JPS59130054A - 透過結像型電子顕微鏡におけるズ−ムウオブラ - Google Patents
透過結像型電子顕微鏡におけるズ−ムウオブラInfo
- Publication number
- JPS59130054A JPS59130054A JP544583A JP544583A JPS59130054A JP S59130054 A JPS59130054 A JP S59130054A JP 544583 A JP544583 A JP 544583A JP 544583 A JP544583 A JP 544583A JP S59130054 A JPS59130054 A JP S59130054A
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- Japan
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- sample
- zoom
- magnification
- wobbler
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、透過結像型電子顕微鏡にＪ３（プる試料の観
察を容易にするためのズームウＡブラに関する。
察を容易にするためのズームウＡブラに関する。
透過結像型電子顕微鏡においては、試′Ａ′３１を）６
過した電子線が結像レンズ系によって蛍光板上に試料像
を結像する。操作者は先ず、蛍光板上に低倍率の試料像
か結像されるように操作し、広視野の中から観察［ｉ的
とする小ざな部分を決定し、次にこの小ざな部分を高倍
率にして観察する。そのためには、視野移動によつ−Ｃ
目的と′？ｉ−る部分を蛍光板の略中央（成るいは所定
の枠内）にもってぎて倍率拡大づるという操作を繰り返
ざな（プれはならイヱいか、視野移動−の操作に従来多
大の時間と労力を要していた。
過した電子線が結像レンズ系によって蛍光板上に試料像
を結像する。操作者は先ず、蛍光板上に低倍率の試料像
か結像されるように操作し、広視野の中から観察［ｉ的
とする小ざな部分を決定し、次にこの小ざな部分を高倍
率にして観察する。そのためには、視野移動によつ−Ｃ
目的と′？ｉ−る部分を蛍光板の略中央（成るいは所定
の枠内）にもってぎて倍率拡大づるという操作を繰り返
ざな（プれはならイヱいか、視野移動−の操作に従来多
大の時間と労力を要していた。
本ざｔ明は、このようにな点に鑑み−Ｃなされたしので
、蛍光板上の試料の倍率を自動的に拡大する倍率拡大手
段と、該倍率拡大手段の作動時に試ｌｌ′ｊ＋を任意の
方向に移動できる試料移動手段とを備えることにより、
短時間に且つ容易に目的と−ｄる視野を画面中央にもっ
てくることができるズームウＡブラを実現したものであ
る。
、蛍光板上の試料の倍率を自動的に拡大する倍率拡大手
段と、該倍率拡大手段の作動時に試ｌｌ′ｊ＋を任意の
方向に移動できる試料移動手段とを備えることにより、
短時間に且つ容易に目的と−ｄる視野を画面中央にもっ
てくることができるズームウＡブラを実現したものであ
る。
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す電気的構成図である
。図において、１はＶＬ間、２はその先端部に試料（図
示せず）を保持する試料移動４Ｍ横で、電子線の光軸Ｚ
と交差する試料面上の位置は移動機構２に取り付（プら
れたステップモータ３，４によって光軸７に垂直なＸ方
向、Ｙ方向に移動づ−る。
。図において、１はＶＬ間、２はその先端部に試料（図
示せず）を保持する試料移動４Ｍ横で、電子線の光軸Ｚ
と交差する試料面上の位置は移動機構２に取り付（プら
れたステップモータ３，４によって光軸７に垂直なＸ方
向、Ｙ方向に移動づ−る。
試料を透過した電子は結像レンズ５，６．７によって蛍
光板８上に試料像を結像する。蛍光板８上に結像する試
料像の倍率は結像レンズ電源９に制御部Ｅを印加夛る１
８率指定手段１０を操作りることによって手動で変えら
れる。１１はステップモータ３，４へ駆動パルスを供給
するパルス発生器１２．１３と結像レンズ電源９を制御
部る制御部である。該制御部どしては、例えばマイクロ
−＝」ンビュータが用いられる。
光板８上に試料像を結像する。蛍光板８上に結像する試
料像の倍率は結像レンズ電源９に制御部Ｅを印加夛る１
８率指定手段１０を操作りることによって手動で変えら
れる。１１はステップモータ３，４へ駆動パルスを供給
するパルス発生器１２．１３と結像レンズ電源９を制御
