JP3090801B2 - Ｘ線回折アーク露光装置 - Google Patents
Ｘ線回折アーク露光装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線回折を用いて金属
や非金属の構造を解析するために使用するＸ線回折像露
光装置に関する。
や非金属の構造を解析するために使用するＸ線回折像露
光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折による構造解析の分野では、当
初、Ｘ線写真法が使用されてきた。この手法によれば、
試料の結晶組織についての様々な情報を得ることができ
る。ところが、Ｘ線写真法は、定量性や測定の能率、更
には感度の面で劣っていたため、これらの点において優
れた計数管法が発達し、現在その主流を占めている。し
かしながら、計数管法は、定量性には優れているが、点
検出方式であるため、面検出方式である写真法に比べ
て、得られる結晶組織に関する情報が極めて不十分であ
り、やはり能率の点でも問題があった。
初、Ｘ線写真法が使用されてきた。この手法によれば、
試料の結晶組織についての様々な情報を得ることができ
る。ところが、Ｘ線写真法は、定量性や測定の能率、更
には感度の面で劣っていたため、これらの点において優
れた計数管法が発達し、現在その主流を占めている。し
かしながら、計数管法は、定量性には優れているが、点
検出方式であるため、面検出方式である写真法に比べ
て、得られる結晶組織に関する情報が極めて不十分であ
り、やはり能率の点でも問題があった。
【０００３】そこで、本発明者らは、特願平３−１４６
９４１号公報に開示されているように、回転可能な試料
台と、この試料台と同一の回転中心を持つゴニオメータ
アームと、このゴニオメータアーム上に取り付けられた
回転可能な複数のイメージングプレート支持面から構成
されるＸ線回折像露光装置を考案した。
９４１号公報に開示されているように、回転可能な試料
台と、この試料台と同一の回転中心を持つゴニオメータ
アームと、このゴニオメータアーム上に取り付けられた
回転可能な複数のイメージングプレート支持面から構成
されるＸ線回折像露光装置を考案した。
【０００４】定量性と感度の点で優れたイメージングプ
レートは、面で検出する二次元検出器であり、一次元を
時間軸として利用した動的露光に利用することが可能で
ある。上記特願平３−１４６９４１号に記載の装置で
は、定量性は確保されたが、イメージングプレートの一
次元を時間軸として利用した動的露光が困難であった。
即ち、イメージングプレートの回折角度（試料回転軸の
回りの）内で測定可能なＸ線回折アーク（回折面）の数
が複数となり、単一のＸ線回折アークの動的露光が困難
であった。単一のＸ線回折アークの時間変化をイメージ
ングプレート上に露光すれば、高速現象の解析が可能と
なる。またＸ線回折アークの時間変化の露光と試料の回
転とを同期させれば、結晶粒を１個１個直接投影する、
所謂、直接極点図を短時間で露光することが可能とな
る。ところが、従来このような直接極点図は不可能とさ
れてきた。また現在行われている計数管法による間接法
極点図では上述したように結晶粒の投影は不可能である
上、数時間を要するため能率の点で劣る。
レートは、面で検出する二次元検出器であり、一次元を
時間軸として利用した動的露光に利用することが可能で
ある。上記特願平３−１４６９４１号に記載の装置で
は、定量性は確保されたが、イメージングプレートの一
次元を時間軸として利用した動的露光が困難であった。
即ち、イメージングプレートの回折角度（試料回転軸の
回りの）内で測定可能なＸ線回折アーク（回折面）の数
が複数となり、単一のＸ線回折アークの動的露光が困難
であった。単一のＸ線回折アークの時間変化をイメージ
ングプレート上に露光すれば、高速現象の解析が可能と
なる。またＸ線回折アークの時間変化の露光と試料の回
転とを同期させれば、結晶粒を１個１個直接投影する、
所謂、直接極点図を短時間で露光することが可能とな
る。ところが、従来このような直接極点図は不可能とさ
