快に解決するために、業界の技術標
準ともなりうる発明を、ここに提唱する。これによっ
て、Ｘ線検査機器メーカのみならず、それらのユーザ各
社で本技術を自由に活用し、その基準に沿い標記した
り、あるいは評価することにより、今後、無駄な技術的
混乱を回避でき、かつ、またＸ線製造機器工業界全体の
健全な発展を図ることが大いに可能となり得る。

【０００６】本発明は、このような実状に鑑みてなさ
れ、マイクロフォーカスＸ線管などを用いたＸ線検査装
置において、その実効焦点寸法を、簡便かつ客観的に測
定することができる実効焦点寸法の決定方法を提供する
ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１の観点に係るＸ線検査装置における実
効焦点寸法の決定方法は、Ｘ線発生面の実質的に点状の
Ｘ線源から所定の広がり角度を持ってＸ線を発生するＸ
線発生器と、被検査対象物に照射されたＸ線の画像を検
出するＸ線検出面を持ち、所定の幾何学的拡大倍率で、
前記被検査対象物の要部を拡大して画像を検出するＸ線
像センサと、を有するＸ線検査装置における実効焦点寸
法の決定方法において、前記被検査対象物として、第１
方向に沿って配置された第１線幅（Ｓ_１ ）の第１パタ
ーンと、前記第１方向と直交する第２方向に沿って配置
された前記第１線幅と異なる第２線幅（Ｓ_２ ）の第２
パターンとを少なくとも有する試料を配置する工程と、
前記Ｘ線像センサにおける前記Ｘ線検出面での前記試料
の拡大画像を検出し、拡大された前記第１パターンの第
１線幅を拡大後第１線幅（Ｌ_１ ）とし、拡大された前
記第２パターンの第２線幅を拡大後第２線幅（Ｌ_２ ）
とする工程と、下記の式から、前記Ｘ線源における実効
焦点寸法（Ｆ）を求める工程とを有する。

【０００８】Ｆ＝（Ｌ_１ ・Ｓ_２ −Ｌ_２ ・Ｓ_１ ）
／（Ｌ_２ −Ｌ_１ ） 本発明の第２の観点に係るＸ線検査装置における実効焦
点寸法の決定方法は、Ｘ線発生面の実質的に点状のＸ線
源から所定の広がり角度を持ってＸ線を発生するＸ線発
生器と、被検査対象物に照射されたＸ線の画像を検出す
るＸ線検出面を持ち、所定の幾何学的拡大倍率で、前記
被検査対象物の要部を拡大して画像を検出するＸ線像セ
ンサと、を有するＸ線検査装置における実効焦点寸法の
決定方法において、前記被検査対象物として、第１方向
に沿って配置された第１線幅（Ｓ_１ ）の第１パターン
と、前記第１方向と直交する第２方向に沿って配置され
た前記第１線幅と異なる第２線幅（Ｓ_２ ）の第２パタ
ーンとを少なくとも有する試料を配置する工程と、前記
Ｘ線像センサにより、前記試料の拡大画像を検出し、拡
大された前記第１パターンの第１線幅を拡大後第１線幅
（Ｌ_１ ）とし、拡大された前記第２パターンの第２線
幅を拡大後第２線幅（Ｌ_２ ）とし、ｒ＝Ｌ_１ ／Ｌ
_２ を求める工程と、下記の式から、前記Ｘ線源におけ
る実効焦点寸法（Ｆ）を求める工程とを有する。

【０００９】Ｆ＝（ｒ・Ｓ_２ −Ｓ_１ ）／（１−ｒ）

【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面に示す実施
形態に基づき説明する。図１は本発明の１実施形態に係
るＸ線検査装置の概略図、図２は実効焦点寸法の測定原
理を説明するための概略図、図３（Ａ）は検査装置で用
いられる試料の平面図、図３（Ｂ）は試料のＸ線画像を
示す平面図である。

【００１０】［第１実施形態］Ｘ線検査装置の全体構成 まず、図１に示す本発明の１実施形態に係るＸ線検査装
置１０について説明する。図１に示すように、本実施形
態に係るＸ線検査装置１０は、Ｘ線発生器３を有する。
Ｘ線発生器３は、電子線を発生するカソード６と、電子
線を加速するアノード８と、電子線を集束させるコンデ
ンサレンズ１２と、電子線をターゲット４上に焦点を結
ばせる対物レンズ１３と、集束された電子線が照射され
てＸ線を発生するターゲット４とを有する。

