JPH0427908A - 走査型顕微鏡の視野探し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光学式の走査型顕微鏡において、視野探しを行
なうための装置に関するものである。

（従来の技術） 従来より、照明光を微小な光点に収束させ、この光点を
試料上において２次元的に走査させ、その際該試料を透
過した光あるいはそこで反射した光、さらには試料から
生じた蛍光を光検出器で検出して、試料の拡大像を担持
する電気信号を得るようにした光学式走査型顕微鏡が公
知となっている。なお特開昭８２−２１７２１８号公報
には、この走査型顕微鏡の一例が示されている。

従来の光学式走査型顕微鏡においては、上記走査機構と
して、照明光ビームを光偏向器によって２次元的に偏向
させる機構が多く用いられていた。

また、照明光ビームは偏向させないで、試料台の方を２
次元的に移動させて照明光光点の走査を行なうことも考
えられている。さらには、本出願人による特願平！−２
４６９４６号明細書に示されるように、送光光学系と受
光光学系とを共通の移動台に搭載し、この移動台を試料
台に対して移動させることにより、照明光光点の走査を
行なうことも考えられている。

（発明が解決しようとする課題） 上述のように光学系と試料台とを相対的に移動させて照
明光光点の走査を行なう場合は、撮像所要時間短縮化の
ために、光学系あるいは試料台を高速で移動させること
が求められる。そのため、この移動用の駆動源として例
えばピエゾ素子や超音波振動子等を利用することが考え
られる。

ところが、そのような素子は一般に、振幅を大きく取る
ことが難しくなっている。この振幅が大きく取れないと
、上記光点の走査幅を小さく設定せざるを得ず、したが
って、試料の狭い範囲についての顕微鏡像しか得られな
いことになる。

このように、試料の狭い範囲についてしか顕微鏡像を再
生できないと、最終的に観察用画像として再生させる部
分を見つける作業、すなわち視野探しが大変煩わしくな
る。

以上、光学系と試料台とを相対的に移動させる場合につ
いて説明したが、照明光ビームを偏向させる場合におい
ても、対物レンズの収差等のために偏向角を大きく取れ
ないこともあり、そのような場合には、視野探しにおい
て上記と同様の問題が生じる。

本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであり
、視野探しを容易に行なうことができる、走査型顕微鏡
の視野探し装置を提供することを目的とするものである
。

（課題を解決するための手段） 本発明による第１の走査型顕微鏡の視野探し装置は、先
に述べたように試料台に載置された試料上に照明光を走
査させ、この照明光走査を受けた試料の部分からの光を
光電的に検出して試料像を撮像する走査型顕微鏡におい
て、 上記試料の拡大像を結像する非走査型光学顕微鏡と、 試料台を、この非走査型光学顕微鏡の光学系と対向する
モニター位置と、上記走査型顕微鏡の光学系と対向する
撮像位置との間で移動させる試料台移動手段と、 上記モニター位置において試料台を、非走査型光学顕微
鏡の光軸と交わる方向に２次元移動可能に保持する試料
台保持手段と、 上記非走査型光学顕微鏡が結像した試料の拡大像を撮像
する撮像手段と、 この撮像手段が撮像した試料の拡大像を表示する画像表
示手段と、 この画像表示手段による表示画像中の任意点の位置を指
定する入力部を備え、上記試料台移動手段が試料台を上
記モニター位置から撮像位置に移動するとき、上記入力
部により指示された試料上の点が、走査型顕微鏡の光学
系光軸と一致するように、該試料台移動手段の作動を制
御する手段とを設けてなるものである。

また本発明による第２の走査型顕微鏡の視野探し装置は
、上記第１の装置におけるのと同様の非走査型光学顕微
鏡と、試料台移動手段と、試料台保持手段と、撮像手段
と、画像表示手段とに加えて、 上記試料台移動手段が試料台を前記モニター位置から撮
像位置に移動するとき、非走査型光学顕微鏡の光軸と一
致した試料上の点が、走査型顕微鏡の光学系光軸と一致
するように、該試料台移動手段の作動を規定する手段を
設けてなるものである。

（作　　用） 上記第１の視野探し装置においては、試料台移動手段に
より試料台をモニター位置に設定して、該試料台上の試
料の拡大像を画像表示手段に表示させることができる。

