JP2003131142A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
- Publication number
- JP2003131142A JP2003131142A JP2001327908A JP2001327908A JP2003131142A JP 2003131142 A JP2003131142 A JP 2003131142A JP 2001327908 A JP2001327908 A JP 2001327908A JP 2001327908 A JP2001327908 A JP 2001327908A JP 2003131142 A JP2003131142 A JP 2003131142A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnification
- observation
- image
- image pickup
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Studio Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 同時に異なる倍率での標本観察を簡単に行う
ことができる顕微鏡を提供する。 【解決手段】 標本１８の観察光をプリズム２２により
透過方向ａと偏向方向ｂの２方向に分割し、このうちの
偏向方向ｂの光路に標本１８の観察したい部位全体を撮
像するＣＣＤカメラ２７を配置し、透過方向ａの光路に
ＣＣＤカメラ３７を配置するとともに、このＣＣＤカメ
ラ３７を撮像面と平行に移動可能にしたＸ−Ｙステージ
３３に支持させて、標本１８の観察したい部位全体のう
ちの注目部位を撮像可能にして、ＣＣＤカメラ２７と３
７のそれぞれの撮像画像により、標本１８上の低倍観察
像と高倍観察像を同時に観察可能にした。
ことができる顕微鏡を提供する。 【解決手段】 標本１８の観察光をプリズム２２により
透過方向ａと偏向方向ｂの２方向に分割し、このうちの
偏向方向ｂの光路に標本１８の観察したい部位全体を撮
像するＣＣＤカメラ２７を配置し、透過方向ａの光路に
ＣＣＤカメラ３７を配置するとともに、このＣＣＤカメ
ラ３７を撮像面と平行に移動可能にしたＸ−Ｙステージ
３３に支持させて、標本１８の観察したい部位全体のう
ちの注目部位を撮像可能にして、ＣＣＤカメラ２７と３
７のそれぞれの撮像画像により、標本１８上の低倍観察
像と高倍観察像を同時に観察可能にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＣＤカメラなど
の撮像装置を備えた顕微鏡に関するものである。
の撮像装置を備えた顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体チップや磁気ヘッドなどの
被検体の外観検査を顕微鏡を用いて行う場合、まず、顕
微鏡の対物レンズを低倍に切換え、被検体全体の観察を
行い、その後、対物レンズを高倍に切換えて、被検体の
任意の部分の観察、例えば、被検体が半導体チップの場
合は、チップ外周部に位置される重ね合わせマークの観
察を行い、また、被検体が磁気ヘッドの場合は、ギャッ
プ部分の観察を行うようにしている。
被検体の外観検査を顕微鏡を用いて行う場合、まず、顕
微鏡の対物レンズを低倍に切換え、被検体全体の観察を
行い、その後、対物レンズを高倍に切換えて、被検体の
任意の部分の観察、例えば、被検体が半導体チップの場
合は、チップ外周部に位置される重ね合わせマークの観
察を行い、また、被検体が磁気ヘッドの場合は、ギャッ
プ部分の観察を行うようにしている。
【０００３】ところが、このような顕微鏡では、対物レ
ンズを高倍のものに切換えて半導体チップの重ね合わせ
マークや磁気ヘッドのギャップ部分を観察する場合、こ
れら重ね合わせマークやギャップ部分などの観察対象
を、改めて対物レンズの光軸上まで移動する必要があ
り、このため、Ｘ−Ｙステージなどを用いて被検体を移
動させなくてはならず、このための作業に多大な時間が
かかってしまうという問題があった。
ンズを高倍のものに切換えて半導体チップの重ね合わせ
マークや磁気ヘッドのギャップ部分を観察する場合、こ
れら重ね合わせマークやギャップ部分などの観察対象
を、改めて対物レンズの光軸上まで移動する必要があ
り、このため、Ｘ−Ｙステージなどを用いて被検体を移
動させなくてはならず、このための作業に多大な時間が
かかってしまうという問題があった。
【０００４】そこで、このような問題を解決するものと
して、同時に異なる倍率で被検体の観察を行うことがで
きるＣＣＤカメラなどの撮像装置を備えた顕微鏡の使用
が考えられている。図４は、このような顕微鏡の概略構
成を示すもので、顕微鏡本体１に入射される被検体２か
ら反射される観察光の一部をハーフミラー３を透過さ
せ、変倍光学系４を介して第１のＣＣＤカメラ５で撮像
し、また、残りの観察光をハーフミラー３で反射させ、
ミラー６を介して第２のＣＣＤカメラ７で撮像すること
により、これら第１および第２のＣＣＤカメラ５、７よ
り得られる撮像画像より倍率の異なる被検体像の観察を
可能にしている。
して、同時に異なる倍率で被検体の観察を行うことがで
きるＣＣＤカメラなどの撮像装置を備えた顕微鏡の使用
が考えられている。図４は、このような顕微鏡の概略構
成を示すもので、顕微鏡本体１に入射される被検体２か
ら反射される観察光の一部をハーフミラー３を透過さ
せ、変倍光学系４を介して第１のＣＣＤカメラ５で撮像
し、また、残りの観察光をハーフミラー３で反射させ、
ミラー６を介して第２のＣＣＤカメラ７で撮像すること
により、これら第１および第２のＣＣＤカメラ５、７よ
