JP3439508B2

JP3439508B2 - 試料画像表示装置

Info

Publication number: JP3439508B2
Application number: JP29311293A
Authority: JP
Inventors: 紘民小池
Original assignee: Topcon Corp
Current assignee: Topcon Corp
Priority date: 1992-11-26
Filing date: 1993-11-24
Publication date: 2003-08-25
Anticipated expiration: 2018-08-25
Also published as: JPH0773840A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡、透過
型電子顕微鏡、トンネル走査顕微鏡等により拡大される
試料の主として形態部分である連続領域から得られる第
１検出信号と試料の主として微小離散領域から得られる
第２検出信号とを重ね合わせて表示する試料画像表示装
置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、走査電子顕微鏡、透過型電子
顕微鏡、トンネル走査顕微鏡（ＳＴＭ）等により試料を
拡大して表示する試料画像表示装置が知られている。例
えば走査電子顕微鏡では、試料に照射線（この発明で
は、「照射線」は放射線、荷電粒子を含む意味で用い
る）としての電子線を照射して試料を走査し、その電子
線の走査に基づく二次電子又は反射電子を第１検出部と
しての電子検出部で検出し、この電子検出部の検出信号
に基づき濃淡の白黒画像信号を形成して、試料の連続領
域画像を形成するようにしている。また、試料によって
は、その試料の特定部位が電子線の照射によって蛍光発
光（ホトルミネッセンス）することがある。例えば、試
料が細胞のミトコンドリアの場合には、その電子線の走
査に基づく二次電子又は反射電子を検出することにより
図１に示すように、細胞の輪郭、細胞の境界等の連続領
域画像１である試料形態画像を得るとともに、電子線の
照射に基づくコレステロールの蛍光発光を受光してその
試料の発光部位２ａをカラー表示し、図２に示すような
微小離散領域画像としてのカラー画像２を得るようにし
ている。

【０００３】従来、同一視野内で、電子線の照射により
得られた連続領域画像１と、蛍光発光に基づくカラー画
像２とを別々に撮影して、この連続領域画像１とカラー
画像２とを並べて比較し、試料のどの部位が発光してい
るかの同定を行っていた。

【０００４】このため、連続領域画像１が複雑形状を呈
していて、ホトルミネッセンスが微弱なときは、連続領
域画像１の各部位と発光部位２ａとの対応づけが困難で
あるという問題点がある。ことに、倍率を高くすると試
料が生体材料である場合に電子線の照射量が大きくなる
ことにより高分子の化学結合が切断されて退色を生じ、
かつ、ホトルミネッセンスが極度に微弱になり、発光場
所の同定（いいかえると、試料中に存在する微量成分の
存在箇所の分布の同定）が困難となる。

【０００５】そこで、本件出願人は、先に、連続領域画
像１とカラー画像２の発光部位２ａとを重ね合わせて画
像表示する試料画像表示装置を発明の名称「形態観察装
置」（出願番号；特願平４−１３０９６６号）として出
願した。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、連続領
域画像１とカラー画像２の発光部位２ａとを重ね合わせ
て画像表示する場合には、発光部位２ａが一画素（一ピ
クセル）で表示される程度のオーダーになると、無彩色
で表示される連続領域画像１がＲＧＢのカラー成分を本
質的に保有するために、一画素程度で表示される極微弱
の発光部位２ａが連続領域画像１の中に埋もれて、連続
領域画像１のどの部分が発光しているかを確認できない
こととなる。