そこでこのモニター画像を観察しながら試料台を非走査
型光学顕微鏡の光軸と交わる方向に適宜移動させれば（
この移動は手動で行なってもよいし、あるいは駆動手段
により行なってもよい）、走査型顕微鏡により観察した
い試料の部分を探し出すことができる。そこで、表示画
像中におけるこの試料部分の位置を前記入力部によって
入力し、試料台を走査型顕微鏡による撮像位置に移動さ
せれば、試料台上の試料の観察したい部分は、走査型顕
微鏡の光軸と交わる位置に来ることになる。そこで走査
型顕微鏡により試料像を撮像すれば、その像は、上記の
観察したい部分が中央に位置したものとなる。

一方上記第２の視野探し装置においても、上記と同様に
して試料の拡大像を画像表示手段に表示させ、また試料
台を非走査型光学顕微鏡の光軸と交わる方向に適宜移動
させれば、走査型顕微鏡により観察したい試・料の部分
を見つけることができ、また、その部分を表示画面中央
に、つまり非走査型光学顕微鏡の光軸と交わる位置に配
することができる。そして次に、この状態で試料台を走
査型顕微鏡による撮像位置に移動させれば、試料台上の
試料の観察したい部分は、走査型顕微鏡の光軸と交わる
位置に来ることになる。そこで走査型顕微鏡により試料
像を撮像すれば、その像は、上記の観察したい部分が中
央に位置したものとなる。

（実　施　例） 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図は、本発明の第１実施例による視野探し装置を備
えた走査型顕微鏡を示すものである。この走査型顕微鏡
は、−例として反射型の共焦点走査型顕微鏡である。ま
ず、この共焦点走査型顕微鏡の基本構成について、その
要部を拡大して示す第２図も参照して説明する。

図示されるようにレーザ１０からは、照明光としてのレ
ーザビーム１１が射出される。この照明光１１はビーム
スプリッタ１２を透過し、屈折率分布型レンズ１３で集
光されてシングルモード光ファイバー１４内に入射せし
められる。

この光ファイバー１４の一端は移動台１５に固定されて
おり、該光フアイバー１４内を伝搬した照明光１１はこ
の一端から出射する。この際光ファイバー１４の一端は
、点光源状に照明光１１を発することになる。移動台１
５には、集光レンズ１Ｂおよび対物レンズ１７が、互い
に光軸を一致させて固定されている。照明光１１は集光
レンズ１６によって平行光とされ、次に対物レンズ１７
によって集光されて、試料台２２に載置された試料２３
上で微小な光点Ｐに結像する。

試料２３で反射した反射光１１′　の光束は、対物レン
ズ１７によって平行光とされ、次に集光レンズ１６によ
って集光されて、シングルモード光ファイバー１４の一
端から該光フアイバー１４内に入射せしめられる。光フ
アイバー１４内を伝搬した反射光１１’はその他端から
出射し、屈折率分布型レンズ１３によって平行光とされ
る。

この反射光１１°はビームスプリッタ１２で反射し、ピ
ンホール板２５を通して光検出器２６によって検出され
る。この光検出器２６としては例えばフォトマルチプラ
イヤ−（光電子増倍管）等が用いられ、該光検出器２６
からは、試料２３の明るさを示す信号Ｓが出力される。

次に、照明光１１の光点Ｐの２次元走査について説明す
る。第２図に詳しく示されるように、移動台１５は架台
３２に、主走査用積層ピエゾ素子３３を介して保持され
ている。積層ピエゾ素子３３はピエゾ素子駆動回路３４
から駆動電力を受けて、移動台１５を矢印Ｘ方向に高速
で往復移動させる。この往復移動の振動数は、例えば１
０ｋ　Ｈｚとされる。その場合、主走査幅を１００μｍ
とすると、主走査速度は、 １０Ｘ１０３　　ＸＬＯＯＸＩＯ°６Ｘ２−２ｍ／ｓと
なる。なお、光ファイバー１４は屈曲可能であるので、
照明光１１、反射光１１′　を伝搬させつつ、移動台１
５の振動を許容する。