部る制御部である。該制御部どしては、例えばマイクロ
−＝」ンビュータが用いられる。
１４はズームウォーブラのＡンオフスイッヂ、１５は最
低培率設定スイッチ、１６はズーム数設定スイッチ、１
７はズーム曲間設定スイッチである。１８は制御部１１
と接続されたジョイステックである。該ジョイステック
１８は、操作性を向上ざぜるため、蛍光板８の近傍に配
置されている（第３図参照）。上記制御部１１は、該ジ
ョイステック１８の倒れ方向と正反対（１８０’逆）の
方向に試料を移動させるための制御イ乙号を、パルス発
生器１２．１３に与えるもので、このジョイステック１
８の倒れ方向と正反対方向に試料を移動させるシーケン
スは、予めプログラムで与えられている。更（こ、この
制御部１１は、スームウｔブラの１８率か高くなるのに
対応して試料移動速１σか低くなるような制御動作を実
行できるようになっている。例えば、倍率を２倍にする
と、試第３１移動速度は１／２になる。このよう−に、
倍率が高くなる稈試２″３１の移動速度を遅くするのは
、イｆ４率が２倍になると、蛍光板８上での移動速度も
２侶になり、蛍光板と３丁での同一移動速度を維持覆る
には、移動速度自体を１／２に落とす必要があるからで
ある。尚、移動速度を落とＪには、ステップモータ３，
４へ与えるパルスの周波数を落とせばよい。
低培率設定スイッチ、１６はズーム数設定スイッチ、１
７はズーム曲間設定スイッチである。１８は制御部１１
と接続されたジョイステックである。該ジョイステック
１８は、操作性を向上ざぜるため、蛍光板８の近傍に配
置されている（第３図参照）。上記制御部１１は、該ジ
ョイステック１８の倒れ方向と正反対（１８０’逆）の
方向に試料を移動させるための制御イ乙号を、パルス発
生器１２．１３に与えるもので、このジョイステック１
８の倒れ方向と正反対方向に試料を移動させるシーケン
スは、予めプログラムで与えられている。更（こ、この
制御部１１は、スームウｔブラの１８率か高くなるのに
対応して試料移動速１σか低くなるような制御動作を実
行できるようになっている。例えば、倍率を２倍にする
と、試第３１移動速度は１／２になる。このよう−に、
倍率が高くなる稈試２″３１の移動速度を遅くするのは
、イｆ４率が２倍になると、蛍光板８上での移動速度も
２侶になり、蛍光板と３丁での同一移動速度を維持覆る
には、移動速度自体を１／２に落とす必要があるからで
ある。尚、移動速度を落とＪには、ステップモータ３，
４へ与えるパルスの周波数を落とせばよい。
このように１１４成されたズームウ４ブラの動作を第２
図及び第３図を用いて説明ηる。
図及び第３図を用いて説明ηる。
第２図は、第１図に示すズームウＡブラの動作説明図で
ある。図の横軸は時間、ＩＩ軸はイ８率を示し、縦軸は
、上にイ１く程高倍率になっている。図においで、Ｚ＋
、Ｚ２・・・・・・は、それぞれズーム１回目、２回
目・・・・・・を示す。Ａ１はス゛−ム開始点、Ｋ１は
最低倍率で、最低倍率設定スイッチ１５でその値が設定
される。Ｋ１としては、例えは１０００倍まで設定され
る。ズーム１回目Ｚｌ中のステップ数はズーム数を示し
、ズーム数設定スイッチ１６でその値が設定される。ズ
ーム数としては、例えば１乃至２０ステツプが設定され
る。又、ステップの幅］−はス゛−ム時間で、ズーム時
間設定スイッチ１７でその値が設定される。ズーム時間
としては、例えば１乃至２０秒が設定される。これら設
定スイッチにより設定された各種情報は、制御部１１に
読込まれる。
ある。図の横軸は時間、ＩＩ軸はイ８率を示し、縦軸は
、上にイ１く程高倍率になっている。図においで、Ｚ＋
、Ｚ２・・・・・・は、それぞれズーム１回目、２回
目・・・・・・を示す。Ａ１はス゛−ム開始点、Ｋ１は
最低倍率で、最低倍率設定スイッチ１５でその値が設定
される。Ｋ１としては、例えは１０００倍まで設定され
る。ズーム１回目Ｚｌ中のステップ数はズーム数を示し
、ズーム数設定スイッチ１６でその値が設定される。ズ
ーム数としては、例えば１乃至２０ステツプが設定され
る。又、ステップの幅］−はス゛−ム時間で、ズーム時
間設定スイッチ１７でその値が設定される。ズーム時間
としては、例えば１乃至２０秒が設定される。これら設
定スイッチにより設定された各種情報は、制御部１１に
読込まれる。
Ａンオフスイッチ１４をオンにすると、制御部１１は、
これをズーム開始信号として受りとり、倍率指定手段１
０の出力と関係なく、ズーム動作を開始する。ジョイス
テック１８を第３図（ａ ＞に示ＪようにＸ′１てで試
料移動をさせないと、ズームウオブラの１８Ｆ８中心（