れてきた。また現在行われている計数管法による間接法
極点図では上述したように結晶粒の投影は不可能である
上、数時間を要するため能率の点で劣る。
【０００５】また、上記特願平３−１４６９４１号に記
載の装置ではノイズが強くＳ／Ｎ比（信号／ノイズ比）
が悪いという問題があった。ノイズとしては試料から回
折Ｘ線のうち目的の回折Ｘ線でないもの、及び試料でな
い他の材料（加熱炉の窓、コリメーター等）からの回折
Ｘ線などの妨害回折Ｘ線、更にＸ線が物質（加熱炉の
窓、空気等）に当って発生する散乱Ｘ線があげられる。
Ｓ／Ｎ比が高い露光を行うためには、これらのノイズを
防止することが必要となる。
載の装置ではノイズが強くＳ／Ｎ比（信号／ノイズ比）
が悪いという問題があった。ノイズとしては試料から回
折Ｘ線のうち目的の回折Ｘ線でないもの、及び試料でな
い他の材料（加熱炉の窓、コリメーター等）からの回折
Ｘ線などの妨害回折Ｘ線、更にＸ線が物質（加熱炉の
窓、空気等）に当って発生する散乱Ｘ線があげられる。
Ｓ／Ｎ比が高い露光を行うためには、これらのノイズを
防止することが必要となる。
【０００６】そこで、本発明者らは特願平４−１３００
０７号においてゴニオメータアーム上のイメージングプ
レート支持台に取り付けたイメージングプレートに、固
定されたスクリーンによって制限した回折Ｘ線を露光さ
せながら、ゴニオメータアームを回転させ、イメージン
グプレート上にＸ線回折像の動的変化を露光するように
構成された装置を提案した。
０７号においてゴニオメータアーム上のイメージングプ
レート支持台に取り付けたイメージングプレートに、固
定されたスクリーンによって制限した回折Ｘ線を露光さ
せながら、ゴニオメータアームを回転させ、イメージン
グプレート上にＸ線回折像の動的変化を露光するように
構成された装置を提案した。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記特願平４−１３０
００７号に記載の装置では、単一のＸ線回折アーク全体
が高Ｓ／Ｎ比で露光できる。また、結晶粒を１個１個直
接投影する直接極点図が短時間でかつ高Ｓ／Ｎ比で露光
できる。しかし、Ｘ線回折アークを格子面間隔別に分割
して露光することができない。鋼板のような多結晶材料
においては、例えば（２００）面のような同一の回折面
でも、結晶ごとに格子面間隔が微妙に異なる。格子面間
隔が異なるとＸ線回折角度が異なり、Ｘ線回折アーク幅
が広がる。結晶ごとに格子面間隔が微妙に異なる原因
は、固溶原子の量，析出物，相の相違，化合物の成分比
又は内部応力等がある。
００７号に記載の装置では、単一のＸ線回折アーク全体
が高Ｓ／Ｎ比で露光できる。また、結晶粒を１個１個直
接投影する直接極点図が短時間でかつ高Ｓ／Ｎ比で露光
できる。しかし、Ｘ線回折アークを格子面間隔別に分割
して露光することができない。鋼板のような多結晶材料
においては、例えば（２００）面のような同一の回折面
でも、結晶ごとに格子面間隔が微妙に異なる。格子面間
隔が異なるとＸ線回折角度が異なり、Ｘ線回折アーク幅
が広がる。結晶ごとに格子面間隔が微妙に異なる原因
は、固溶原子の量，析出物，相の相違，化合物の成分比
又は内部応力等がある。
【０００８】そこで、本発明の目的は、格子面間隔別情
報を得るためにＸ線回折アークを幅方向に分割して動的
に露光し、また直接極点図を短時間で露光することがで
きるＸ線回折アーク露光装置を提供することである。
報を得るためにＸ線回折アークを幅方向に分割して動的
に露光し、また直接極点図を短時間で露光することがで
きるＸ線回折アーク露光装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明のＸ線回折アーク露光装置は、ゴニオメ
ータアーム上のイメージングプレート支持台に取り付け
たイメージングプレートに、湾曲スリット微動機構によ
って正確に設定された湾曲スリットにより、幅方向に複
数個に分割したＸ線回折アークを露光させながら、ゴニ
オメータアームを回転し、イメージングプレート上にＸ
線回折アークの動的変化を露光するように構成されてい