一方試料台２２は、３次元移動ステージ３５に固定され
ている。この３次元移動ステージ３５は、上記主走査方
向Ｘに往復移動可能なＸ移動ステージ３５Ｘと、矢印Ｙ
方向に往復移動可能なＹ移動ステージ３５Ｙと、矢印Ｚ
方向に往復移動可能なＺ移動ステージ３５Ｚとから構成
されている。ｉ上位のＹ移動ステージ３５Ｙは、例えば
パルスモータとマイクロメータ等からなり、矢印Ｙ方向
に往復移動される。それにより試料台２２は移動台１５
に対して相対移動され、照明光光点Ｐが試料２３上を、
前記主走査方向Ｘと直交するＹ方向に副走査する。なお
この副走査の所要時間は例えば１／２０秒とされ、その
場合、副走査幅を１００μｍとすると、副走査速度は、 ２０ｘ　１００　　ｘ１０’　−０，００２ｍ／　５−
２ｍｍ／ｓ と、前記主走査速度よりも十分に低くなる。この程度の
副走査速度であれば、試料台２２を移動させても、試料
２３が飛んでしまうことを防止できる。

以上のようにして光点Ｐが試料２３上を２次元的に走査
することにより、該試料２３の２次元像を担持する連続
的な信号Ｓが得られる。この信号Ｓは、信号処理器３６
において例えば所定周期毎にサンプリングする等により
、画素分割された信号Ｓｄとされる。この信号Ｓｄは、
−例としてＣＲＴからなる画像表示手段３７に送られ、
そこにおいて、この信号Ｓｄが担う試料２３の顕微鏡像
が表示される。

後述するように、本例においてこの画像表示手段３７は
、視野探しのだめの画像表示手段を兼ねている。

なお上記サンプリングの周期は、ピエゾ素子駆動回路３
４から入力される同期信号Ｓ２に基づいて規定される。

そしてこのピエゾ素子駆動回路３４および信号処ｆｆ器
３Ｇの作動は、図示しない制御部により制御され、また
光検出器２６のゲインもこの制御部により最適値に設定
される。

またＹ移動ステージ３５Ｙは、Ｚ移動ステージ３５Ｚに
より、主、副走査方向と直交する矢印Ｚ方向（すなわち
光学系の光軸方向）に移動される。こうしてＹ移動ステ
ージ３５ＹをＺ方向に所定距離移動させる毎に前記光点
Ｐの２次元走査を行なえば、合焦点面の情報のみが光検
出器２Ｇによって検出される。そこで、この光検出器２
６の出力Ｓをフレームメモリに取り込むことにより、試
料２３をＺ方向に移動させた範囲内で、全ての面に焦点
が合った画像を担う信号を得ることが可能となる。

次に、視野探し装置について説明する。移動台Ｉ５の側
方には、そこに保持された光学系と光軸を平行に揃えた
状態で、一般的な非走査型光学顕微鏡４０が配設されて
いる。そしてこの非走査型光学顕微鏡４０の上部には、
それにより結像された顕微鏡像を撮像するテレビカメラ
４１が取り付けられている。このテレビカメラ４１とし
ては、例えばＣＣＤ撮像素子を備えたものが好適に用い
られる。

走査型顕微鏡の架台３２と非走査型光学顕微鏡４０は、
共通の架台４２上に保持されている。そしてこの架台４
２上には、図中左右方向に移動する試料台搬送テーブル
４４が配設されている。この試料台搬送テーブル４４は
、搬送テーブルコントローラ５２により作動制御される
。前述した３次元移動ステージ３５は、この試料台搬送
テーブル４４の上に保持されている。したがって試料台
搬送テーブル４４が作動することより試料台２２は、移
動台１５の光学系に対向する撮像位置（第１図の実線表
示位置）と、非走査型光学顕微鏡４０の光学系に対向す
るモニター位置（同じく１点鎖線表示位置）との間で移
動されうる。