り得られる撮像画像より倍率の異なる被検体像の観察を
可能にしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
顕微鏡を使用した場合、被検体２上の大きな面積を撮像
する低倍の場合と小さな面積を拡大して高倍の場合と
で、それぞれの撮像画像の中心が一致するように調整さ
れているので、高倍側の観察視野は、低倍側の観察視野
の中心部分を部分的に拡大したに過ぎない。
顕微鏡を使用した場合、被検体２上の大きな面積を撮像
する低倍の場合と小さな面積を拡大して高倍の場合と
で、それぞれの撮像画像の中心が一致するように調整さ
れているので、高倍側の観察視野は、低倍側の観察視野
の中心部分を部分的に拡大したに過ぎない。
【０００６】このため、低倍による観察視野の中心に対
して高倍による観察対象が近接している場合は何ら問題
にならないが、上述した半導体チップの重ね合わせマー
クや磁気ヘッドのギャップ部分のように高倍による観察
対象が観察視野の中心から比較的離れているような場合
は、高倍側の観察視野から観察対象が外れてしまうた
め、この場合は、改めて、Ｘ−Ｙステージなどを用いて
被検体２を移動させる必要が生じるという問題もあっ
た。
して高倍による観察対象が近接している場合は何ら問題
にならないが、上述した半導体チップの重ね合わせマー
クや磁気ヘッドのギャップ部分のように高倍による観察
対象が観察視野の中心から比較的離れているような場合
は、高倍側の観察視野から観察対象が外れてしまうた
め、この場合は、改めて、Ｘ−Ｙステージなどを用いて
被検体２を移動させる必要が生じるという問題もあっ
た。
【０００７】さらに、同時に異なる倍率で被検体の観察
を行うような場合、低倍の観察視野と高倍の観察視野と
で、要求される光量が異なってくるが、上述したような
一般的な光学素子を使用して観察光の光量分割をしたよ
うな場合、分割比が要求に合致せずに、観察像として非
常に見ずらいものになるという問題もあった。
を行うような場合、低倍の観察視野と高倍の観察視野と
で、要求される光量が異なってくるが、上述したような
一般的な光学素子を使用して観察光の光量分割をしたよ
うな場合、分割比が要求に合致せずに、観察像として非
常に見ずらいものになるという問題もあった。
【０００８】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、同時に異なる倍率での標本観察を簡単に行うことが
できる顕微鏡を提供することを目的とする。
で、同時に異なる倍率での標本観察を簡単に行うことが
できる顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
標本の観察光を複数の光路に分割する光路分割手段と、
前記光路分割手段により分割された光路に配置され、前
記標本の観察部位全体を撮像する低倍側撮像手段と、前
記光路分割手段により分割された他の光路に配置された
高倍側撮像手段と、前記高倍側撮像手段を、該高倍側撮
像手段の撮像面と平行な方向に移動可能に支持するとと
もに、前記高倍側撮像手段による前記標本の観察部位の
うちの特定部位の撮像を可能にするステージ手段と、を
具備し、前記低倍側撮像手段と高倍側撮像手段のそれぞ
れの撮像画像により、前記標本上の低倍観察像と高倍観
察像を同時に観察可能にしたことを特徴としている。
標本の観察光を複数の光路に分割する光路分割手段と、
前記光路分割手段により分割された光路に配置され、前
記標本の観察部位全体を撮像する低倍側撮像手段と、前
記光路分割手段により分割された他の光路に配置された
高倍側撮像手段と、前記高倍側撮像手段を、該高倍側撮
像手段の撮像面と平行な方向に移動可能に支持するとと
もに、前記高倍側撮像手段による前記標本の観察部位の
うちの特定部位の撮像を可能にするステージ手段と、を
具備し、前記低倍側撮像手段と高倍側撮像手段のそれぞ
れの撮像画像により、前記標本上の低倍観察像と高倍観
察像を同時に観察可能にしたことを特徴としている。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記高倍側撮像手段の撮像面の単位面積当
たりの画素数が前記低倍側撮像手段の撮像面の単位面積
当たりの画素数より大きいことを特徴としている。
明において、前記高倍側撮像手段の撮像面の単位面積当
たりの画素数が前記低倍側撮像手段の撮像面の単位面積
当たりの画素数より大きいことを特徴としている。
【００１１】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記光路分割手段は、前記観察光の分割比
が前記低倍観察像および高倍観察像の倍率比の２乗に設
定されることを特徴としている。
明において、前記光路分割手段は、前記観察光の分割比
が前記低倍観察像および高倍観察像の倍率比の２乗に設
定されることを特徴としている。
【００１２】この結果、本発明によれば、低倍側撮像手
段と高倍側撮像手段のそれぞれの撮像画像により、標本
上の観察したい部位全体の低倍観察像と、この観察した
い部位のうちの特定部位を拡大した高倍観察像を同時に
観察することができる。
段と高倍側撮像手段のそれぞれの撮像画像により、標本
上の観察したい部位全体の低倍観察像と、この観察した
い部位のうちの特定部位を拡大した高倍観察像を同時に
観察することができる。
【００１３】また、本発明によれば、低倍側撮像手段お
よび高倍側撮像手段によりそれぞれ撮像された低倍側と
高倍側の画像の明るさを均一にすることができる。
よび高倍側撮像手段によりそれぞれ撮像された低倍側と
高倍側の画像の明るさを均一にすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。
に従い説明する。