【００１１】ターゲット４は、たとえばタングステン膜
と、タングステン膜を保持するベリリウム膜とで構成し
てあり、タングステン膜に対して、集束された電子線が
照射されることにより、その焦点位置に対応するＸ線発
生面４ｂの実質的に点状のＸ線源４ａから所定の広がり
角度θ１を持ってＸ線を発生する。Ｘ線発生器３におけ
る電子線の通路は密閉され、図示省略してある真空ポン
プなどで真空に保たれている。所定の広がり角度θ１
は、特に限定されないが、本実施形態に係る装置１０で
は、通常の装置よりも広いことが好ましく、たとえば４
５度〜１５０度、好ましくは１００度〜１４０度程度が
好ましい。

【００１２】ターゲット４のＸ線源４ａから所定の広が
り角度θ１を持って出射されたＸ線は、被検査対象物２
を照射し、その拡大透視画像がＸ線像センサ１５の画像
増幅器１４のＸ線検出面１４ａへと入射する。画像増幅
器１４は、Ｘ線を可視光に変換すると共に、被検査対象
物２を透過して拡大されたＸ線透視画像の輝度を増幅
し、より高輝度の画像を再生するための装置である。画
像増幅器１４により増幅された高輝度の透視画像は、Ｃ
ＣＤカメラや撮像管などの撮像装置１６で撮像し、モニ
タ１８に表示される。撮像装置１６で撮像された透視画
像データは、モニタ１８に表示されるのみでなく、プリ
ンタなどに出力することも可能であり、さらに、半導体
メモリ、ハードディスク、光磁気記憶装置などの記憶手
段に記憶される。さらにまた、専用回線または公衆回線
を通して、透視画像データを他の装置へ送信することも
できる。

【００１３】なお、画像増幅器１４のＸ線検出面１４ａ
にて検出される被検査対象物２の透視画像の幾何学的拡
大率ｍは、Ｘ線源４ａからＸ線検出面１４ａの中心まで
のＦＤＤ距離と、Ｘ線源４ａから被検査対象物２までの
ＦＯＤ距離との比により規定される。すなわち、幾何学
的拡大率ｍ＝ＦＤＤ／ＦＯＤである。なお、Ｘ線画像の
総合拡大倍率は、この幾何学的拡大倍率ｍに、Ｘ線像セ
ンサ１５およびモニタ１８などの画像出力装置における
信号拡大倍率ｋを掛け算したものである。たとえばＸ線
画像が最終的にビデオプリンターにより出力されるとす
ると、Ｘ線画像の総合拡大倍率＝幾何学的拡大倍率ｍ×
信号拡大倍率ｋである。信号拡大倍率ｋは、Ｘ線検査装
置に依存する既知の係数（たとえば１．５）である。

【００１４】一般に、ＦＤＤ値は、装置定数として固有
の値をとる。したがって、Ｘ線発生器３の焦点位置であ
るＸ線源４ａからＸ線検出面１４ａの中心までの距離で
あるＦＤＤ値は、予め精度良く実測しておくことが可能
である。たとえばＦＤＤ値として、５００mmまたは６０
０mmの値と成るように設定することができる。

【００１５】ところが、ＦＯＤ値は、装置機構上、可変
の値をとる。なぜなら、このＦＯＤを変化させることに
より、Ｘ線画像の拡大および縮小を調節するからであ
る。したがって、Ｘ線画像は、常にある特定の拡大倍率
で撮影されるが、その都度ＦＯＤ値をリアルタイムで測
定しているわけではないため、正確な拡大倍率を求める
ことができず、必ず測定誤差を多分に有している。な
お、ＦＯＤ値をリアルタイムで高精度に検出する技術は
現在のところ確立されていない。

【００１６】したがって、現在の技術では拡大倍率を正
確に測定することは困難であり、その正確でない拡大倍
率値を根拠にして、Ｘ線源４ａにおける実効焦点寸法を
評価することは好ましくない。本発明の実施形態では、
以下の手法を用いることにより、拡大倍率を実測するこ
となく、Ｘ線源４ａにおける実効焦点寸法を容易に求め
ることができる。