また架台３２と架台４２との間には、３次元移動ステー
ジ４５が介設されている。この３次元移動ステージ４５
は前述した３次元移動ステージ３５と同様、主走査方向
に往復移動可能なＸ移動ステージ４５Ｘと、副走査方向
に往復移動可能なＹ移動ステージ４５Ｙと、光軸方向に
往復移動可能なＺ移動ステージ４５Ｚとから構成されて
いる。両３次元移動ステージ３５．４５は、ステージコ
ントローラ４６により駆動制御され、そしてこのステー
ジコントローラ４６は、モニター位置指示回路４７から
の指示に従って作動する。モニター位置指示回路４７に
は、例えばマウスやタッチパネル等、画像表示手段３７
上の任意点の位置を入力する位置入力部４８が接続され
ている。またこのモニター位置指示回路４７には、非走
査型光学顕微鏡４０の対物レンズ４３の切換機構を操作
して、この顕微鏡４０の倍率を設定する倍率指示器４９
も接続されている。

なおステージコントローラ４Ｇには、ステージ原点補正
ユニット５０．５１が接続され、それらにより各々３次
元移動ステージ３５．４５の原点が所定位置に合わせら
れる。

次に視野探しについて、第３図も参照して説明する。視
野探しを行なうに当たり、３次元移動ステージ４５は原
点位置に設定される。この状態においては、第３図に平
面形状を示すように、移動台１５の両レンズ１６．１７
の光軸ｏ１　と非走査型光学顕微鏡４０の光軸０２とは
、副走査方向Ｙには一致し、主走査方向Ｘには距離ｘ□
だけ離れている。

次いで試料台搬送テーブル４４により、３次元移動ステ
ージ３５が（すなわち試料台２２が）非走査型光学顕微
鏡４０側に距離Ｘ。搬送される。それにより試料台２２
は、前述のモニター位置に設定される。

この状態になると、試料台２２上の試料２３を非走査型
光学顕微鏡４０で拡大し、その拡大像をテレビカメラ４
１で撮像して、画像表示手段３７に表示することができ
る。この画像表示手段３７による試料像の表示範囲を、
第３図に矩形Ｍで示す。なお表示画像のフォーカス調整
は、ステージコントローラ４Ｂをマニュアル操作する等
によりＺ移動テーブル３５Ｚを駆動させ、試料台２２を
Ｚ方向に移動させて行なうことができる。

装置操作者は、こうして画像表示手段３７に表示された
顕微鏡像を観察しながら位置入力部４８を操作して、表
示画面をスクロールさせることができる。すなわち、位
置入力部４８が前述のマウス等からなる場合、画面に表
示されるカーソル３７Ｃ（第３図参照）を例えば画面右
端に合わせ続けるようにマウス等を操作すれば、Ｘ移動
テーブル３５Ｘが第１図中右方に移動し続け、表示画像
は左方にスクロールして、試料２３のより左側（表示画
面においては右側）の部分が表示画面に現われるように
なる。表示画面の上下方向へのスクロールは、Ｙ移動テ
ーブル３５Ｙの作動によってなされる。

以上の操作を適宜行えば、走査型顕微鏡により観察した
い試料２３の箇所（第３図には、その中心位置Ｎを示す
）が、表示画面中に存在するようになる。このときの試
料台２２の位置を、第３図において破線で示す。なおこ
の際、試料台２２の中心Ｃと非走査型光学顕微鏡４０の
光軸０２とが主走査方向にＸｉｓ副走査方向にｙｌ離れ
、また試料２３の上記箇所Ｎと光軸０２とが主走査方向
にｘ２、副走査方向にｙ２離れているとする。装置操作
者は、表示画面中の上記箇所Ｎを、位置入力部４８を用
いて指定する。この指定位置は、例えば表示画面中央Ｗ
を原点とする座標（Ｘｚ　、　Ｙ２　）で規定される（
第１図参照）。

モニター位置指示回路４７は、こうして指定された座標
（Ｘ２　、　Ｙ２　）を、倍率指定器４９から入力され
る信号Ｓ１が示す非走査型光学顕微鏡４０の倍率や、予
め与えられているテレビカメラ４１のレンズ焦点距離等
に基づいて、光軸０２を原点とする試料２３上の座標（
ｘ２．ｙｚ）に変換する。