【０００７】本発明は上記の事情に鑑みて為されたもの
で、その目的とするところは、微小離散領域から得られ
る微弱な検出信号に基づく画像を連続領域から得られる
検出信号に基づく画像に重ねて表示させたとしても微小
離散領域から得られる微弱な検出信号に基づく画像を連
続領域から得られる検出信号に基づく画像に埋もれるこ
となく、微小離散領域から得られる微弱な検出信号に基
づく画像を識別可能に表示させることのできる試料画像
表示装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明に係
わる試料画像表示装置は、上記の課題を解決するため、
試料に照射される照射線を相対移動させて該試料を走査
する走査照射系と、前記照射線の照射により前記試料の
連続領域から得られる第１検出信号を検出する第１検出
部と、前記照射線の照射により前記試料の微小離散領域
から得られる微弱な第２検出信号を検出する第２検出部
と、前記第２検出部が検出した前記第２検出信号に基づ
くピクセルサイズが前記第１検出信号に基づくピクセル
サイズに対して拡大されるように第２検出信号を処理す
る信号処理部と、前記第１検出部の第１検出信号と前記
信号処理部により処理された第２検出信号とを合成して
重ね合わせ画像信号を形成する画像信号形成部と、前記
重ね合わせ画像信号に基づき試料の画像を表示する画像
表示部とを有し、前記第１検出信号は前記試料から得ら
れる２次電子、反射電子、透過電子、トンネル電子又は
走査透過像のいずれかに基づく試料形態信号であり、前
記第２検出信号は前記試料から得られるカソードルミネ
ッセンス、Ｘ線分析、エレクトロン・エネルギーロス・
スペクトロスコピーによる元素分析、またはオージェ装
置による試料成分信号であることを特徴とする。本発明
の第２の発明に係わる試料画像表示装置は、上記課題を
解決するため、試料に照射される照射線を相対移動させ
て該試料を走査する走査照射系と、前記照射線の照射に
より前記試料の連続領域から得られる第１検出信号を検
出する第１検出部と、前記照射線の照射により前記試料
の微小離散領域から得られる微弱な第２検出信号を検出
する第２検出部と、前記第２検出部が検出した前記第２
検出信号に基づくピクセルサイズが前記第１検出信号に
基づくピクセルサイズに対して拡大されるように第２検
出信号を処理する信号処理部と、前記第１検出部の第１
検出信号と前記信号処理部により処理された第２検出信
号とを合成して重ね合わせ画像信号を形成する画像信号
形成部と、前記重ね合わせ画像信号に基づき試料の画像
を表示する画像表示部とを有し、前記第１検出信号は、
前記試料から得られる白黒の試料形態信号であり、前記
第２検出信号は、前記試料から得られるカラーの試料成
分信号であることを特徴とする。

【０００９】

【作用】本発明に係わる試料画像表示装置によれば、走
査照射系は試料に照射される照射線を相対移動させて該
試料を走査する。第１検出部は照射線の照射により試料
の連続領域から得られる第１検出信号を検出する。第２
検出部は照射線の照射により前記試料の微小離散領域か
ら得られる微弱な第２検出信号を検出する。信号処理部
は第２検出部が検出した第２検出信号に基づくピクセル
サイズが第１検出信号に基づくピクセルサイズに対して
拡大されるように第２検出信号を処理する。画像信号形
成部は第１検出部の第１検出信号と信号処理部により処
理された第２検出信号とを合成して重ね合わせ画像信号
を形成する。画像表示部は重ね合わせ画像信号に基づき
連続領域と微小離散領域とを重ね合わせた画像を表示す
る。