【００１５】図１は、本発明が適用される顕微鏡の概略
構成を示している。図において、１１は顕微鏡本体で、
この顕微鏡本体１１内部には、ハーフミラー１２が配置
されている。
構成を示している。図において、１１は顕微鏡本体で、
この顕微鏡本体１１内部には、ハーフミラー１２が配置
されている。
【００１６】顕微鏡本体１１の側面には、投光レンズ１
３を支持するレンズ支持枠１４を介して光ファイバ１５
の出射端１５ａを固定するファイバ固定部１６が設けら
れるとともに、下方端部には、対物レンズ１７が設けら
れ、光ファイバ１５の出射端１５ａから発せられた光を
投光レンズ１３を介してハーフミラー１２に入射し、ハ
ーフミラー１２で反射された光を対物レンズ１７を透過
して標本１８に照射するようにしている。この場合、標
本１８は、図示しないＸ−Ｙステージ上に載置されてい
る。
３を支持するレンズ支持枠１４を介して光ファイバ１５
の出射端１５ａを固定するファイバ固定部１６が設けら
れるとともに、下方端部には、対物レンズ１７が設けら
れ、光ファイバ１５の出射端１５ａから発せられた光を
投光レンズ１３を介してハーフミラー１２に入射し、ハ
ーフミラー１２で反射された光を対物レンズ１７を透過
して標本１８に照射するようにしている。この場合、標
本１８は、図示しないＸ−Ｙステージ上に載置されてい
る。
【００１７】また、顕微鏡本体１１の上方端部には、結
像レンズ１９を支持するレンズ支持枠２０を介して光分
割鏡筒２１が設けられている。この光分割鏡筒２１内部
には、光分割手段としてのプリズム２２が配置され、こ
のプリズム２２により対物レンズ１７および結像レンズ
１９を介して入射される標本１８の観察光を透過方向ａ
と偏向方向ｂの２方向に分割するようにしている。
像レンズ１９を支持するレンズ支持枠２０を介して光分
割鏡筒２１が設けられている。この光分割鏡筒２１内部
には、光分割手段としてのプリズム２２が配置され、こ
のプリズム２２により対物レンズ１７および結像レンズ
１９を介して入射される標本１８の観察光を透過方向ａ
と偏向方向ｂの２方向に分割するようにしている。
【００１８】この場合、プリズム２２は、結像レンズ１
９より入射される光に対する光量分割比を透過方向ａ：
偏向方向ｂ＝８：２に設定されている。
９より入射される光に対する光量分割比を透過方向ａ：
偏向方向ｂ＝８：２に設定されている。
【００１９】光分割鏡筒２１には、プリズム２２の偏向
方向ｂに沿って、低倍側鏡筒２３が設けられている。こ
の低倍側鏡筒２３の中空部には、レンズ支持枠２４が回
転可能に設けられ、このレンズ支持枠２４には、中間変
倍光学系として倍率０．５倍の縮小レンズ２５が設けら
れている。また、レンズ支持枠２４の先端には、低倍側
Ｃマウント２６を介して低倍側撮像手段としてＣＣＤカ
メラ２７が設けられている。このＣＣＤカメラ２７に
は、例えば、２／３ｉｎ、６４０×４８０の画素数のＣ
ＣＤが用いられる。そして、このＣＣＤカメラ２７の撮
像画像は、図示しないモニタに表示される。また、ＣＣ
Ｄカメラ２７は、レンズ支持枠２４とともに光軸を中心
に回転可能になっており、観察像に対する撮像面の方向
を調整できるようになっている。
方向ｂに沿って、低倍側鏡筒２３が設けられている。こ
の低倍側鏡筒２３の中空部には、レンズ支持枠２４が回
転可能に設けられ、このレンズ支持枠２４には、中間変
倍光学系として倍率０．５倍の縮小レンズ２５が設けら
れている。また、レンズ支持枠２４の先端には、低倍側
Ｃマウント２６を介して低倍側撮像手段としてＣＣＤカ
メラ２７が設けられている。このＣＣＤカメラ２７に
は、例えば、２／３ｉｎ、６４０×４８０の画素数のＣ
ＣＤが用いられる。そして、このＣＣＤカメラ２７の撮
像画像は、図示しないモニタに表示される。また、ＣＣ
Ｄカメラ２７は、レンズ支持枠２４とともに光軸を中心
に回転可能になっており、観察像に対する撮像面の方向
を調整できるようになっている。
【００２０】なお、２８は、レンズ支持枠２４の回転止
め用の固定ネジ部である。
め用の固定ネジ部である。
【００２１】光分割鏡筒２１には、プリズム２２の透過
方向ａに沿って高倍側鏡筒２９が設けられている。この
高倍側鏡筒２９には、焦準用筒体３０が設けられてい
る。この焦準用筒体３０は、高倍側鏡筒２９の中心軸に
沿って直線移動可能になっていて、後述するＣＣＤカメ
ラ３７の撮像面に対する焦準調整を行うようになってい
る。なお、３１は、焦準用筒体３０の直線移動を固定す
るためのネジ部である。
方向ａに沿って高倍側鏡筒２９が設けられている。この
高倍側鏡筒２９には、焦準用筒体３０が設けられてい
る。この焦準用筒体３０は、高倍側鏡筒２９の中心軸に
沿って直線移動可能になっていて、後述するＣＣＤカメ
ラ３７の撮像面に対する焦準調整を行うようになってい
る。なお、３１は、焦準用筒体３０の直線移動を固定す
るためのネジ部である。
【００２２】焦準用筒体３０の先端には、ステージ手段
を構成するＸ−Ｙステージ固定部３２が回転可能に設け
られている。このＸ−Ｙステージ固定部３２は、筒状を
なすもので、先端開口部に段部３２ａが形成されてい
る。そして、この段部３２ａ上にＸ−Ｙステージ３３が
載置されている。この場合、Ｘ−Ｙステージ３３は、筒
状をなすとともに、周面部に鍔状の突起３３ａを有した
もので、この突起３３ａがＸ−Ｙステージ固定部３２の
段部３２ａ上に載置され、ＸＹ方向の移動を可能にして
いる。
を構成するＸ−Ｙステージ固定部３２が回転可能に設け
られている。このＸ−Ｙステージ固定部３２は、筒状を
なすもので、先端開口部に段部３２ａが形成されてい
る。そして、この段部３２ａ上にＸ−Ｙステージ３３が
載置されている。この場合、Ｘ−Ｙステージ３３は、筒
状をなすとともに、周面部に鍔状の突起３３ａを有した