図面中央）にない試料はイ８率が自動的に増加するにつ
れて、画面上で離心方向に移動する。そこで、第３図（
１〕）に示すようにジョイステック１８を倒り。制御部
１１は、ジョイステック１５の倒れた方向を知り、この
方向と正反対の方向に試料を移動させるべく、その旨の
制御信号をパルス発生器１２．１３に与える。
これをズーム開始信号として受りとり、倍率指定手段１
０の出力と関係なく、ズーム動作を開始する。ジョイス
テック１８を第３図（ａ ＞に示ＪようにＸ′１てで試
料移動をさせないと、ズームウオブラの１８Ｆ８中心（
図面中央）にない試料はイ８率が自動的に増加するにつ
れて、画面上で離心方向に移動する。そこで、第３図（
１〕）に示すようにジョイステック１８を倒り。制御部
１１は、ジョイステック１５の倒れた方向を知り、この
方向と正反対の方向に試料を移動させるべく、その旨の
制御信号をパルス発生器１２．１３に与える。
これを受りだパルス発生器１２．１３は、所定のパルス
出力をステップモータ３．／Ｉに供給し、試渭１移動機
打４２（こＪ：ってｈ（７斗をジョイステック１８の倒
れた方向と正反対方向に移動さ−ける。従って、試お１
（Ｊ、蛍光板８上で第３図〈ｌ））図に示Ｊようにスー
ムウＡブラの倍率中心に向かって移動し、第３図（Ｃ）
に示すように、試お１が１８率中心にくる。尚、制御１
部１１は倍率が高くなるにつれて試オ′４の移動連敗を
近くすべく制御信号のパルス発生器１２．１３に加えて
いるので、倍率が高くなっても、蛍光板８上の上記試料
の移動速１立は一定となっている。
出力をステップモータ３．／Ｉに供給し、試渭１移動機
打４２（こＪ：ってｈ（７斗をジョイステック１８の倒
れた方向と正反対方向に移動さ−ける。従って、試お１
（Ｊ、蛍光板８上で第３図〈ｌ））図に示Ｊようにスー
ムウＡブラの倍率中心に向かって移動し、第３図（Ｃ）
に示すように、試お１が１８率中心にくる。尚、制御１
部１１は倍率が高くなるにつれて試オ′４の移動連敗を
近くすべく制御信号のパルス発生器１２．１３に加えて
いるので、倍率が高くなっても、蛍光板８上の上記試料
の移動速１立は一定となっている。
１）ボのように、このズームウＡブラによれば試料の高
倍率像が、ジョイステック１８を試料移動方向に倒づだ
けで得られるので、高倍率像を実現するための労力と時
間を大幅に短線リ−ることかできる１、又、この実施例
では、ジョイステックを用いると共に、蛍光板８上の試
料の移動速度を一定にしているので、操作が極めて容易
（ある。
倍率像が、ジョイステック１８を試料移動方向に倒づだ
けで得られるので、高倍率像を実現するための労力と時
間を大幅に短線リ−ることかできる１、又、この実施例
では、ジョイステックを用いると共に、蛍光板８上の試
料の移動速度を一定にしているので、操作が極めて容易
（ある。
尚、常に一定倍率でズームするようにしておぎ、第４図
に示り−にように蛍光板８の表面に１ （（ｉ’ｔ ＝
９５ ）の大きさのけかき線りをつくり、試わ１移動の
際に当該枠内に試料をもってくるようにすれば、更に、
拡大画面内に試料を入札るための操作性を向上させるこ
とができる。。
に示り−にように蛍光板８の表面に１ （（ｉ’ｔ ＝
９５ ）の大きさのけかき線りをつくり、試わ１移動の
際に当該枠内に試料をもってくるようにすれば、更に、
拡大画面内に試料を入札るための操作性を向上させるこ
とができる。。
所℃゛、従来の透過結像型電子顕微鏡の蛍光板」二に結
像する試料像は（Ｅ＜率を疫化させると像が回転づる現
象が生じて写真１最影や観察に不便を来たしていたが、
最近結像レンズ系に改良を加えで）（（（回転像の電子
顕微鏡が実用化されている。前述した実施例装置は、こ
のような無回転漁の電子顕微鏡に適用することを前提と
したものであるが、試料像が回転しても、ジョイスディ
ク１８の操作方向と螢光板上にお〔プる視野移動方向の
関係が一定に保たれるように制御部１１て制御Ｊ１１す
れば、従来の結像レンズ系を仙“１えた電子顕微鏡に通
用しても本発明の目的を達成づることかてぎる。
像する試料像は（Ｅ＜率を疫化させると像が回転づる現
象が生じて写真１最影や観察に不便を来たしていたが、
最近結像レンズ系に改良を加えで）（（（回転像の電子
顕微鏡が実用化されている。前述した実施例装置は、こ
のような無回転漁の電子顕微鏡に適用することを前提と
したものであるが、試料像が回転しても、ジョイスディ
ク１８の操作方向と螢光板上にお〔プる視野移動方向の
関係が一定に保たれるように制御部１１て制御Ｊ１１す