【００１０】

【実施例】以下に、本発明に係わる実施例を図面を参照
しつつ説明する。

【００１１】図３において、３は走査型電子顕微鏡の照
射系を示している。この照射系３は図示を略す公知の電
子銃、集束レンズ、走査コイル、対物レンズを備えてい
る。照射系３の下部には試料ステージ４が設けられてい
る。試料ステージ４は照射系３に対して位置調整可能で
ある。その試料ステージ４には半導体、化合物、生体細
胞等の試料５の切片が載せられれる。ここでは、試料５
は生体細胞であるミトコンドリアであるとする。試料ス
テージ４と照射系３との間には１個の楕円ミラー６が設
けられている。符号６ａはその反射面である。この楕円
ミラー６は電子線透過部としての貫通孔６ｂを有する。
試料５の切片には照射線としての電子線が細く絞られて
貫通孔６ｂを通して照射され、試料５の各部位が電子線
によって走査される。試料５に電子線が照射されると第
１検出信号としての二次電子が放出される。なお、走査
電子顕微鏡には電子線の照射により試料５の各部位（走
査点）から反射された反射電子を検出するものもある。
透過型電子顕微鏡の場合には透過電子を検出すればよ
い。また、トンネル走査顕微鏡（ＳＴＭ）の場合にはト
ンネル電子を検出する。その二次電子は第１検出部とし
ての光電子増倍管７により検出されて増倍される。二次
電子はその試料の各部位に対応してその発生量が変わる
もので、その二次電子はいったん光に変換され、増倍さ
れて再び電子に変換される。光電子増倍管７は第１検出
信号を前置増幅器（図示を略す）を介して信号変換器８
に向けて出力する。信号変換器８は第１検出部の第１検
出信号に基づき試料５の連続領域画像１に対応する白黒
の形態画像信号（テレビジョンの輝度信号に相当するも
の）を形成する。

【００１２】また、電子線の照射に基づき微量成分のコ
レステロールが存在する微小離散領域から微弱な第２検
出信号としてのカソードルミネッセンス（ＣＬ）が放射
される。楕円ミラー６はそのカソードルミネッセンスを
集光する役割を果たすもので、試料５の切片はその楕円
ミラー６の一方の焦点に位置している。そのカソードル
ミネッセンスは楕円ミラー６の反射面６ａにより反射さ
れて第２検出部としての受光部９に受光される。受光部
９はカソードルミネッセンスを色分解する色分解光学系
としてのダイクロイックミラー１０、１１、全反射ミラ
ー１２、光電子増倍管１３、１４、１５を有する。ダイ
クロイックミラー１０は近赤外を含む赤色光（Ｒ）を透
過しかつ残りの光を反射し、ダイクロイックミラー１１
は緑色光（Ｇ）を反射しかつ残りの紫外光を含む青色光
（Ｂ）を透過し、全反射ミラー１２はその青色光を反射
する。赤色光Ｒは光電子増倍管１３に導かれ、緑色光Ｂ
は光電子増倍管１４に導かれ、青色光Ｂは光電子増倍管
１５に導かれる。光電子増倍管１３、１４、１５の各受
光面は光学的に楕円ミラー６の他方の焦点位置と等価な
位置に設けられている。各光電子増倍管１３、１４、１
５はカソードルミネッセンスが含んでいる色の割合に対
応して、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色分解信号を増倍して出力す
る。

【００１３】この各色分解信号は信号処理部としてのピ
クセルサイズ拡大回路１６に入力される。１ピクセル程
度の大きさの微小離散領域からカソードルミネッセンス
があるときにこれをそのまま用いて画像表示することに
すると、図４に示すように、１ピクセル単位で微小離散
領域が表示され、微小離散領域から得られる微弱な検出
信号に基づく画像を連続領域から得られる検出信号に基
づく画像に重ねて表示させると微小離散領域から得られ
る微弱な検出信号に基づく画像が連続領域から得られる
検出信号に基づく画像に埋もれることになる。この図４
において、符号２ａ´はその微小離散領域の発光部位を
示している。ピクセルサイズ拡大回路１６は、第２検出
信号である色分解信号に基づくピクセルサイズが第１検
出信号に基づくピクセルサイズに対して拡大されるよう
に色分解信号を処理する機能を有する。図５は、そのピ
クセルサイズ拡大回路１６を用いて、発光部位２ａ´の
ピクセルサイズを形態画像のピクセルサイズを基準に３
×３倍に拡大した例を示している。この図５において、
符号２ｂはその拡大された発光部位を示す。このピクセ
ルサイズの拡大は色分解信号Ｒ、Ｇ、Ｂ毎に行う。