る。
ために、本発明のＸ線回折アーク露光装置は、ゴニオメ
ータアーム上のイメージングプレート支持台に取り付け
たイメージングプレートに、湾曲スリット微動機構によ
って正確に設定された湾曲スリットにより、幅方向に複
数個に分割したＸ線回折アークを露光させながら、ゴニ
オメータアームを回転し、イメージングプレート上にＸ
線回折アークの動的変化を露光するように構成されてい
る。
【００１０】また、前記ゴニオメータアームと同一の回
転中心を持つ試料台上の試料の回転と、ゴニオメータア
ームの回転を同期させるように構成されている。
転中心を持つ試料台上の試料の回転と、ゴニオメータア
ームの回転を同期させるように構成されている。
【００１１】
【作用】本発明においては、Ｘ線回折アークを幅方向に
複数個に分割するように細い開口部を有する湾曲スリッ
トを利用し、一本のＸ線回折アークを幅方向に複数個に
分割することにより格子面間隔別に分割して、イメージ
ングプレートの感光面に連続的に動的露光できる。また
直接極点図上に結晶粒を格子面間隔別に分割して、投影
露光することができる。
複数個に分割するように細い開口部を有する湾曲スリッ
トを利用し、一本のＸ線回折アークを幅方向に複数個に
分割することにより格子面間隔別に分割して、イメージ
ングプレートの感光面に連続的に動的露光できる。また
直接極点図上に結晶粒を格子面間隔別に分割して、投影
露光することができる。
【００１２】湾曲スリットによってＸ線回折ビームが制
限されるため、妨害回折Ｘ線及び散乱Ｘ線が湾曲スリッ
トから発生するが、これらの発生を有効に防止し、検出
されるノイズを低減するために後置スクリーンを使用す
る。
限されるため、妨害回折Ｘ線及び散乱Ｘ線が湾曲スリッ
トから発生するが、これらの発生を有効に防止し、検出
されるノイズを低減するために後置スクリーンを使用す
る。
【００１３】
【実施例】以下本発明によるＸ線回折アーク露光装置を
好適な実施例を、図面を参照して説明する。図１は、本
発明の一実施例によるＸ線回折アーク動的露光装置を示
す。Ｘ線源１で発生したＸ線２は、シャッター３，フィ
ルター４及びコリメータ５を経て試料６に入射される。
試料６は、ゴニオメータ８に搭載された試料台（または
加熱炉）７の中に取り付けられる。イメージングプレー
ト支持台１１の支持面は、回折Ｘ線９のイメージングプ
レート１０への垂直入射、及び試料からの距離を一定と
するために球面とし、定量性の確保を行う。Ｘ線回折ア
ークの短い範囲においてのみ定量性を確保すればよい場
合は、球面の代わりに円筒面で代替することも可能であ
る。支持面にはイメージングプレート１０が取り付けら
れる。イメージングプレート支持台１１はノイズとなる
外部放射線の透過を防ぐため、また形状を正確に保つた
めには密度の高い物質で厚く作ることが望ましいが、回
転するゴニオメータアーム１２に搭載するために軽量性
も要求される。例えば鉄により３ｍｍ厚みに、またアル
ミニウムにより８ｍｍ厚みに形成される。
好適な実施例を、図面を参照して説明する。図１は、本
発明の一実施例によるＸ線回折アーク動的露光装置を示
す。Ｘ線源１で発生したＸ線２は、シャッター３，フィ
ルター４及びコリメータ５を経て試料６に入射される。
試料６は、ゴニオメータ８に搭載された試料台（または
加熱炉）７の中に取り付けられる。イメージングプレー
ト支持台１１の支持面は、回折Ｘ線９のイメージングプ
レート１０への垂直入射、及び試料からの距離を一定と
するために球面とし、定量性の確保を行う。Ｘ線回折ア
ークの短い範囲においてのみ定量性を確保すればよい場
合は、球面の代わりに円筒面で代替することも可能であ
る。支持面にはイメージングプレート１０が取り付けら
れる。イメージングプレート支持台１１はノイズとなる
外部放射線の透過を防ぐため、また形状を正確に保つた
めには密度の高い物質で厚く作ることが望ましいが、回
転するゴニオメータアーム１２に搭載するために軽量性
も要求される。例えば鉄により３ｍｍ厚みに、またアル
ミニウムにより８ｍｍ厚みに形成される。
【００１４】図２は湾曲スリット１４の立面図である。