【００１７】原理の説明 マイクロフォーカスＸ線管ターゲットの実効焦点寸法の
測定原理を以下に述べる。図２に示すように、図１に示
す被検査対象物２の代わりに、Ｘ線源４ａと検出面１４
ａとの間に、標準試験片２ａを配置する。標準試験片２
ａの直径寸法をＳとし、検出面１４ａ上の寸法をＫとす
ると、Ｋは、次式（１）で示される。

【００１８】 Ｋ＝Ｓ・（ＦＤＤ／ＦＯＤ） … （１） ただし、上記（Ａ）式は、Ｘ線発生源４ａにおける実効
焦点寸法Ｆを点光源とみなした場合の理想的な理論式で
ある。しかし、実際には、実効焦点寸法は、ある有限の
大きさ、Ｆを有しているため、現実に映し出される実Ｘ
線画像Ｌは、理想値Ｋの外側に必ずボケ量を含んでい
る。すなわち、理想値Ｋの両端外側で合わせて２Ｍのボ
ケ総量となる。ここでは、理想寸法Ｋの両外側に結像さ
れる２Ｍの成分量をボケ量と定義する。この実Ｘ線画像
寸法Ｌを数式で表すと、下記の式（２）となる。

【００１９】Ｌ＝Ｋ＋２Ｍ … （２） なお、この実Ｘ線画像寸法Ｌは、検出面１４ａにおける
幾何学的拡大寸法である。一方、このボケ量Ｍも、Ｘ線
像の理想値Ｋと同様な拡大倍率で、比例して大きくな
る。すなわち、ボケ量Ｍは、下記の（３−１）式で表さ
れる。

【００２０】 Ｍ＝Ｆ・（ＦＤＤ−ＦＯＤ）／２・ＦＯＤ …（３−１） ここで、ＦＤＤがＦＯＤに比較して可成り大きい場合
（ＦＤＤ＞＞ＦＯＤ）、上記式（３−１）は、近似的に
下記式（３−２）のように変形ができる。

【００２１】 Ｍ＝Ｆ・（ＦＤＤ／２・ＦＯＤ） … （３−２） したがって、Ｘ線画像の寸法Ｌを実測することにより、
上記の３式(1)、(2)および（３−２）を連立させ、実効
焦点寸法Ｆを次式（４）により求めることができる。

【００２２】 Ｆ＝（ＦＯＤ／ＦＤＤ）・Ｌ−Ｓ … （４） なお、上記式（４）は、次の式（５）のように変形する
こともできる。

【００２３】Ｌ＝ｍ・（Ｓ＋Ｆ） … （５） ただし、ＦＯＤ、ＦＤＤ、ｍを、それぞれ次の量とす
る。 ＦＯＤ：焦点と試料との距離 ＦＤＤ：焦点とＸ線画像との距離 ｍ：幾何学的拡大倍率（ＦＤＤ／ＦＯＤ）原理の応用 上記の原理の欄では、直径Ｓの試料に対する「一般的原
理」を述べたが、本発明の実施形態の方法は、巧みにこ
れらの原理を応用するものである。すなわち、図２に示
す試験片２ａとして、図３（Ａ）に示す試料２ｂを用い
る。試料２ｂは、第１方向Ｘに沿って配置された第１線
幅Ｓ_１ の第１パターン２０と、前記第１方向Ｘと直交
する第２方向Ｙに沿って配置された第１線幅２０と異な
る第２線幅Ｓ２の第２パターン２２とを少なくとも有す
る試料である。具体的には、試料２ｂは、十文字形に置
かれた異なる線径の細線で構成してある。細線の材質
は、特に限定されず、タングステン、金、白金などが例
示される。

【００２４】なお、本実施形態では、パターン２０およ
び２２を構成する細線として、断面円形のタングステン
細線を用いている。断面円形のタングステン細線は、市
販製品で容易に入手できるメリットはあるが、より高精
度な線幅測定を行うには、線幅Ｓ_１ およびＳ_２ を持
つ長方形断面形状の細線が好ましい。最終的に出力され
るＸ線画像の輪郭がよりシャープであることが肝要であ
るが、円形断面形状の場合には、厳密にいえば、図説す
るまでもなく既知の直径寸法よりも短い寸法の物体とし
て、Ｘ線像が形成されてしまう。この影響は高倍率ほど
大きくなる。