もので、この突起３３ａがＸ−Ｙステージ固定部３２の
段部３２ａ上に載置され、ＸＹ方向の移動を可能にして
いる。
【００２３】Ｘ−Ｙステージ固定部３２の側面には、ス
テージ押し付けバネ３４とステージ操作棒３５が設けら
れていて、ツマミ３５ａの回転操作によりステージ操作
棒３５をＸ−Ｙステージ３３側面に押圧させることで、
ステージ押し付けバネ３４の押し付け力に抗してＸ−Ｙ
ステージ３３を移動可能にしている。
テージ押し付けバネ３４とステージ操作棒３５が設けら
れていて、ツマミ３５ａの回転操作によりステージ操作
棒３５をＸ−Ｙステージ３３側面に押圧させることで、
ステージ押し付けバネ３４の押し付け力に抗してＸ−Ｙ
ステージ３３を移動可能にしている。
【００２４】この場合、図示では、ステージ押し付けバ
ネ３４とステージ操作棒３５は、１組のみ示している
が、実際は、互いに直交する方向に２組設けられ、それ
ぞれのステージ操作棒３５のツマミ３５ａを回転操作し
てステージ操作棒３５によるＸ−Ｙステージ３３側面の
押圧力を調整することで、Ｘ−Ｙステージ固定部３２の
段部３２ａ上のＸ−Ｙステージ３３を後述のＣＣＤカメ
ラ３７の撮像面と平行のＸ−Ｙ方向に移動調整できるよ
うになっている。
ネ３４とステージ操作棒３５は、１組のみ示している
が、実際は、互いに直交する方向に２組設けられ、それ
ぞれのステージ操作棒３５のツマミ３５ａを回転操作し
てステージ操作棒３５によるＸ−Ｙステージ３３側面の
押圧力を調整することで、Ｘ−Ｙステージ固定部３２の
段部３２ａ上のＸ−Ｙステージ３３を後述のＣＣＤカメ
ラ３７の撮像面と平行のＸ−Ｙ方向に移動調整できるよ
うになっている。
【００２５】Ｘ−Ｙステージ３３には、高倍側Ｃマウン
ト３６を介して高倍側撮像手段としてのＣＣＤカメラ３
７が支持されている。このＣＣＤカメラ３７には、例え
ば、１／３ｉｎ、６４０×４８０の画素数のＣＣＤが用
いられる。また、ＣＣＤカメラ３７の撮像画像は、図示
しないモニタに表示される。この場合、モニタは、上述
したＣＣＤカメラ２７の撮像画像を表示するモニタと別
のものが用いられる。なお、ここでは、ＣＣＤカメラ２
７の撮像画像を表示するモニタとＣＣＤカメラ３７の撮
像画像を表示するモニタとが別のものを用いる旨の記載
をしているが、一台のモニタの同一画面上にそれぞれの
撮像画像を表示するようにしてもよい。
ト３６を介して高倍側撮像手段としてのＣＣＤカメラ３
７が支持されている。このＣＣＤカメラ３７には、例え
ば、１／３ｉｎ、６４０×４８０の画素数のＣＣＤが用
いられる。また、ＣＣＤカメラ３７の撮像画像は、図示
しないモニタに表示される。この場合、モニタは、上述
したＣＣＤカメラ２７の撮像画像を表示するモニタと別
のものが用いられる。なお、ここでは、ＣＣＤカメラ２
７の撮像画像を表示するモニタとＣＣＤカメラ３７の撮
像画像を表示するモニタとが別のものを用いる旨の記載
をしているが、一台のモニタの同一画面上にそれぞれの
撮像画像を表示するようにしてもよい。
【００２６】ＣＣＤカメラ３７は、Ｘ−Ｙステージ固定
部３２とともに光軸を中心に回転可能になっており、観
察像に対する撮像面の方向を調整できるようになってい
る。
部３２とともに光軸を中心に回転可能になっており、観
察像に対する撮像面の方向を調整できるようになってい
る。
【００２７】なお、３８は、Ｘ−Ｙステージ固定部３２
の回転止め用の固定ネジ部である。
の回転止め用の固定ネジ部である。
【００２８】このような構成において、いま、光ファイ
バ１５の出射端１５ａから光が発せられると、この光
は、投光レンズ１３を介してハーフミラー１２に入射
し、このハーフミラー１２で反射され、対物レンズ１７
を透過して標本１８に照射される。また、標本１８より
反射された観察光は、対物レンズ１７を透過し、ハーフ
ミラー１２に入射し、このハーフミラー１２を透過し、
さらに倍率１倍の結像レンズ１９を透過してプリズム２
２に入射され、ここで、透過方向ａと偏向方向ｂの２方
向に分割される。
バ１５の出射端１５ａから光が発せられると、この光
は、投光レンズ１３を介してハーフミラー１２に入射
し、このハーフミラー１２で反射され、対物レンズ１７
を透過して標本１８に照射される。また、標本１８より
反射された観察光は、対物レンズ１７を透過し、ハーフ
ミラー１２に入射し、このハーフミラー１２を透過し、
さらに倍率１倍の結像レンズ１９を透過してプリズム２
２に入射され、ここで、透過方向ａと偏向方向ｂの２方
向に分割される。
【００２９】このうちの偏向方向ｂに分割された光束
は、低倍側鏡筒２３の中空部を通り、倍率０．５倍の縮
小レンズ２５を透過して低倍側のＣＣＤカメラ２７の撮
像面に結像される。
は、低倍側鏡筒２３の中空部を通り、倍率０．５倍の縮
小レンズ２５を透過して低倍側のＣＣＤカメラ２７の撮
像面に結像される。
【００３０】この状態で、図示しないＸ−Ｙステージを
操作して標本１８を移動させ、図２に示すように、低倍
観察視野Ａの中心Ａ０に標本１８の観察したい部位全体
が位置するように調整するとともに、ＣＣＤカメラ２７
をレンズ支持枠２４とともに回転させて撮像面２７ａの
方向を調整し、標本１８の観察したい部位全体が撮像面
２７ａ内に収まるようにする。
操作して標本１８を移動させ、図２に示すように、低倍
観察視野Ａの中心Ａ０に標本１８の観察したい部位全体
が位置するように調整するとともに、ＣＣＤカメラ２７
をレンズ支持枠２４とともに回転させて撮像面２７ａの
方向を調整し、標本１８の観察したい部位全体が撮像面
２７ａ内に収まるようにする。
【００３１】一方、透過方向ａに分割された光束は、高
倍側鏡筒２９、焦準用筒体３０、Ｘ−Ｙステージ固定部
３２およびＸ−Ｙステージ３３の中空部を通って高倍側
のＣＣＤカメラ３７の撮像面に結像される。