【００１４】ピクセルサイズを拡大する処理が施された
各ピクセルサイズ拡大処理済み信号と形態画像信号とは
画像信号形成部としての加算回路１７に入力される。加
算回路１７は走査中の各部位（各走査点）において同時
に得られた（同一走査タイミングで得られた）Ｒ、Ｇ、
Ｂの各色分解信号と信号変換器８により得られた形態画
像信号とを加算し、各部位（各走査点）におけるＲ、
Ｇ、Ｂの各重ね合わせ画像信号を形成する。これらの各
部位における各重ね合わせ画像信号はメモリ部１８に入
力される。メモリ部１８は赤色の重ね合わせ画像信号、
青色の重ね合わせ画像信号、緑色の重ね合わせ画像信号
を一画面（一フレーム）分の画像情報として記憶する。
その一画面分の赤色の重ね合わせ画像信号、青色の重ね
合わせ画像信号、緑色の重ね合わせ画像信号は試料の画
像を表示する画像表示部としてのカラーモニター１９に
入力され、カラーモニター１９にはこれにより形態画像
の発光部位が有彩色で強調されてその形態画像に対応す
る部位に重ねて表示される。

【００１５】図６はそのカラーモニター１９に表示され
た重ね合わせ画像を示しており、この図６において符号
２０はミトコンドリアの形態画像、２１は微小離散領域
で、微小離散領域２１から得られる微弱な検出信号に基
づく画像を連続領域から得られる検出信号に基づく画像
に重ねて表示させたとしても微小離散領域２１から得ら
れる微弱な検出信号に基づく画像を連続領域から得られ
る検出信号に基づく画像に埋もれることなく、微小離散
領域２１から得られる微弱な検出信号に基づく画像を明
瞭に識別可能に表示できる。なお、カラーモニター１９
に表示された重ね合わせ画像は必要に応じてカメラ２２
により撮影できる。また、ピクセルサイズの拡大は３×
３倍に限るものではない。

【００１６】図７、図８は本発明に係わる試料画像表示
装置の第２実施例を示すもので、色分解信号に基づくピ
クセルサイズが拡大されるように色分解信号の処理を施
して得られたピクセルサイズ拡大処理済み信号をそれぞ
れ所定時間積算することにより信号の強調を図ったもの
である。この図７において、２３は分配制御回路、２
４、２５_n、２５_n-1、…、２５_n-9は積算用バッファー
メモリ、２６は積算回路である。各ピクセルサイズ拡大
処理済み信号は分配制御回路２３に入力され、一フレー
ム毎に積算用バッファーメモリ２４、２５_n、２５_n-1、
…、２５_n-9に保存される。積算用バッファーメモリ２
５_n、２５_n-1、…、２５_n-9には、全部で過去１０回分
の画像情報に対応するピクセルサイズ拡大処理済み信号
が保存され、古い方の情報から新しい方の情報を順に保
存するように、下位から上位に向かって配列されてい
る。すなわち、最下位の積算用バッファーメモリ２５
_n-9には現時点の走査回数がＮ回目として１０回前の走
査に基づく一画面分のピクセルサイズ拡大処理済み信号
がメモリされている。積算用バッファーメモリ２５_n-9
に対して１個上位の積算用バッファーメモリ２５_n-8に
は９回前の走査に基づく一画面分のピクセルサイズ拡大
処理済み信号がメモリされている。このようにして、古
い情報から新しい情報が順番に積算用バッファーメモリ
に記憶され、積算用バッファーメモリ２５_nにはＮ回目
の走査に基づく一画面分のピクセルサイズ拡大処理済み
信号が記憶される。各積算用バッファーメモリ２５_n、
２５_n-1、…、２５_n-9にはそれぞれこのピクセルサイズ
拡大処理済み信号がメモリされているとして、Ｎ＋１回
目の走査が完了すると、このＮ＋１回目の走査に基づく
ピクセルサイズ拡大処理済み信号が積算用バッファーメ
モリ２４に一時的にメモリされる。それと同時に、分配
制御回路２３はその各積算用バッファーメモリ２５_n、
２５_n-1、…、２５_n-9にメモリされていたピクセルサイ
ズ拡大処理済み信号を呼び出して積算回路２６に向かっ
て出力する。積算回路２６はその１０個分のピクセルサ
イズ拡大処理済み信号を積算する。図８はその積算の一
例を説明するための図であって、ｍ本目の走査線に対応
する微小離散領域２１、２１´に基づくＮ−９回目の走
査によるピクセルサイズ拡大処理済み信号をＳ_n-9、Ｓ
_n-9´、Ｎ−８回目の走査によるピクセルサイズ拡大処
理済み信号をＳ_n-8、Ｓ_n-8´、…、Ｎ回目の走査による
ピクセルサイズ拡大処理済み信号をＳ_n、Ｓ_n´として示
してある。積算回路２６はこれらのピクセルサイズ拡大
処理済み信号を積算して積算ピクセルサイズ拡大処理済
み信号ＢＳ_nを創る。積算回路２６はこの積算ピクセル
サイズ拡大処理済み信号ＢＳ_nを加算回路１７に向かっ
て出力する。加算回路１７は第１実施例と同様の処理を
行う。微小離散領域２１、２１´の発光現象は確率的で
あり、図８のＮ−７回目の走査で示すように、微小離散
領域２１からホトルミネッセンスに基づく微弱な第２検
出信号（ピクセルサイズ拡大処理済み信号）が得られな
いことがあり、通常の処理では、バックグラウンドノイ
ズにかき消される場合でも、積算して、その後平均化す
ることによりアトランダムなバックグラウンドノイズ成
分を消去してホトルミネッセンスに基づく微弱な第２検
出信号を強調して抽出することができる。