湾曲スリット１４の材質は回折Ｘ線９を十分制限でき、
且つ外部放射線の透過を防ぐためには厚い金属がよい。
通常の波長領域０．７オングストローム〜２オングスト
ロームにおいては、鋼板を用いれば少なくとも２ｍｍの
厚さが必要である。線状の開口部１４ａの幅はＸ線回折
アークの幅方向の強度曲線プロフィールを測定し、所定
の分割数に曲線プロフィールを分割する寸法に設定す
る。分割数は２〜４が実用的である。開口部１４ａの幅
は湾曲スリット１４と試料６の距離と実験時の回折角度
に依存するが角度で０．１°〜１°相当とするのが通常
である。
湾曲スリット１４の材質は回折Ｘ線９を十分制限でき、
且つ外部放射線の透過を防ぐためには厚い金属がよい。
通常の波長領域０．７オングストローム〜２オングスト
ロームにおいては、鋼板を用いれば少なくとも２ｍｍの
厚さが必要である。線状の開口部１４ａの幅はＸ線回折
アークの幅方向の強度曲線プロフィールを測定し、所定
の分割数に曲線プロフィールを分割する寸法に設定す
る。分割数は２〜４が実用的である。開口部１４ａの幅
は湾曲スリット１４と試料６の距離と実験時の回折角度
に依存するが角度で０．１°〜１°相当とするのが通常
である。
【００１５】湾曲スリット１４は入射Ｘ線に対して、正
確に角度及び位置を固定しておく必要があるため、入射
装置台１８に固定し、スクリーン固定アーム１７を使用
する。ただし、湾曲スリット１４の位置，角度を正確に
調整するために、湾曲スリット微動機構１３を介してス
クリーン固定アーム１７に湾曲スリット１４を取り付け
ねばならない。湾曲スリット微動機構１３は湾曲スリッ
ト１４の開口部１４ａの位置を正確に決定するため、二
次元の平行移動機構と回折Ｘ線９を軸とした回転機構を
有する。
確に角度及び位置を固定しておく必要があるため、入射
装置台１８に固定し、スクリーン固定アーム１７を使用
する。ただし、湾曲スリット１４の位置，角度を正確に
調整するために、湾曲スリット微動機構１３を介してス
クリーン固定アーム１７に湾曲スリット１４を取り付け
ねばならない。湾曲スリット微動機構１３は湾曲スリッ
ト１４の開口部１４ａの位置を正確に決定するため、二
次元の平行移動機構と回折Ｘ線９を軸とした回転機構を
有する。
【００１６】湾曲スリット１４の試料からの距離は重要
である。近くすると開口部１４ａの幅を小さくせねばな
らず工作精度を高くしなければばならない上、高い微動
精度が要求される。遠ざけると湾曲スリット１４の寸法
や重量が増し、微動機構も大型化しなければならずコス
トが上昇する。試料６とイメージングプレート１０の中
間位置付近に設置することが実際的である。
である。近くすると開口部１４ａの幅を小さくせねばな
らず工作精度を高くしなければばならない上、高い微動
精度が要求される。遠ざけると湾曲スリット１４の寸法
や重量が増し、微動機構も大型化しなければならずコス
トが上昇する。試料６とイメージングプレート１０の中
間位置付近に設置することが実際的である。
【００１７】湾曲スリット１４によってＸ線回折ビーム
が制限されるため妨害回折Ｘ線及び散乱Ｘ線が湾曲スリ
ット１４から発生する。これらの発生を防ぎ、検出され
るノイズを低減するために後置スクリーン１５を使用す
る。後置スクリーン１５は湾曲スリット１４の開口部１
４ａの幅及び曲率を大きくしたものを使用する。後置ス
クリーン１５を２個使用すればさらにＳ／Ｎ比改善に効
果がある。簡便にはアルミニウムの薄板などの遮蔽板で
代替することもできる。
が制限されるため妨害回折Ｘ線及び散乱Ｘ線が湾曲スリ
ット１４から発生する。これらの発生を防ぎ、検出され
るノイズを低減するために後置スクリーン１５を使用す
る。後置スクリーン１５は湾曲スリット１４の開口部１
４ａの幅及び曲率を大きくしたものを使用する。後置ス
クリーン１５を２個使用すればさらにＳ／Ｎ比改善に効
果がある。簡便にはアルミニウムの薄板などの遮蔽板で
代替することもできる。
【００１８】試料６や試料台７等からのノイズを防止す
ることも必要であり、そのために湾曲スリット１４と試
料６の間に前置スクリーン１６を設けることか望まし