【００２５】一方、長方形断面形状の場合には、このよ
うな「エッジ効果」は発生しない。この現象は、Ｘ線画
像の周辺に伴うボケ領域の広がり、およびコントラスト
の不規則性（イレギュラリティ）に直接関与する。従っ
て、標準試料２ｂの断面形状としては、長方形断面形状
の細線の方が優れている。

【００２６】十文字型に置かれた２本の細線の直径寸法
を、それぞれＳ_１ ，Ｓ_２ （Ｓ_１＜Ｓ_２ ）とすると、
前述した式（４）により、次の２式が誘導される。

【００２７】 Ｆ＝Ｌ_１ ／ｍ−Ｓ_１ … （６−１） Ｆ＝Ｌ_２ ／ｍ−Ｓ_２ … （６−２） ただし、Ｌ_１ 、Ｌ_２ を、２本の細線の（検出面１４
ａ上に投影される）Ｘ線画像の線幅とする（当然、Ｌ
_１ ＜Ｌ_２ となる）。

【００２８】上記の式（６−１）および（６−２）を連
立させ、幾何学的拡大倍率ｍが決定される。すなわち、
幾何学的拡大倍率ｍは、下記の式で表せる。

【００２９】 ｍ＝（Ｌ_２−Ｌ_１）／（Ｓ_２−Ｓ_１） … （７） 上記式（７）を式（６−１）（または、式（６−２））
へ代入して、次式（８）を得る。

【００３０】 Ｆ＝（Ｌ_１ ・Ｓ_２ −Ｌ_２ ・Ｓ_１ ）／（Ｌ_２ −Ｌ_１ ） … （ ８） 上記式（８）に、検出面１４ａ以降の画像出力装置にお
ける信号拡大倍率を考慮して、図３（Ｂ）に示す最終出
力されたＸ線画像より評価された２つの値Ｌ_１ ，Ｌ_２
および、図３（Ａ）に示す２つの既知の直径寸法値（Ｓ
_１ ，Ｓ_２）を代入することにより、実効焦点寸法Ｆを
決定することができる。

【００３１】［第２実施形態］前記第１実施形態におい
て、「原理の応用」の欄では、簡略のため、式（８）ま
での誘導に止めたが、線幅比率ｒの概念を用いて、より
単純化することができる。すなわち、Ｌ_１ ／Ｌ_２ ＝
ｒとおくことにより、実効焦点寸法［Ｆ］は、下記の式
（９）の通り、Ｓ_１ ，Ｓ_２ を２つの助変数として、
ｒの関数として表わされる。

【００３２】 Ｆ＝（ｒ・Ｓ_２−Ｓ_１）／（１−ｒ） …（９） 上式（９）において、たとえば、既に計測済の試料にお
ける線幅Ｓ_２ ＝５μｍ、Ｓ_１ ＝３μｍに適用する
と、下記の式となる。

【００３３】 Ｆ＝（５・ｒ−３）／（１−ｒ） …（１０） ここで、Ｆ＝Ｆ（ｒ）とおき、式（１０）を変形すれ
ば、下記の式（１１）を得る。

【００３４】 Ｆ（ｒ）＝−２／（ｒ−１）−５ …（１１） よって、Ｆ、ｒの両者は、ｒ＝１，Ｆ（ｒ）＝−５を２
本の漸近線とする双曲線関数を保つことが明らかであ
る。ただし、この例の場合、Ｓ_１ ，Ｓ_２ （したがっ
てＬ_１ ，Ｌ_２ ）の大小関係を考慮し、また焦点寸法
の物理的意味より、ｒ値は、０．６より大、１．０より
小の範囲をとり得る。

【００３５】以上述べた「線幅比率（ｒ）」を用いれ
ば、１検出面１４ａ上に幾何学的拡大倍率で結像された
像−線幅（Ｌ）と、２さらにその像がＸ線像センサ１５
およびモニタ１８などの画像出力装置を経て総合倍率で
結像された像−線幅（Ｌ’）の両者の像に対して、統一
的な解釈を行い、取り扱うことができる。言い換えれ
ば、最終出力されたＸ線画像のクロスライン同士の「線
幅比率」を直接、この一般式（９）に代入し、実効焦点
寸法［Ｆ］を簡単に決定することができる。当然なが
ら、Ｆ値の単位も自動的に標準試験片のそれとなる。

