JPS5816590B2 - 荷電粒子線像表示装置 - Google Patents
荷電粒子線像表示装置Info
- Publication number
- JPS5816590B2 JPS5816590B2 JP51124594A JP12459476A JPS5816590B2 JP S5816590 B2 JPS5816590 B2 JP S5816590B2 JP 51124594 A JP51124594 A JP 51124594A JP 12459476 A JP12459476 A JP 12459476A JP S5816590 B2 JPS5816590 B2 JP S5816590B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- charged particle
- circuit
- display device
- detection signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査型電子顕微鏡、Ｘ線マイクロアナライザー
、イオンマイクロアネライザー等の荷電粒子線像表示装
置に関する。
、イオンマイクロアネライザー等の荷電粒子線像表示装
置に関する。
一般に荷電粒子線像表示装置においては試料を一次荷電
粒子線で走査し、試料より発生した二次荷電粒子線ある
いはＸ線を検出し、得られた検出信号を前記−次荷電粒
子線の走査に同期して走査される表示装置に導入して試
料像を得ている。
粒子線で走査し、試料より発生した二次荷電粒子線ある
いはＸ線を検出し、得られた検出信号を前記−次荷電粒
子線の走査に同期して走査される表示装置に導入して試
料像を得ている。
そして得られた試料像は必要に応じて写真撮影されるが
、この時試料像の輝度及びコントラストはフィルムに適
正な露出゛が与えられるように調整されていなければ良
質な試料像を撮影することはできない。
、この時試料像の輝度及びコントラストはフィルムに適
正な露出゛が与えられるように調整されていなければ良
質な試料像を撮影することはできない。
本発明はこの様な写真撮影の際に適正な輝度及びコント
ラストを得るための調整を極めて容易になし得る新規な
荷電粒子線像表示装置を提供することを目的とするもの
であり、以下図面に基づき本発明を詳説する。
ラストを得るための調整を極めて容易になし得る新規な
荷電粒子線像表示装置を提供することを目的とするもの
であり、以下図面に基づき本発明を詳説する。
第１図は本発明を実施した走査型電子顕微鏡の；一例を
示す構成図であり、同図において１は電子銃である。
示す構成図であり、同図において１は電子銃である。
該電子銃１より発生した電子線は集束レンズ２によって
試料３上に細く集束されると共に、走査回路４からの水
平、垂直走査信号が供給される偏向コイル５によって試
料上で二次元的に；走査される。
試料３上に細く集束されると共に、走査回路４からの水
平、垂直走査信号が供給される偏向コイル５によって試
料上で二次元的に；走査される。
電子線照射により試料３から発生した電子例えば二次電
子は検出器６によって検出され、得られた検出信号は増
巾器７によって増巾された後輝度及びコントラスト調整
回路８に送られる。
子は検出器６によって検出され、得られた検出信号は増
巾器７によって増巾された後輝度及びコントラスト調整
回路８に送られる。
該調整回路８によって直流レベル及び振巾が；調整され
た検出信号は混合回路９を介して陰極線管（以下単にＣ
ＲＴと略称する）１０のグリッドに輝度信号として供給
される。
た検出信号は混合回路９を介して陰極線管（以下単にＣ
ＲＴと略称する）１０のグリッドに輝度信号として供給
される。
該ＣＲＴ１０の偏向コイル１１には前記走査回路４から
の水平及び垂直走査信号が供給されており、従って該Ｃ
ＲＴ１０の画面には試料の二次電子像が表示されること
となる。
の水平及び垂直走査信号が供給されており、従って該Ｃ
ＲＴ１０の画面には試料の二次電子像が表示されること
となる。
そして該二次電子像はカメラ１２によって撮影される。
前記調整回路８によって直流レベル及び振巾が調整され
た検出信号は又上限及び下限レベルが設；定されたレベ
ル判定回路１３にも供給される。
た検出信号は又上限及び下限レベルが設；定されたレベ
ル判定回路１３にも供給される。
該判定回路１３は検出信号のうち上記上限レベルを超え
るもののみを取り出した人出力信号及び上記下限レベル
を下回るもののみを取り出したＢ出力信号を得るための
回路であり、抵抗Ｒａ、 ＋ Ｒｂ 、ダイオードＤａ
、Ｄｂ１３つの電源Ｅ１．゛Ｅ２．Ｅ３より構成される
２つのクリップ回路を備えている。
るもののみを取り出した人出力信号及び上記下限レベル
を下回るもののみを取り出したＢ出力信号を得るための