【００１７】なお、分配制御回路２３は各積算用バッフ
ァーメモリ２５_n、２５_n-1、…、２５_n-9にメモリされ
ているピクセルサイズ拡大処理済み信号を呼び出した
後、最下位の積算用バッファーメモリ２５_n-9に保存さ
れている一画面分のピクセルサイズ拡大処理済み信号を
廃棄し、１個上位の積算用バッファーメモリ２５_n-8に
保存されているピクセルサイズ拡大処理済み信号を１個
下位の積算用バッファーメモリ２５_n-9にメモリさせ
る。この処理を順に行い、積算用バッファーメモリ２５
_nのピクセルサイズ拡大処理済み信号は１個下位の積算
用バッファーメモリ２５_n-1に保存され、積算用バッフ
ァーメモリ２５_nには積算用バッファーメモリ２４に保
存されている最新（ＣＮ＋１回目の走査）のピクセルサ
イズ拡大処理済み信号がメモリされ、古い情報が廃棄さ
れて逐次新しいピクセルサイズ拡大処理済み信号が１０
画面分ずつ保存される。

【００１８】図９、図１０は本発明に係わる試料画像表
示装置の第３実施例を示すもので、形態画像信号と色分
解信号とを加算して形態画像信号と色分解信号とを合成
した後に積算することとしたものであり、加算回路１７
と信号変換器８との間には積算したときに形態画像信号
がサチュレートしないように減衰器２７が設けられ、メ
モリ部１８と加算回路１７との間に分配制御回路２３と
積算回路２６とが設けられており、積算用バッファーメ
モリ２４、２５_n、２５_n-1、…、２５_n-9の接続は第２
実施例と同一である。この実施例による場合には、図１
０に示すように、各形態画像信号とピクセルサイズ拡大
処理済み信号とが積算されることになる。この図１０に
おいて、符号２８は微小離散領域、符号２９は連続領域
の境界部分、符号２８ａはピクセルサイズ拡大処理済み
信号、符号２９ａは連続領域の境界部分の形態画像信
号、符号２８Ｂａは積算ピクセルサイズ拡大処理済み信
号、符号２９Ｂａは積算形態画像信号を示しており、そ
の他は第２実施例と同一である。