【００３６】なお、上記一般式（９）の定性的解釈を次
に要約する。上記一般式（９）は、以下のように定性的
に解釈することができる。 １．線幅比率（ｒ）は、常にＳ_１ ／Ｓ_２ 比率よりも
大きい値となること。 ２．線幅比率（ｒ）が、Ｓ_１ ／Ｓ_２ 比率に漸近する
程、実効焦点寸法（Ｆ）は小さくなり、理想的な点状焦
点となること。 ３．線幅比率（ｒ）が、Ｓ_１／Ｓ_２比率より大きくなれ
ばなる程、実効焦点寸法（Ｆ）は大きくなること。

【００３７】なお、本発明は、上述した実施形態に限定
されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変する
ことができる。

【００３８】たとえば、上述した実施形態では、２本の
タングステン細線を直交せしめ、ベースに固定したもの
を用いているが、リソグラフィー技術、タングステン成
膜技術等を応用して、一個のテスト・ピース中に、縦幅
（Ｓ_１ ＝Ｗ_１ ）、横幅（Ｓ_２ ＝Ｗ_２ ）の絶対寸
法のペアを変えた複数種のクロス・パターンを作製して
おくと、さらに便利に応用できる。その一つ一つの線幅
に対しては、測長ＳＥＭ等により計測された認証データ
付き標準パターン（公的認証機関等によるもの）を応用
することが望ましい。このような標準試験片は矩形の断
面形状を有する上、縦・横のライン・パターンが同一平
面内に置かれているので、細線の十字状重ね合わせによ
る方法に比べ、厳密には測定精度が向上する。これはク
ロス・ポイント近傍の縦・横ライン表面とＸ線管焦点中
心との距離（ＦＯＤ値）が一定になるためである。

【００３９】また、上記実施形態では、図１に示す透過
型Ｘ線発生器（透過型Ｘ線管）３を用いているが、本発
明の方法は、透過型Ｘ線管／反射型Ｘ線管を問わず、そ
れらの実効焦点寸法の評価に適用することができる。

【００４０】

【実施例】以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づ
き説明するが、本発明は、これら実施例に限定されな
い。

【００４１】実施例１ ２本の既知の直径寸法をもつ細線を準備した。細線の材
質は、使用するＸ線管（図１に示すＸ線発生器３）の管
電圧等により適正に選択しなければならない。以下に述
べる実施例では、２本のタングステン線を用いた。ま
た、その直径を、それぞれＳ_１ ＝３μｍとＳ_２ ＝５
μｍ（寸法公差：±０．０５μｍ）のペアとした。ただ
し、実効焦点寸法Ｆの絶対値の予測レンジ、例えば、１
〜２μｍ、５〜１０μｍ、１０〜２０μｍ・・・に応じ
て、標準試験片の寸法ペアを選択することが肝要であ
る。

【００４２】上記の材質・寸法の標準試験片を、図１に
示すＸ線検査装置１０に取り付け、撮影されたＸ線画像
（最終出力データ）を、図３（Ｂ）に示す。２本のタン
グステン細線（それぞれ直径３μｍ、５μｍ）のＸ線画
像のクロス・ポイント付近（半径１５ｍｍ内）の線幅を
３回実測した。管電圧、管電流の条件組合せを変えて得
られた測定結果（Ｘ線画像（１）とＸ線画像（２））の
一例と、それらのデータより求めた実質的な幾何学的拡
大倍率ｍと、実効焦点寸法Ｆとを、表１に一覧表示す
る。

【００４３】

【表１】

【００４４】表１の内容を要約すると次の通りである。 １］２つの既知寸法の試験片に対するＸ線画像が「同時
撮影」されること。このことは、全ての撮影条件が同一
となること、とくに幾何学的拡大倍率（ｍ）が同一であ
ることを意味する。 ２］２つの試験片のＸ線画像は、実効焦点寸法（Ｆ）が
−仕様値や公称値ではない−真に等しい条件下で撮像さ
れること。 ３］これらの状態下で、Ｓ_１ ，Ｓ_２ 値および、実験
値Ｌ_１ ，Ｌ_２ を介して、２個の未知数（ｍ、Ｆ）に
関する２元連立１次方程式を解くこと。

【００４５】なお、２本の線幅の実測方法に関しては、
さまざまな方法が考えられる。例えば、従来から行われ
ているが、フォト・デンシトメータにより白黒コントラ
ストの黒化度曲線より、１−３σ法の所定の手続きを経
て実効線幅を評価する方法、あるいは、ノギス等を用い
て読み取る方法等々である。いずれにせよ、個人差や系
統的な測定誤差を平滑化するため、あるｎ数の測定値を
算術平均すればよい。