回路であり、抵抗Ｒａ、 ＋ Ｒｂ 、ダイオードＤａ
、Ｄｂ１３つの電源Ｅ１．゛Ｅ２．Ｅ３より構成される
２つのクリップ回路を備えている。
該判定回路１３より得られたＡ、Ｂ２つの出力信号は夫
々積算回路１４ａ、１４ｂに送られる。
々積算回路１４ａ、１４ｂに送られる。
該積算回路１４ａ 、１４ｂの積算出力信号は夫々保持
回路１５ａ、１５ｂによって保持され、該保持された積
算出力信号は夫々コンパレータ１６ａ。
回路１５ａ、１５ｂによって保持され、該保持された積
算出力信号は夫々コンパレータ１６ａ。
１６ｂの一方の入力端子に供給される。
該コンパレータ１６ａ 、１６ｂの他方の入力端子には
前記走査回路４から前記ＣＲＴＩＯの偏向コイル１１に
送られる水平走査信号が供給されている。
前記走査回路４から前記ＣＲＴＩＯの偏向コイル１１に
送られる水平走査信号が供給されている。
そして該コンパレータ１６ａ、１６ｂの夫々の出力信号
は前記混合回路９に送られる。
は前記混合回路９に送られる。
１１は前記走査回路４から送られる垂直ブランキング信
号に同期してタイミング信号を前記積算回路１４ａ、１
４ｂ及び保持回路１５ａ、１５ｂに送るためのタイミン
グ回路である。
号に同期してタイミング信号を前記積算回路１４ａ、１
４ｂ及び保持回路１５ａ、１５ｂに送るためのタイミン
グ回路である。
上述の如き構成においてＣＲＴｌｏの画面に表示される
像をカメラ１２で撮影する際、ＣＲＴの発光特性、用い
るフィルムの感度、カメラの絞り具合、シャッタースピ
ード等によって像の明るさの上限及び下限が決定され、
それに対応してＣＲＴｌｏに輝度信号として供給される
検出信号の上限値■Ｈ及び下限値ｖＬが決定される。
像をカメラ１２で撮影する際、ＣＲＴの発光特性、用い
るフィルムの感度、カメラの絞り具合、シャッタースピ
ード等によって像の明るさの上限及び下限が決定され、
それに対応してＣＲＴｌｏに輝度信号として供給される
検出信号の上限値■Ｈ及び下限値ｖＬが決定される。
そこでレベル判定回路１３においては電源Ｅ１． Ｅ３
によって上限値ｖＨが、電源Ｅ２．Ｅ３によって下限値
ＶＬが夫々設定され、該上限値ＶＨ及び下限値ｖＬ／こ
基づいて例えば第２図に示される検出信号の強度を判定
し、第３図ａ、ｂに示される様に上限値ｖＨを超える検
出信号を取り出した人出力信号及び下限値■Ｌを下回る
検出信号を取り出したＢ出力信号を夫々得る。
によって上限値ｖＨが、電源Ｅ２．Ｅ３によって下限値
ＶＬが夫々設定され、該上限値ＶＨ及び下限値ｖＬ／こ
基づいて例えば第２図に示される検出信号の強度を判定
し、第３図ａ、ｂに示される様に上限値ｖＨを超える検
出信号を取り出した人出力信号及び下限値■Ｌを下回る
検出信号を取り出したＢ出力信号を夫々得る。
積算回路１４ａは第３図ａに示される人出力信号の各ピ
ークの電圧■１．ｖ２．■３．・・・・・・を検出し、
該ピークの電圧をタイミング信号に基づいて第３図Ｃに
示される如くｌ垂直走査期間にわたり積算して過大信号
■８を得る。
ークの電圧■１．ｖ２．■３．・・・・・・を検出し、
該ピークの電圧をタイミング信号に基づいて第３図Ｃに
示される如くｌ垂直走査期間にわたり積算して過大信号
■８を得る。
従って１垂直走査期間中に検出信号が上限値ｖＨを超え
る頻度が多ければ多い程、又上限値を超えた時の検出信
号値と上限値ｖＨとの差が太きければ大きい熱漬算回路
１４ａの積算出力即ち過大信号ｖａは大きくなる。
る頻度が多ければ多い程、又上限値を超えた時の検出信
号値と上限値ｖＨとの差が太きければ大きい熱漬算回路
１４ａの積算出力即ち過大信号ｖａは大きくなる。
又全く同様に検出信号が下限値■Ｌを下回る頻度が多け
れば多い程、又下限値を下回った時の検出信号値と下限
値■、との差が太きければ大きい熱漬算回路１４ｂの積
算出力即ち過小信号■ｂは大きくなる。
れば多い程、又下限値を下回った時の検出信号値と下限
値■、との差が太きければ大きい熱漬算回路１４ｂの積
算出力即ち過小信号■ｂは大きくなる。
そして１回の垂直走査が終了するとタイミング信号が積
算回路１４ａ 、１４ｂ及び保持回路１５ａ、１５ｂに
送られ、積算回路１４ａ。
算回路１４ａ 、１４ｂ及び保持回路１５ａ、１５ｂに
送られ、積算回路１４ａ。
１４ｂの積算出力■８．■ｂは保持回路１５ａ。
１’５ｂに夫々読出されて次のタイミング信号までの期
間即ち次の１垂直走査期間中保持される。
間即ち次の１垂直走査期間中保持される。
又積算回路１４ａ 、１４ｂは次の積算に備えてリセッ
トされる。
トされる。
保持回路１５ａに保持されている過大信号■３はコンパ
レータ１６ａに送られるが、該コンパレータ１６ａは該
過大信号■８に■。
レータ１６ａに送られるが、該コンパレータ１６ａは該
過大信号■８に■。
−Ｖａなる演算を施した後該■。
−ｖａの値と走査回路４からのＣＲＴＩＯの偏向コイル