い。前置スクリーン１６を２個使用すればさらにＳ／Ｎ
比改善に効果がある。
ることも必要であり、そのために湾曲スリット１４と試
料６の間に前置スクリーン１６を設けることか望まし
い。前置スクリーン１６を２個使用すればさらにＳ／Ｎ
比改善に効果がある。
【００１９】ランプ１９にはイメージングプレート１０
の露光前のノイズを消去するために必要な輝度が要求さ
れる。市販の蛍光灯でも十分である。またランプ１９の
設置位置は開口部１４ａを通過する回折Ｘ線を妨害しな
いように選定することが必要である。
の露光前のノイズを消去するために必要な輝度が要求さ
れる。市販の蛍光灯でも十分である。またランプ１９の
設置位置は開口部１４ａを通過する回折Ｘ線を妨害しな
いように選定することが必要である。
【００２０】試料６及びイメージングプレート１０間の
距離Ｒを近づけると回折Ｘ線強度は増すが角度分解能が
劣化する。遠すぎれば角度分解能は向上するが、回折Ｘ
線強度が減じ、またイメージングプレート１０とその支
持台１１の寸法が巨大となり製作が困難となる。強度と
角度分解能のバランスを考慮し適切な値を決める必要が
あるが、距離Ｒは２００〜６００ｍｍの範囲が適切であ
る。
距離Ｒを近づけると回折Ｘ線強度は増すが角度分解能が
劣化する。遠すぎれば角度分解能は向上するが、回折Ｘ
線強度が減じ、またイメージングプレート１０とその支
持台１１の寸法が巨大となり製作が困難となる。強度と
角度分解能のバランスを考慮し適切な値を決める必要が
あるが、距離Ｒは２００〜６００ｍｍの範囲が適切であ
る。
【００２１】ビームストッパー２０と遮蔽板２１により
イメージングプレート１０へのノイズの増大を防ぐ。
イメージングプレート１０へのノイズの増大を防ぐ。
【００２２】次に本発明を、具体的な実験例、即ちＸ線
回折アークの時間変化の測定と直接極点図の測定につい
て説明する。
回折アークの時間変化の測定と直接極点図の測定につい
て説明する。
【００２３】（１）Ｘ線回折アークの時間変化の測定 実験例１ 図１に示した装置を用い、露光するイメージングプレー
ト面が、試料を中心とした半径Ｒ＝３００ｍｍの円筒面
となるように、イメージングプレート支持台１１を、ゴ
ニオメータアーム１２に取り付けた。またカセットに封
入した角形のイメージングプレート１０をイメージング
プレート支持台１１に取り付けた。露光開始から読み取
り開始まで照明を消し、装置を暗く保てる場合はカセッ
トに封入する必要はない。イメージングプレート１０
は、長さ４７０ｍｍ、幅２００ｍｍであり、検出可能な
回折角度の範囲は９０°であった。実験室においてＭｏ
管球（５０ｋＶ，３０ｍＡ）より発生させた特性Ｘ線
を、フィルター４，コリメータ５を通し、直径１ｍｍの
平行ビームとして試料６に入射させた。
ト面が、試料を中心とした半径Ｒ＝３００ｍｍの円筒面
となるように、イメージングプレート支持台１１を、ゴ
ニオメータアーム１２に取り付けた。またカセットに封
入した角形のイメージングプレート１０をイメージング
プレート支持台１１に取り付けた。露光開始から読み取
り開始まで照明を消し、装置を暗く保てる場合はカセッ
トに封入する必要はない。イメージングプレート１０
は、長さ４７０ｍｍ、幅２００ｍｍであり、検出可能な
回折角度の範囲は９０°であった。実験室においてＭｏ
管球（５０ｋＶ，３０ｍＡ）より発生させた特性Ｘ線
を、フィルター４，コリメータ５を通し、直径１ｍｍの
平行ビームとして試料６に入射させた。
【００２４】試料６は鋼板で加熱炉７の中に設置し、温
度を８００℃に保持した。試料６からの回折Ｘ線９は湾
曲スリット１４を通り、イメージングプレート１０の上
にＸ線回折アークの像を生じる。Ｘ線回折アークの幅を
３分割し、湾曲スリット１４はまず図３の鉄の２００反
射のＸ線回折アークの（１）範囲のみを選択するように
固定した。後置スクリーン１５と前置スクリーン１６は
本実験例では使用しなかった。ランプ１９によりイメー
ジングプレート１０上の残留像を消去したのち、ゴニオ
メータアーム１２を低角度１０°から高角度８０°まで