倍側鏡筒２９、焦準用筒体３０、Ｘ−Ｙステージ固定部
３２およびＸ−Ｙステージ３３の中空部を通って高倍側
のＣＣＤカメラ３７の撮像面に結像される。
【００３２】ここで、図２に示す標本１８の観察したい
部位全体のうち、特定部位を注目部位１８ａとして拡大
して観察したい場合は、Ｘ−Ｙステージ固定部３２の側
面のツマミ３５ａを回転操作し、ステージ操作棒３５に
よるＸ−Ｙステージ３３側面の押圧力を調整すること
で、Ｘ−Ｙ方向に移動させ、図３に示すように高倍観察
視野Ｂの中心Ｂ０に標本１８上の注目部位１８ａが位置
するように調整するとともに、ＣＣＤカメラ３７をＸ−
Ｙステージ固定部３２とともに回転させて撮像面３７ａ
の方向を調整し、注目部位１８ａが撮像面３７ａ内に収
まるようにする。
部位全体のうち、特定部位を注目部位１８ａとして拡大
して観察したい場合は、Ｘ−Ｙステージ固定部３２の側
面のツマミ３５ａを回転操作し、ステージ操作棒３５に
よるＸ−Ｙステージ３３側面の押圧力を調整すること
で、Ｘ−Ｙ方向に移動させ、図３に示すように高倍観察
視野Ｂの中心Ｂ０に標本１８上の注目部位１８ａが位置
するように調整するとともに、ＣＣＤカメラ３７をＸ−
Ｙステージ固定部３２とともに回転させて撮像面３７ａ
の方向を調整し、注目部位１８ａが撮像面３７ａ内に収
まるようにする。
【００３３】この場合、ＣＣＤカメラ３７の撮像面に対
する焦準調整は、焦準用筒体３０を高倍側鏡筒２９の中
心軸に沿って直線移動させることにより行われている。
する焦準調整は、焦準用筒体３０を高倍側鏡筒２９の中
心軸に沿って直線移動させることにより行われている。
【００３４】従って、このようにすれば高倍側のＣＣＤ
カメラ３７を撮像面と平行に移動可能にしたステージ機
構に取付け、高倍側の観察範囲を低倍側の観察範囲の中
の任意の位置に設定できるようにしたので、ＣＣＤカメ
ラ２７と３７のそれぞれの撮像画像により、標本１８上
の観察したい部位全体の低倍観察像と、この観察したい
部位のうちの注目部位１８ａを拡大した高倍観察像の同
時観察を簡単に行うことができる。これにより、上述し
た、例えば、半導体チップの外観検査において、チップ
全体の観察を行うとともに、チップ外周部に位置される
重ね合わせマークの観察を行うような場合、最初に、低
倍側のＣＣＤカメラ２７によりチップ全体を撮像し、高
倍側のＣＣＤカメラ３７により重ね合わせマークのみを
撮像するように設定しておけば、次から順次供給される
半導体チップに対して低倍側のＣＣＤカメラ２７により
チップ全体の撮像操作をするだけで、高倍側のＣＣＤカ
メラ３７により重ね合わせマークも同時に撮像すること
ができ、この結果、半導体チップなどの被検体の外観検
査において、より少ない操作のみで検査を行うことがで
きるようになるので、作業の手間と時間を大幅に短縮す
ることができ、ひいては被検体の損傷を予防し、生産効
率を飛躍的に向上させることができる。
カメラ３７を撮像面と平行に移動可能にしたステージ機
構に取付け、高倍側の観察範囲を低倍側の観察範囲の中
の任意の位置に設定できるようにしたので、ＣＣＤカメ
ラ２７と３７のそれぞれの撮像画像により、標本１８上
の観察したい部位全体の低倍観察像と、この観察したい
部位のうちの注目部位１８ａを拡大した高倍観察像の同
時観察を簡単に行うことができる。これにより、上述し
た、例えば、半導体チップの外観検査において、チップ
全体の観察を行うとともに、チップ外周部に位置される
重ね合わせマークの観察を行うような場合、最初に、低
倍側のＣＣＤカメラ２７によりチップ全体を撮像し、高
倍側のＣＣＤカメラ３７により重ね合わせマークのみを
撮像するように設定しておけば、次から順次供給される
半導体チップに対して低倍側のＣＣＤカメラ２７により
チップ全体の撮像操作をするだけで、高倍側のＣＣＤカ
メラ３７により重ね合わせマークも同時に撮像すること
ができ、この結果、半導体チップなどの被検体の外観検
査において、より少ない操作のみで検査を行うことがで
きるようになるので、作業の手間と時間を大幅に短縮す
ることができ、ひいては被検体の損傷を予防し、生産効
率を飛躍的に向上させることができる。
【００３５】また、標本１８からの観察光を、結像レン
ズ１９を通してプリズム２２に入射し、ここで透過方向
ａと偏向方向ｂの２方向に分割し、偏向方向ｂに分割さ
れた光は、倍率０．５倍の縮小レンズ２５を通して低倍
の観察倍率に変換するようにしているが、この時、これ
ら透過方向ａと偏向方向ｂのそれぞれの光路において必
要な光量の比は、観察倍率の比の２乗となるので、プリ
ズム２２として、光量分割比が観察倍率の２乗に相当す
るものを選べば、つまり、上述したように観察倍率比
１：２の場合は、求められる観察光の分割比を１：４と
して透過方向ａ：偏向方向ｂ＝８：２に設定することに
より、ＣＣＤカメラ２７およびＣＣＤカメラ３７よりそ
れぞれ撮像される低倍側と高倍側の画像の明るさを均一
にすることができ、これにより見かけ上の解像度を上げ
ることができ、対物レンズの切換えなしで高倍観察を行
うことができるとともに、外観検査における観察精度を
高めることができる。
ズ１９を通してプリズム２２に入射し、ここで透過方向
ａと偏向方向ｂの２方向に分割し、偏向方向ｂに分割さ
れた光は、倍率０．５倍の縮小レンズ２５を通して低倍
の観察倍率に変換するようにしているが、この時、これ
ら透過方向ａと偏向方向ｂのそれぞれの光路において必
要な光量の比は、観察倍率の比の２乗となるので、プリ
ズム２２として、光量分割比が観察倍率の２乗に相当す
るものを選べば、つまり、上述したように観察倍率比
１：２の場合は、求められる観察光の分割比を１：４と
して透過方向ａ：偏向方向ｂ＝８：２に設定することに
より、ＣＣＤカメラ２７およびＣＣＤカメラ３７よりそ