【００１９】図１１は本発明に係わる試料画像表示装置
の第４実施例を示すもので、波長に応じてホトルミネッ
センスを検出することにしたもので、この実施例によれ
ば、紫外線領域から赤外線領域までの範囲でＲＧＢの三
原色以外の色分解信号を得ることができ、この図１１に
おいて、符号３０は色分解用のダイクロイックミラー、
符号３１はオプティカルファイバーであり、各オプティ
カルファイバー３１に導かれた各色分解信号は光電子増
倍管を介してピクセルサイズ拡大回路に入力される。

【００２０】この実施例によれば、Ｘ線分析、抗原体反
応などで用いるエレクトロン・エネルギー・ロス・スペ
クトロスコピー（ＥＥＬＳ）による元素分析、オージェ
装置による表面元素分析等にも適用できる。

【００２１】なお、信号強度の大きい形態像を白黒で表
示し、その他の微弱信号をカラーで表示する場合、この
形態像を意味する信号強度の大きい信号と信号強度の弱
い信号とを同一条件のもとで積算すると、信号強度の大
きい信号は積算により飽和する。その結果、形態像が真
っ白になる。これは、形態像を意味する白黒の信号は、
本質的にＲ、Ｇ、Ｂ信号成分を有するからである。

【００２２】従って、信号処理部は、平均化又は積算を
行うとき、所定時間の間に形態像を意味する２次電子信
号をリカーシブルフィルタ方式等により４回ないし８回
積算する。一方、微弱信号を意味する発光信号を所定時
間の間に渡って全回数積算する。すなわち、強い試料
形態信号の積算回数を微弱信号の積算回数よりも少なく
する。

【００２３】又は、例えば、画像信号を１０分間積算す
ることにした場合、強い形態信号の積算値を積算回数又
は積算回数に比例数で割り算した割り算値が表示に用い
られる。

【００２４】このようにすると、試料形態画像信号の飽
和が避けられる。また、弱い信号を強調することができ
る。

【００２５】以上説明したように、本発明は連続領域と
離散領域に対応する信号を積算した後に加算する方式、
及び加算した後に積算する方式であっても適用すること
ができる。

【００２６】以上実施例について説明したが、ＥＥＬＳ
（Ｘ線分析）の場合には、第１検出信号はＳＴＥＭ像
（走査透過像）であり、第２検出信号はエネルギーロス
の電子線であり、試料５は細胞、無機材料等であり、連
続領域画像として細胞の形状、境界面の輪郭画像が得ら
れ、微小離散領域画像としてカルシウム、ナトリウム等
の元素の分布、シリコン等の組成元素の分布が得られ
る。

【００２７】

【効果】本発明に係わる試料画像表示装置は、以上説明
したように構成したので、微小離散領域から得られる微
弱な検出信号に基づく画像を連続領域から得られる検出
信号に基づく画像に重ねて表示させたとしても微小離散
領域から得られる微弱な検出信号に基づく画像を連続領
域から得られる検出信号に基づく画像に埋もれることな
く、微小離散領域から得られる微弱な検出信号に基づく
画像を識別可能に表示させることができるという効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の形態画像の表示状態を示す図である。

【図２】従来の試料の発光部位の表示状態を示す図であ
る。

【図３】本発明に係わる試料画像表示装置を走査型電子
顕微鏡に適用した第１実施例を示す図である。

【図４】１ピクセル程度の微小離散領域からの検出信号
に基づくピクセルサイズを拡大せずに画面に表示した状
態を示す図である。

【図５】ピクセルサイズの拡大の一例を示す模式図であ
って、画像を重ね合わせる前の図である。

【図６】形態画像とピクセルサイズが拡大された微小離
散領域の画像とを重ね合わせて表示した状態を示す図で
ある。

【図７】本発明に係わる試料画像表示装置を走査型電子
顕微鏡に適用した第２実施例を示す図である。

【図８】図７に示す積算の一例を示す説明図である。

【図９】本発明に係わる試料画像表示装置を走査型電子
顕微鏡に適用した第３実施例を示す図である。

【図１０】図９に示す積算の一例を示す説明図である。

【図１１】第１実施例〜第３実施例に示す受光部の変形
例を示す図である。

【符号の説明】

３…照射系５…試料７…ホトカウンティング光電子
増倍管（第１検出部）９…受光部（第２検出部）１３〜１５…光電子増倍管
（第２検出部）１６…ピクセルサイズ拡大回路（信号処理部）１７…加算回路（画像信号形成部）１９…カラーモニター（画像表示部）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 37/22