９０秒で走査する間に、シャッター３を開放してイメー
ジングプレート１０の上にＸ線回折アークの時間変化を
露光させた。次に、湾曲スリット１４を図３の鉄の２０
０反射のＸ線回折アークの（２）範囲のみを選択するよ
うに、更に（３）範囲のみを選択するように固定し、測
定を繰り返した。露光後他の読み取り専用装置で読み取
りを行った。
度を８００℃に保持した。試料６からの回折Ｘ線９は湾
曲スリット１４を通り、イメージングプレート１０の上
にＸ線回折アークの像を生じる。Ｘ線回折アークの幅を
３分割し、湾曲スリット１４はまず図３の鉄の２００反
射のＸ線回折アークの（１）範囲のみを選択するように
固定した。後置スクリーン１５と前置スクリーン１６は
本実験例では使用しなかった。ランプ１９によりイメー
ジングプレート１０上の残留像を消去したのち、ゴニオ
メータアーム１２を低角度１０°から高角度８０°まで
９０秒で走査する間に、シャッター３を開放してイメー
ジングプレート１０の上にＸ線回折アークの時間変化を
露光させた。次に、湾曲スリット１４を図３の鉄の２０
０反射のＸ線回折アークの（２）範囲のみを選択するよ
うに、更に（３）範囲のみを選択するように固定し、測
定を繰り返した。露光後他の読み取り専用装置で読み取
りを行った。
【００２５】実験例２ 後置スクリーン１５と前置スクリーン１６を各１個付け
加えたが、その位置は図１に示す位置とした。他の条件
は、実験例１と同様である。湾曲スリット１４及び加熱
炉７の窓材等からのノイズを除去でき、Ｓ／Ｎ比が向上
した。
加えたが、その位置は図１に示す位置とした。他の条件
は、実験例１と同様である。湾曲スリット１４及び加熱
炉７の窓材等からのノイズを除去でき、Ｓ／Ｎ比が向上
した。
【００２６】実験例３ 放熱光（２．５ＧｅＶ，２００ｍＡ）をモノクロメータ
により単色化し波長を０．７オングストロームとして光
源とし実験を行った。他の条件は、実験例２と同様であ
る。
により単色化し波長を０．７オングストロームとして光
源とし実験を行った。他の条件は、実験例２と同様であ
る。
【００２７】比較実験例１ 特願平４−１３０００７号に記載の装置を用いて露光を
行い、他の読み取り専用装置で読み取りを行った。湾曲
スリット１４は本例では用いず、通常のスクリーンを用
いた。他の条件は、実験例１と同様である。以上の実験
結果を次の表１に示す。
行い、他の読み取り専用装置で読み取りを行った。湾曲
スリット１４は本例では用いず、通常のスクリーンを用
いた。他の条件は、実験例１と同様である。以上の実験
結果を次の表１に示す。
【００２８】
【表１】
【００２９】（２）直接極点図の測定 実験例４ 実験例１と基本的に同様であり、異なる点は次の点だけ
である。ランプ１９によりイメージングプレート１０を
消去した後、ゴニオメータアーム１２を低角度３０°か
ら高角度７０°まで４０秒で走査する間、シャッター３
を開放してゴニオメータアーム１２と同期させながら、
試料６を４０°回転させ、イメージングプレート１０の
上に直接極点図を露光させた。露光後他の読み取り専用
装置で読み取りを行った。
である。ランプ１９によりイメージングプレート１０を
消去した後、ゴニオメータアーム１２を低角度３０°か
ら高角度７０°まで４０秒で走査する間、シャッター３
を開放してゴニオメータアーム１２と同期させながら、
試料６を４０°回転させ、イメージングプレート１０の
上に直接極点図を露光させた。露光後他の読み取り専用
装置で読み取りを行った。
【００３０】実験例５ 後置スクリーン１５と前置スクリーン１６を各１個付け
加えたが、その位置は図１に示す位置とした。他の条件
は、実験例４と同様である。湾曲スリット１４及び加熱
炉７の窓材などからのノイズを除去でき、Ｓ／Ｎ比が向
上した。
加えたが、その位置は図１に示す位置とした。他の条件
は、実験例４と同様である。湾曲スリット１４及び加熱
炉７の窓材などからのノイズを除去でき、Ｓ／Ｎ比が向
上した。
【００３１】実験例６ 放熱光（２．５ＧｅＶ，２００ｍＡ）をモノクロメータ
により単色化し波長を０．７オングストロームとして光
源とし実験を行った。他の条件は、実験例４と同様であ