観察したい箇所Ｎの入力が済むと、試料台搬送テーブル
４４が前述の場合とは反対方向に駆動され、試料台２２
は第１．３図中左方に距離ＸＯ戻されて、前述の撮像位
置（第３図の１点鎖線表示位置）に設定される。このと
き試料台２２の中心Ｃは、光軸０１の当初の位置に対し
て、主走査方向にＸｌ、副走査方向にｙｌずれることに
なる。

またそれとともにステージコントローラ４Ｂは、モニタ
ー位置指示回路４７から入力される前記座標（Ｘｚ、ｙ
ｚ）の情報に従って、３次元移動ステージ４５のＸ移動
テーブル４５ＸおよびＹ移動テーブル４５Ｙを駆動させ
、移動台１５を主走査方向にｘ２、副走査方向にｙ２移
動させる。それにより走査型顕微鏡の光軸０１は、第３
図に矢印Ｆで示すようにＸ、Ｙ方向にそれぞれＸｚ、Ｙ
ｚ移動し、試料２３上の箇所Ｎと一致するようになる。

この状態において、前述のようにして照明光光点Ｐの走
査を行ない、試料２３の顕微鏡像を撮像すれば、その像
は、試料２３の前記箇所Ｎが中央部分に位置するものと
なる。

なお、試料台２２をモニター位置から撮像位置に戻した
際に、３次元移動ステージ３５のＸ移動テーブル３５Ｘ
およびＹ移動テーブル３５Ｙを駆動させて、試料台２２
を主走査方向に−ｘ２、副走査方向に−ｙ２移動させる
ようにすれば、３次元移動ステージ４５を省くことがで
きる。

また、３次元移動ステージ３５のＸ移動テーブル３５Ｘ
として、移動ストロークが比較的長いものを用いること
により、それを試料台搬送手段として兼用することがで
きる。そうすれば、試料台搬送テーブル４４は不要とな
る。

また３次元移動ステージ３５は、ただ単に試料台２２を
３次元方向に移動可能に保持し、手動操作によりこの移
動を果たす機構に置き換えられてもよい。

次に、第４図を参照して本発明の第２実施例について説
明する。なおこの第４図において、前記第１図中の要素
と同等の要素には同番号を付し、それらについての説明
は特に必要の無い限り省略する（以下、同様）。この装
置において、ステージコントローラ４６には位置入力部
６０が接続され、この位置入力部６０からの入力に応じ
て３次元移動ステージ３５が駆動され、試料台２２の主
、副走査方向位置が任意に設定されるようになっている
。

この装置により視野探しを行なう場合、試料台２２をモ
ニター位置に設定してから、上記のようにして試料台２
２を移動させれば、走査型顕微鏡により観察したい試料
２３の箇所Ｎを、画像表示手段３７に表示させることが
できる。そしてこの場合上記の箇所Ｎは、表示画像を観
察しながら位置入力部６０を操作することにより、表示
画面の中央に位置するようにされる。つまり前記第３図
を参照すれば、必ずＸ２　””Ｙ２　””０とされる。

こうした後に試料台搬送テーブル４４を作動させて、試
料台２２を第４図中左方に距ＭＸｏだけ移動させれば、
上記試料２３の箇所Ｎは、必す走査型顕微鏡の光軸０１
と交わる位置に来ることになる。

なお試料台搬送テーブル４４は、搬送テーブルコントロ
ーラ５２により、テーブル駆動源であるパルスモータの
回転量が常に所定値に規定される等により、右方移動の
際もまた左方移動の際も、移動距離は必ず上記ｘ（、と
される。すなわち本実施例では搬送テーブルコントロー
ラ５２が、試料台２２が前記モニター位置から撮像位置
に移動するとき、非走査型光学顕微鏡４０の光軸０２と
一致した試料上の点が、走査型顕微鏡の光学系光軸０１
と一致するように、該搬送テーブル４４の作動を規定す
る手段を構成している。

なお、以上説明した第１および第２実施例の視野探し装
置は、第５図に示すような透過型の走査゛型顕微鏡に対
しても同様に適用可能である。この第５図の走査型顕微
鏡において、集光レンズ１６および対物レンズ１７から
なる送光光学系１８から射出された照明光１］は、試料
２３を透過し、試料台２２に形成された開口２２ａを通
過して、受光光学系２１に入射する。