１１へ送られる第４図ａに示される様な鋸歯状波形を持
つ水平走査信号とを比較する。
１１へ送られる第４図ａに示される様な鋸歯状波形を持
つ水平走査信号とを比較する。
尚■。はＣＲＴ画面の右端に相当する水平走査信号の瞬
時値に対応している。
時値に対応している。
そしてコンパレータ１６ａの出力信号としては第４図Ｃ
に示される如く水平走査信号が■。
に示される如く水平走査信号が■。
−■８を超えた期間のパルス巾を持つパルス信号Ｐａが
得られ、混合回路９に送られる。
得られ、混合回路９に送られる。
又同様にコンパレーク１６−ｂは過小信号■ｂに−Ｖ。
＋Ｖｂなる演算本節した後該−ｖｏ＋■ｂの値を水平走
査信号と比較する。
査信号と比較する。
尚−■。はＣＲＴ画面の左端に相当する水平走査信号の
瞬時値に対応している。
瞬時値に対応している。
そしてコンパレータ１６．ｂの出力信号としては第４図
すに示される如く水平走査信号が−Ｖ。
すに示される如く水平走査信号が−Ｖ。
＋■ｂよりも小さい期間のパルス巾を持つパルス信号Ｐ
が得られ、混合回路９に送られる。
が得られ、混合回路９に送られる。
そしてパルス信号Ｐａ及びＰｂは検出信号に重畳されて
ＣＲＴＩＯのグリッドに送られるため、ＣＲＴ画面には
第５図に示される様に試料像に重畳して画面の両端に２
本の帯が表示されることとなる。
ＣＲＴＩＯのグリッドに送られるため、ＣＲＴ画面には
第５図に示される様に試料像に重畳して画面の両端に２
本の帯が表示されることとなる。
左端の帯はパルス信号Ｐｂに、又右端の帯はパルス信号
Ｐ によるものであり、帯の巾はパルス信号のパルス巾
に対応している。
Ｐ によるものであり、帯の巾はパルス信号のパルス巾
に対応している。
更にパルス巾は過大及び過小信号Ｖ３．Ｖｂに対応して
いるため、結局画面に表示される左端の帯の巾は過小信
号■ｂに、右端の帯の巾は過大信号■３に夫々対応する
ことになる。
いるため、結局画面に表示される左端の帯の巾は過小信
号■ｂに、右端の帯の巾は過大信号■３に夫々対応する
ことになる。
従って画面に表示された２本の帯を観察しつつ輝度及び
コントラスト調整回路８を操作して検出信号の直流レベ
ル及び振巾を変化させることにより２本の帯の巾を減少
させてゆけば、検出信号が上限値■□を超える頻度及び
下限値■Ｌを下回る頻度が減少してゆく。
コントラスト調整回路８を操作して検出信号の直流レベ
ル及び振巾を変化させることにより２本の帯の巾を減少
させてゆけば、検出信号が上限値■□を超える頻度及び
下限値■Ｌを下回る頻度が減少してゆく。
そして２本の帯が消えるか又は極めて細くなった時点で
検出信号は上限値■□及び下限値■□の間に収まること
となり、その後カメラ１２を用いて試料像を撮影すれば
、輝度、コントラスト共に適正な良質な像を得るとさが
できる。
検出信号は上限値■□及び下限値■□の間に収まること
となり、その後カメラ１２を用いて試料像を撮影すれば
、輝度、コントラスト共に適正な良質な像を得るとさが
できる。
尚２本の帯は画面の両端に限らずどの位置に表示しても
よいし、２本の帯を隣合わせて表示すれば実質的に１本
の帯として表示できる、又、コンパレータ１６ａ、１６
ｂに水平走査祖号てはなく垂直走査信号を供給すれば垂
直方向の帯ではなく水平方向の帯として表示することが
できるし、過大、過小信号値を帯の巾ではなく線分の長
さに対応させて表示しても良い。
よいし、２本の帯を隣合わせて表示すれば実質的に１本
の帯として表示できる、又、コンパレータ１６ａ、１６
ｂに水平走査祖号てはなく垂直走査信号を供給すれば垂
直方向の帯ではなく水平方向の帯として表示することが
できるし、過大、過小信号値を帯の巾ではなく線分の長
さに対応させて表示しても良い。
更に上述した実施例においては積算回路を用いてレベル
判定回路からの出力信号のピークの電圧を順次積算する
様にしたが、これに限らず例えば積分回路を用いて第３
図ａ、ｂにおける斜線部分の面積の和を求めるようにし
てもよいし、計数回路を用いて検出信号が上限値を超え
た回数及び下限値を下回った回数をカウントするように
してもよい。
判定回路からの出力信号のピークの電圧を順次積算する
様にしたが、これに限らず例えば積分回路を用いて第３
図ａ、ｂにおける斜線部分の面積の和を求めるようにし
てもよいし、計数回路を用いて検出信号が上限値を超え
た回数及び下限値を下回った回数をカウントするように
してもよい。
以上詳述した如く本発明によれば画面に表示された帯の
巾を観察することによって適正な輝度及びコントラスト
を持つ像を得ることができるため良質な像を撮影大るこ
とができる。
巾を観察することによって適正な輝度及びコントラスト
を持つ像を得ることができるため良質な像を撮影大るこ
とができる。
図面の簡単な説明゛
第１図は本発明の一実施例を示す構成図であり、第２図