る。
により単色化し波長を０．７オングストロームとして光
源とし実験を行った。他の条件は、実験例４と同様であ
る。
【００３２】比較実験例２ 特願平４−１３０００７号に記載の装置を用いて露光を
行い。他の読み取り専用装置で読み取りを行った。湾曲
スリット１４は本例では用いない。他の条件は、実験例
４と同様である。以上の実験結果を次の表２に示す。
行い。他の読み取り専用装置で読み取りを行った。湾曲
スリット１４は本例では用いない。他の条件は、実験例
４と同様である。以上の実験結果を次の表２に示す。
【００３３】
【表２】
【００３４】
【発明の効果】上述のように本発明の装置によれば、一
本のＸ線回折アークを幅方向に複数個に分割して、イメ
ージングプレートの感光面に連続的に動的露光できる。
また、直接極点図上に結晶粒を格子面間隔別に分割し
て、投影露光できる等の利点を有している。
本のＸ線回折アークを幅方向に複数個に分割して、イメ
ージングプレートの感光面に連続的に動的露光できる。
また、直接極点図上に結晶粒を格子面間隔別に分割し
て、投影露光できる等の利点を有している。
【図１】本発明によるＸ線回折アーク動的露光装置の概
略構成を示す平面図である。
略構成を示す平面図である。
【図２】本発明のＸ線回折アーク動的露光装置に係る湾
曲スリットの立面図である。
曲スリットの立面図である。
【図３】本発明のＸ線回折アーク動的露光装置における
Ｘ線回折アークの幅方向の強度曲線プロフィールを示す
模式図である。
Ｘ線回折アークの幅方向の強度曲線プロフィールを示す
模式図である。
１ Ｘ線源 ２ Ｘ線 ３ シャッター ４ フィルター ５ コリメータ ６ 試料 ７ 試料台 ８ ゴニオメータ ９ 回折Ｘ線 １０ イメージングプレート １１ イメージングプレート支持台 １２ ゴニオメータアーム １３ 湾曲スリット微動機構 １４ 湾曲スリット １４ａ 開口部 １５ 後置スクリーン １６ 前置スクリーン １７ スクリーン固定アーム １８ 入射装置台 １９ ランプ ２０ ビームストッパー ２１ 遮蔽板 Ｒ 試料及びイメージングプレート間の距離
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−296944（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−296945（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−346060（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−206247（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−236348（ＪＰ，Ａ) 特公 昭29−5766（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭34−3418（ＪＰ，Ｙ１) 川崎宏一，「放射光による鉄鋼材料の 解析」，ＳＲ科学技術情報，（1991）Ｖ ｏｌ．１，Ｎｏ．４，ｐ８−ｐ15 川崎宏一，岩崎博，「放射光による結 晶粒方位分布変化の動的観察」放射光, （Ａｕｇ．1992），Ｖｏｌ．５，Ｎｏ. ３，ｐ239−ｐ251 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/20 - 23/207 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】 ゴニオメータアーム上のイメージングプ
レート支持台に取り付けたイメージングプレートに、湾
曲スリット微動機構によって正確に設定された湾曲スリ
ットにより、一本のＸ線回折アークを幅方向に複数個に
分割して露光させながら、ゴニオメータアームを回転
し、イメージングプレート上にＸ線回折アークの動的変
化を露光するようにしたことを特徴とするＸ線回折アー
ク露光装置。 - 【請求項２】 前記ゴニオメータアームと同一の回転中
心を持つ試料台上の試料の回転と、ゴニオメータアーム