【００４６】表２は、本実施例の場合（Ｓ_１＝３μｍ、
Ｓ_２＝５μｍ）につき、前述した一般式（９）に基づ
き、Ｆ＝Ｆ（ｒ）：０．６≦ｒ≦０．８の特性状態をま
とめたものである。

【００４７】

【表２】

【００４８】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、Ｘ線検査装置において、微小焦点寸法を有するＸ線
発生器（Ｘ線管）の実効焦点寸法を、能率よく測定・評
価することができ、極めて実用性が高い。Ｘ線検査機器
製造業界の仕様決めの標準として、さらにＸ線発生装置
の性能評価の基準として広範に活用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の１実施形態に係るＸ線検査装
置の概略図である。

【図２】 図２は実効焦点寸法の測定原理を説明するた
めの概略図である。

【図３】 図３（Ａ）は検査装置で用いられる試料の平
面図、図３（Ｂ）は試料のＸ線画像を示す平面図であ
る。

【符号の説明】

２… 被検査対象物 ２ａ… 標準試験片 ２ｂ… 試料 ３… Ｘ線発生器（Ｘ線管） ４… ターゲット ４ａ… Ｘ線源 ４ｂ… Ｘ線発生面 １０… Ｘ線検査装置 １４… 画像増幅器 １５… Ｘ線像センサ １６… 撮像装置

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G21K 5/02 G01N 23/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線発生面の実質的に点状のＸ線源から
   所定の広がり角度を持ってＸ線を発生するＸ線発生器
   と、 被検査対象物に照射されたＸ線の画像を検出するＸ線検
   出面を持ち、所定の幾何学的拡大倍率で、前記被検査対
   象物の要部を拡大して画像を検出するＸ線像センサと、
   を有するＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法
   において、 前記被検査対象物として、第１方向に沿って配置された
   第１線幅（Ｓ_１ ）の第１パターンと、前記第１方向と
   直交する第２方向に沿って配置された前記第１線幅と異
   なる第２線幅（Ｓ_２ ）の第２パターンとを少なくとも
   有する試料を配置する工程と、 前記Ｘ線像センサにおける前記Ｘ線検出面での前記試料
   の拡大画像を検出し、拡大された前記第１パターンの第
   １線幅を拡大後第１線幅（Ｌ_１ ）とし、拡大された前
   記第２パターンの第２線幅を拡大後第２線幅（Ｌ_２ ）
   とする工程と、 下記の式から、前記Ｘ線源における実効焦点寸法（Ｆ）
   を求める工程とを有するＸ線検査装置における実効焦点
   寸法の決定方法。 Ｆ＝（Ｌ_１ ・Ｓ_２ −Ｌ_２ ・Ｓ_１ ）／（Ｌ_２ −
   Ｌ_１ ）
2. 【請求項２】 Ｘ線発生面の実質的に点状のＸ線源から
   所定の広がり角度を持ってＸ線を発生するＸ線発生器
   と、 被検査対象物に照射されたＸ線の画像を検出するＸ線検
   出面を持ち、所定の幾何学的拡大倍率で、前記被検査対
   象物の要部を拡大して画像を検出するＸ線像センサと、
   を有するＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法
   において、 前記被検査対象物として、第１方向に沿って配置された
   第１線幅（Ｓ_１ ）の第１パターンと、前記第１方向と
   直交する第２方向に沿って配置された前記第１線幅と異
   なる第２線幅（Ｓ_２ ）の第２パターンとを少なくとも
   有する試料を配置する工程と、 前記Ｘ線像センサにより、前記試料の拡大画像を検出
   し、拡大された前記第１パターンの第１線幅を拡大後第
   １線幅（Ｌ_１ ）とし、拡大された前記第２パターンの
   第２線幅を拡大後第２線幅（Ｌ_２ ）とし、ｒ＝Ｌ_１
   ／Ｌ_２ を求める工程と、 下記の式から、前記Ｘ線源における実効焦点寸法（Ｆ）
   を求める工程とを有するＸ線検査装置における実効焦点
   寸法の決定方法。 Ｆ＝（ｒ・Ｓ_２ −Ｓ_１ ）／（１−ｒ）