れぞれ撮像される低倍側と高倍側の画像の明るさを均一
にすることができ、これにより見かけ上の解像度を上げ
ることができ、対物レンズの切換えなしで高倍観察を行
うことができるとともに、外観検査における観察精度を
高めることができる。
【００３６】なお、上述した実施の形態では、低倍側の
ＣＣＤカメラ２７と高倍側のＣＣＤカメラ３７にそれぞ
れ用いられるＣＣＤの撮像面の単位面積当たりの画素数
が同じ場合を述べたが、低倍側のＣＣＤカメラ２７に比
べて高倍側のＣＣＤカメラ３７に用いられるＣＣＤの撮
像面の単位面積当たりの画素数の大きなものを採用する
ようにしてもよい。こうすると、高倍側のＣＣＤカメラ
３７で撮像された画像の解像度を高めることができるの
で、偏向方向ｂの光路に配置される中間変倍光学系の縮
小レンズ２５を省略しても、上述したと同様、ＣＣＤカ
メラ２７と３７のそれぞれの撮像画像により、標本１８
上の観察したい部位全体の低倍観察像と注目部位１８ａ
を拡大した高倍観察像を同時に得ることができる。
ＣＣＤカメラ２７と高倍側のＣＣＤカメラ３７にそれぞ
れ用いられるＣＣＤの撮像面の単位面積当たりの画素数
が同じ場合を述べたが、低倍側のＣＣＤカメラ２７に比
べて高倍側のＣＣＤカメラ３７に用いられるＣＣＤの撮
像面の単位面積当たりの画素数の大きなものを採用する
ようにしてもよい。こうすると、高倍側のＣＣＤカメラ
３７で撮像された画像の解像度を高めることができるの
で、偏向方向ｂの光路に配置される中間変倍光学系の縮
小レンズ２５を省略しても、上述したと同様、ＣＣＤカ
メラ２７と３７のそれぞれの撮像画像により、標本１８
上の観察したい部位全体の低倍観察像と注目部位１８ａ
を拡大した高倍観察像を同時に得ることができる。
【００３７】また、上述した実施の形態では、低倍側の
ＣＣＤカメラ２７に用いられるＣＣＤの撮像面の大きさ
は、高倍側のＣＣＤカメラ３７に用いられるＣＣＤの撮
像面より大きな場合を述べたが、これらＣＣＤカメラ２
７、３７のＣＣＤの撮像面の大きさは同じであってもよ
い。
ＣＣＤカメラ２７に用いられるＣＣＤの撮像面の大きさ
は、高倍側のＣＣＤカメラ３７に用いられるＣＣＤの撮
像面より大きな場合を述べたが、これらＣＣＤカメラ２
７、３７のＣＣＤの撮像面の大きさは同じであってもよ
い。
【００３８】さらに、厳密には、各ＣＣＤカメラ２７、
３７に対して観察倍率に応じた分割光量比が設定される
ことが必要であるが、これらＣＣＤカメラ２７、３７
は、一般に広範囲のゲイン調整機能を有することから、
多少の光量差ならば、それぞれのゲイン調整機能により
対応することができるので、プリズム２２による光量分
割比の設定は、それほど厳密でなくともよい。
３７に対して観察倍率に応じた分割光量比が設定される
ことが必要であるが、これらＣＣＤカメラ２７、３７
は、一般に広範囲のゲイン調整機能を有することから、
多少の光量差ならば、それぞれのゲイン調整機能により
対応することができるので、プリズム２２による光量分
割比の設定は、それほど厳密でなくともよい。
【００３９】さらにまた、上述した実施の形態では、Ｘ
−Ｙステージ固定部３２の側面のツマミ３５ａを手動に
より回転操作し、ステージ操作棒３５を介してＸ−Ｙス
テージ３３をＸ−Ｙ方向に移動させるようにしたが、Ｘ
−Ｙステージ３３のＸ−Ｙ方向の移動を自動的に行うよ
うにしてもよい。
−Ｙステージ固定部３２の側面のツマミ３５ａを手動に
より回転操作し、ステージ操作棒３５を介してＸ−Ｙス
テージ３３をＸ−Ｙ方向に移動させるようにしたが、Ｘ
−Ｙステージ３３のＸ−Ｙ方向の移動を自動的に行うよ
うにしてもよい。
【００４０】さらにまた、上述した実施の形態では、Ｘ
−Ｙステージ固定部３２の側面に互いに直交する方向に
２組のステージ押し付けバネ３４とステージ操作棒３５
を設けるようにしたが、焦準用筒体３０を高倍側鏡筒２
９の中心軸に沿って直線移動可能にすると同時に、高倍
側鏡筒２９に対して回転可能に支持させるようにすれ
ば、Ｘ−Ｙステージ固定部３２の側面に１組のステージ
押し付けバネ３４とステージ操作棒３５を設けるだけ
で、焦準用筒体３０の回転量とステージ操作棒３５によ
るＸ−Ｙステージ３３側面の押圧力によりＸ−Ｙステー
ジ３３のＸ−Ｙ方向の移動を行うことができる。
−Ｙステージ固定部３２の側面に互いに直交する方向に
２組のステージ押し付けバネ３４とステージ操作棒３５
を設けるようにしたが、焦準用筒体３０を高倍側鏡筒２
９の中心軸に沿って直線移動可能にすると同時に、高倍
側鏡筒２９に対して回転可能に支持させるようにすれ
ば、Ｘ−Ｙステージ固定部３２の側面に１組のステージ
押し付けバネ３４とステージ操作棒３５を設けるだけ
で、焦準用筒体３０の回転量とステージ操作棒３５によ
るＸ−Ｙステージ３３側面の押圧力によりＸ−Ｙステー
ジ３３のＸ−Ｙ方向の移動を行うことができる。
【００４１】その他、本発明は、上記実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しな
い範囲で種々変形することが可能である。
されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しな
い範囲で種々変形することが可能である。
【００４２】さらに、上記実施の形態には、種々の段階
の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件
における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から
幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようと
する課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄
で述べられている効果が得られる場合には、この構成要
件が削除された構成が発明として抽出できる。
の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件
における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から
幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようと
する課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄
で述べられている効果が得られる場合には、この構成要
件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００４３】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、同時
に異なる倍率での標本観察を簡単に行うことができる顕
微鏡を提供できる。
に異なる倍率での標本観察を簡単に行うことができる顕
微鏡を提供できる。
【図１】本発明の一実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】一実施の形態の低倍側観察像を説明するための
図。
図。
【図３】一実施の形態の高倍側観察像を説明するための
図。
図。
【図４】従来の変倍観察を可能にした顕微鏡の一例の概
略構成を示す図。
略構成を示す図。
１１…顕微鏡本体
１２…ハーフミラー
１３…投光レンズ
１４…レンズ支持枠
１５…光ファイバ
１５ａ…出射端
１６…ファイバ固定部
１７…対物レンズ
１８…標本
１８ａ…注目部位
１９…結像レンズ
２０…レンズ支持枠
２１…光分割鏡筒
２２…プリズム
２３…低倍側鏡筒
２４…レンズ支持枠
２５…縮小レンズ
２６…Ｃマウント
２７…ＣＣＤカメラ
２７ａ…撮像面
２９…高倍側鏡筒
３０…焦準用筒体
２８、３１、３８…ネジ部
３２…Ｘ−Ｙステージ固定部
３２ａ…段部
３３…Ｘ−Ｙステージ
３３ａ…突起
３４…バネ
３５…ステージ操作棒
３５ａ…ツマミ
３６…Ｃマウント
３７…ＣＣＤカメラ
３７ａ…撮像面
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2H052 AD18 AF14 AF21
5C022 AA03 AB61 AC27 AC54 AC77
CA00
Claims (3)
- 【請求項１】 標本の観察光を複数の光路に分割する光
路分割手段と、 前記光路分割手段により分割された光路に配置され、前
記標本の観察部位全体を撮像する低倍側撮像手段と、 前記光路分割手段により分割された他の光路に配置され
た高倍側撮像手段と、 前記高倍側撮像手段を、該高倍側撮像手段の撮像面と平
行な方向に移動可能に支持するとともに、前記高倍側撮
像手段による前記標本の観察部位のうちの特定部位の撮
像を可能にするステージ手段と、を具備し、 前記低倍側撮像手段と高倍側撮像手段のそれぞれの撮像
画像により、前記標本上の低倍観察像と高倍観察像を同
時に観察可能にしたことを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項２】 前記高倍側撮像手段の撮像面の単位面積
当たりの画素数が前記低倍側撮像手段の撮像面の単位面
積当たりの画素数より大きいことを特徴とする請求項１
記載の顕微鏡。 - 【請求項３】 前記光路分割手段は、前記観察光の分割
比が前記低倍観察像および高倍観察像の倍率比の２乗に
設定されることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001327908A JP2003131142A (ja) | 2001-10-25 | 2001-10-25 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001327908A JP2003131142A (ja) | 2001-10-25 | 2001-10-25 | 顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003131142A true JP2003131142A (ja) | 2003-05-08 |
Family
ID=19144062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001327908A Withdrawn JP2003131142A (ja) | 2001-10-25 | 2001-10-25 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003131142A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005098508A2 (de) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Carl Zeiss Ag | Bildaufnahmesystem, bildwiedergabesystem und bildaufnahme/-wiedergabesystem |
| WO2017197217A1 (en) * | 2016-05-12 | 2017-11-16 | Life Technologies Corporation | Systems, methods, and apparatuses for image capture and display |
| CN111505819A (zh) * | 2020-05-21 | 2020-08-07 | 杨星瑶 | 显微仪器和利用数字序列图像进行重复定位与测量的方法 |