の回転を同期させることを特徴とする請求項１に記載の
Ｘ線回折アーク露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04335601A JP3090801B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | Ｘ線回折アーク露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04335601A JP3090801B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | Ｘ線回折アーク露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160308A JPH06160308A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3090801B2 true JP3090801B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=18290412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04335601A Expired - Fee Related JP3090801B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | Ｘ線回折アーク露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3090801B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01248311A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Toshiba Corp | フロッピーディスク装置の磁気ヘッド装置 |
| JPH04311403A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-04 | Sharp Corp | 粉体充填装置および充填方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101701798B1 (ko) * | 2015-02-09 | 2017-02-13 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 입사각 분포를 최소화하는 집광형 타원해석기용 조리개 |
-
1992
- 1992-11-20 JP JP04335601A patent/JP3090801B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 川崎宏一，「放射光による鉄鋼材料の解析」，ＳＲ科学技術情報，（１９９１）Ｖｏｌ．１，Ｎｏ．４，ｐ８−ｐ１５ |
| 川崎宏一，岩崎博，「放射光による結晶粒方位分布変化の動的観察」放射光，（Ａｕｇ．１９９２），Ｖｏｌ．５，Ｎｏ．３，ｐ２３９−ｐ２５１ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01248311A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Toshiba Corp | フロッピーディスク装置の磁気ヘッド装置 |
| JPH04311403A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-04 | Sharp Corp | 粉体充填装置および充填方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06160308A (ja) | 1994-06-07 |
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