、第３図、第４図はその動作を説明するための波形図で
あるる第５図は画面に表示される２本の帯を説明するた
めの図である。
、第３図、第４図はその動作を説明するための波形図で
あるる第５図は画面に表示される２本の帯を説明するた
めの図である。
１・・・・・・電子銃、２・・・・・・集束レンズ、３
・・・・・・試料、４・・・・・・走査回路、５・・・
・・・偏向コイル、６・・・・・・検出器、８・・・・
・−輝度及びコントラスト調整回路、９・・・・・・混
合回路、１０・・・・・・ＣＲＴ、１１・・・・・・Ｃ
ＲＴ用Ｍコイル、１２・・・・・・カメ”７１，１’３
・・・・・・レベル判定回路、−１４・・・・・・積算
回路、１５・・・・・・保持回路、１６・・・・・・コ
ンパレータ、１γ・・・・・・タイミング回路。
・・・・・・試料、４・・・・・・走査回路、５・・・
・・・偏向コイル、６・・・・・・検出器、８・・・・
・−輝度及びコントラスト調整回路、９・・・・・・混
合回路、１０・・・・・・ＣＲＴ、１１・・・・・・Ｃ
ＲＴ用Ｍコイル、１２・・・・・・カメ”７１，１’３
・・・・・・レベル判定回路、−１４・・・・・・積算
回路、１５・・・・・・保持回路、１６・・・・・・コ
ンパレータ、１γ・・・・・・タイミング回路。
Claims (1)
- １ 一次荷電粒子線の照射によって試料より発生する二
次荷電粒子線あるいは放射線を検出し、得られた検出信
号を表示装置に導入して試料像を表示する荷電粒子線像
表示装置にお、いて、所定期間内に前記検出信号が予め
定められた上限値を超えた信号量に応じた過大信号を得
る第１の積算手段と、前記検出信号が予め定められた下
限値を下回った信号量に応じた過小信号を得る第２の積
算手段とを備え、該過大信号及び過小信号に応じた長さ
を持つ線分あるいは帯を前記表示装置に表示する様に構
成したことを特徴とする荷電粒子線像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51124594A JPS5816590B2 (ja) | 1976-10-18 | 1976-10-18 | 荷電粒子線像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51124594A JPS5816590B2 (ja) | 1976-10-18 | 1976-10-18 | 荷電粒子線像表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5349939A JPS5349939A (en) | 1978-05-06 |
| JPS5816590B2 true JPS5816590B2 (ja) | 1983-03-31 |
Family
ID=14889307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51124594A Expired JPS5816590B2 (ja) | 1976-10-18 | 1976-10-18 | 荷電粒子線像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5816590B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52141169A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-25 | Nichidenshi Technics Kk | Device for indicating contrast and luminance of video signal in scanning electron microscope or the like |
-
1976
- 1976-10-18 JP JP51124594A patent/JPS5816590B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52141169A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-25 | Nichidenshi Technics Kk | Device for indicating contrast and luminance of video signal in scanning electron microscope or the like |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5349939A (en) | 1978-05-06 |
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