-
2001
- 2001-10-25 JP JP2001327908A patent/JP2003131142A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005098508A2 (de) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Carl Zeiss Ag | Bildaufnahmesystem, bildwiedergabesystem und bildaufnahme/-wiedergabesystem |
| WO2005098508A3 (de) * | 2004-04-05 | 2006-02-02 | Zeiss Carl Ag | Bildaufnahmesystem, bildwiedergabesystem und bildaufnahme/-wiedergabesystem |
| WO2017197217A1 (en) * | 2016-05-12 | 2017-11-16 | Life Technologies Corporation | Systems, methods, and apparatuses for image capture and display |
| USD951283S1 (en) | 2016-05-12 | 2022-05-10 | Life Technologies Corporation | Microscope system display screen with graphical user interface |
| US11416997B2 (en) | 2016-05-12 | 2022-08-16 | Life Technologies Corporation | Systems, methods, and apparatuses for image capture and display |
| CN111505819A (zh) * | 2020-05-21 | 2020-08-07 | 杨星瑶 | 显微仪器和利用数字序列图像进行重复定位与测量的方法 |
| CN111505819B (zh) * | 2020-05-21 | 2022-04-05 | 杨星瑶 | 显微仪器和利用数字序列图像进行重复定位与测量的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4948417B2 (ja) | 光学的に強化されたディジタル撮像システム | |
| US11226478B2 (en) | Microscope and method for viewing a specimen using a microscope | |
| JP2017194700A5 (ja) | ||
| JP2017194699A5 (ja) | ||
| JP5863357B2 (ja) | 拡大観察装置、並びに、拡大観察装置の画像表示方法及び検鏡法切換方法 | |
| US6804049B2 (en) | Microscope device and microscope system | |
| US20060167344A1 (en) | Confocal probe and endoscope device | |
| DE102006034906A1 (de) | Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zu seinem Betrieb | |
| US8072586B2 (en) | Arrangement and method for focusing a multiplane image acquisition on a prober | |
| JP2007316258A (ja) | 顕微鏡システム、顕微鏡画像の合成方法、及びプログラム | |
| JP2007024927A (ja) | 顕微鏡画像撮影装置 | |
| US20080158664A1 (en) | Arrangement and method for image acquisition on a prober | |
| JPH10339845A (ja) | モニタ観察型顕微鏡 | |
| JP2010080144A (ja) | 複合型顕微鏡装置及び試料観察方法 | |
| JP2003131142A (ja) | 顕微鏡 | |
| JP4576112B2 (ja) | 共焦点レーザ顕微鏡 | |
| JP2004191183A (ja) | 分析装置 | |
| JPS62130305A (ja) | 画像処理式測定装置 | |
| JP3644997B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH04106853A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| US20220365328A1 (en) | Light sheet microscope having streamlined field of view changes | |
| JP2011009244A (ja) | 観察装置および観察方法、並びに検査装置および検査方法 | |
| JP4632479B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
| JP2016048400A (ja) | 拡大観察装置、及び、拡大観察方法 | |
| JPH05118843A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050104 |