れば、従来の結像レンズ系を仙“１えた電子顕微鏡に通
用しても本発明の目的を達成づることかてぎる。
以上、詳細に説明したＪ、うに、本発明によれは、短時
間に且つ容易に目的とする視野を画面中央に移動させら
れるズームウＡブラを実現できる。
間に且つ容易に目的とする視野を画面中央に移動させら
れるズームウＡブラを実現できる。
第１図は本発明の一実施例を示Ｊ電気的（１？Ｊ成図、
第２図及び第３図はその動作説明図、第４図は蛍光板の
（プがき線を示す図である。 １：鏡筒、２：試料移動機構、Ｊ 、４ ’スデツプ七
−夕、５，６，７：結像レンズ、８：蛍光板、９：結像
レンズ電源、１０：倍率指定手段、１１：制御部、１２
．ｉ３：パルス発生器、１７１ニア１ンオフスイツヂ、
１５：最低倍率設定スイッチ、１６：ズーム数設定スイ
ッチ、１７：ズーム時間設定スイッチ、１８：ジョイス
テック。 鋸２図 イ衣キ
第２図及び第３図はその動作説明図、第４図は蛍光板の
（プがき線を示す図である。 １：鏡筒、２：試料移動機構、Ｊ 、４ ’スデツプ七
−夕、５，６，７：結像レンズ、８：蛍光板、９：結像
レンズ電源、１０：倍率指定手段、１１：制御部、１２
．ｉ３：パルス発生器、１７１ニア１ンオフスイツヂ、
１５：最低倍率設定スイッチ、１６：ズーム数設定スイ
ッチ、１７：ズーム時間設定スイッチ、１８：ジョイス
テック。 鋸２図 イ衣キ
Claims (3)
- （１）蛍光板上の試料の倍率を自動的に拡大する倍率拡
大手段と、該倍率拡大手段の作動時に試料を任意の方向
に移動できる試料移動手段とを具備した透過績′像型電
子顕微鏡におけるズームウＡブラ。 - （２）ジョイステックと、該ジョイステックの倒れ方向
に対応した方向に試料を移動させる制御装置とから前記
試料移動手段を構成した特へ′１請」（の範囲第１項記
載の透過結像型電子顕微鏡におりるズームウォブラ。 - （３）倍率が高くなる程試料移動速度が遅くなるように
前記試料移動手段を構成した特許請求の範囲第１項又は
第２項記載の透過結像型電子顕微鏡におけるズームウォ
ブラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP544583A JPS59130054A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 透過結像型電子顕微鏡におけるズ−ムウオブラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP544583A JPS59130054A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 透過結像型電子顕微鏡におけるズ−ムウオブラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59130054A true JPS59130054A (ja) | 1984-07-26 |
Family
ID=11611399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP544583A Pending JPS59130054A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 透過結像型電子顕微鏡におけるズ−ムウオブラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59130054A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61239553A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-24 | Hitachi Ltd | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP544583A patent/JPS59130054A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61239553A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-24 | Hitachi Ltd | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
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