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】試料に照射される照射線を相対移動させ
て該試料を走査する走査照射系と、前記照射線の照射に
より前記試料の連続領域から得られる第１検出信号を検
出する第１検出部と、前記照射線の照射により前記試料
の微小離散領域から得られる微弱な第２検出信号を検出
する第２検出部と、前記第２検出部が検出した前記第２
検出信号に基づくピクセルサイズが前記第１検出信号に
基づくピクセルサイズに対して拡大されるように第２検
出信号を処理する信号処理部と、前記第１検出部の第１
検出信号と前記信号処理部により処理された第２検出信
号とを合成して重ね合わせ画像信号を形成する画像信号
形成部と、前記重ね合わせ画像信号に基づき試料の画像
を表示する画像表示部とを有し、前記第１検出信号は前
記試料から得られる２次電子、反射電子、透過電子、ト
ンネル電子又は走査透過像のいずれかに基づく試料形態
信号であり、前記第２検出信号は前記試料から得られる
カソードルミネッセンス、Ｘ線分析、エレクトロン・エ
ネルギーロス・スペクトロスコピーによる元素分析、ま
たはオージェ装置による試料成分信号であることを特徴
とする試料画像表示装置。
【請求項２】試料に照射される照射線を相対移動させ
て該試料を走査する走査照射系と、前記照射線の照射に
より前記試料の連続領域から得られる第１検出信号を検
出する第１検出部と、前記照射線の照射により前記試料
の微小離散領域から得られる微弱な第２検出信号を検出
する第２検出部と、前記第２検出部が検出した前記第２
検出信号に基づくピクセルサイズが前記第１検出信号に
基づくピクセルサイズに対して拡大されるように第２検
出信号を処理する信号処理部と、前記第１検出部の第１
検出信号と前記信号処理部により処理された第２検出信
号とを合成して重ね合わせ画像信号を形成する画像信号
形成部と、前記重ね合わせ画像信号に基づき試料の画像
を表示する画像表示部とを有し、前記第１検出信号は、
前記試料から得られる白黒の試料形態信号であり、前記
第２検出信号は、前記試料から得られるカラーの試料成
分信号であることを特徴とする試料画像表示装置。
【請求項３】前記第１検出信号は試料から得られる２
次電子、反射電子、透過電子、トンネル電子又は走査透
過像のいずれかに基づく白黒の試料形態信号であり、前
記第２検出信号は試料から得られるカソードルミネッセ
ンスに基づくカラーの試料成分信号であることを特徴と
する請求項１又は請求項２に記載の試料画像表示装置。
【請求項４】前記信号処理部は前記第２検出信号を所
定時間の間積算し、前記画像信号形成部は積算された第
２検出信号と前記第１検出信号とを合成して重ね合わせ
画像信号を形成することを特徴とする請求項１又は請求
項２に記載の試料画像表示装置。
【請求項５】前記画像信号形成部は、前記第１検出信
号と前記信号処理部により処理された前記第２検出信号
とを合成して得られた重ね合わせ画像信号を所定時間の
間積算して画像表示部に表示すべき最終重ね合わせ画像
信号を形成することを特徴とする請求項１又は請求項２
に記載の試料画像表示装置。
【請求項６】前記信号処理部は、所定時間当たりにお
いて、強い試料形態信号の積算回数が微弱なカラーの試
料成分信号の積算回数よりも少ないことを特徴とする請
求項３に記載の試料画像表示装置。
【請求項７】前記信号処理部は、所定時間当たりにお
いて、強い試料形態信号の積算することによって得られ
た積算値がその積算回数により割られて、その割り算値
が試料形態信号の表示に使用されることを特徴とする請
求項３に記載の試料画像表示装置。