受光光学系２１は、対物レンズ１９および集光レンズ２
０からなり、試料２３を透過した透過光１１”を集光し
て、光フアイバー２４内に入射させる。この光フアイバ
ー２４内を伝搬した透過光１１“は、該光ファイバー２
４の先端から出射し、そこに取り付けられた屈折率分布
型レンズ２７により平行光とされ、ピンホール板２５を
通して光検出器２６によって検出される。

また以上説明した２つの実施例においては、照明光１１
の副走査を３次元移動ステージ３５によって行なうよう
にしているが、この副走査を移動台１５の往復移動によ
って行なうことも勿論可能である。

また本発明は、ピエゾ素子によって光学系と試料台とを
相対移動させる走査型顕微鏡に限らず、その他超音波振
動子や音叉等によって上記相対移動を果たすように構成
した走査型顕微鏡に対しても適用可能である。

さらに本発明は、照明光光点Ｐの主、副走査を、照明光
ビームを偏向させて行なうように構成した走査型顕微鏡
に対しても適用可能である。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明の視野探し装置において
は、試料台を走査型顕微鏡と非走査型光学顕微鏡との間
で移動させ、非走査型光学顕微鏡による試料像をモニタ
ーしながら視野探しを行なえる構成としたので、撮像範
囲の狭い走査型顕微鏡により視野探しを行なう場合に比
べれば、著しく広範囲の試料像を観察しながら視野探し
を行なうことができる。したがって本装置によれば、従
来面倒となっていた視野探しを、容易かつ迅速に実行可
能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１実施例による視野探し装置を備
えた走査型顕微鏡を示す概略側面図、第２図は、上記走
査型顕微鏡の一部を示す側面図、 第３図は、本発明装置による視野探し操作を説明する説
明図、 第４図は、本発明の第２実施例による視野探し装置を備
えた走査型顕微鏡を示す概略側面図、第５図は、本発明
の視野探し装置が適用され得る走査型顕微鏡の他の例を
示す側面図である。 ｌＯ・・・レーザ　　　　　　１１・・・照明光１１゛
　・・・反射光　　　　　　１１”・・・透過光１４．
２４・・・光ファイバー　　１５・・・移動台１６．２
０・・・集光レンズ　　１７．１９．４３・・・対物レ
ンズ２２・・・試料台　　　　　　　２３・・・試料２
５・・・ピンホール板　　　　２６・・・光検出器３３
・・・積層ピエゾ素子　　３４・・・ピエゾ素子駆動回
路３５．４５・・・３次元移動ステージ ３６・・・信号処理器　　　　　３７・・・画像表示手
段４０・・・非走査型光学顕微ｍ　　４１・・・テレビ
カメラ４４・・・試料台搬送テーブル ４６・・・ステージコントローラ ４７・・・モニター位置指示回路　４８．６０・・・位
置入力部４９・・・倍率指示器 ５０．５１・・・ステージ原点補正ユニット５２・・・
搬送テーブルコントローラ 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）試料台に載置された試料上に照明光を走査させ、
   この照明光走査を受けた試料の部分からの光を光電的に
   検出して試料像を撮像する走査型顕微鏡において、 前記試料の拡大像を結像する非走査型光学顕微鏡と、 前記試料台を、この非走査型光学顕微鏡の光学系と対向
   するモニター位置と、前記走査型顕微鏡の光学系と対向
   する撮像位置との間で移動させる試料台移動手段と、 前記モニター位置において試料台を、非走査型光学顕微
   鏡の光軸と交わる方向に２次元移動可能に保持する試料
   台保持手段と、 前記非走査型光学顕微鏡が結像した試料の拡大像を撮像
   する撮像手段と、 この撮像手段が撮像した試料の拡大像を表示する画像表
   示手段と、 この画像表示手段による表示画像中の任意点の位置を指
   定する入力部を備え、前記試料台移動手段が試料台を前
   記モニター位置から撮像位置に移動するとき、前記入力
   部により指示された試料上の点が、前記走査型顕微鏡の
   光学系光軸と一致するように、該試料台移動手段の作動
   を制御する手段とが設けられてなる走査型顕微鏡の視野
   探し装置。
2. （２）試料台に載置された試料上に照明光を走査させ、
   この照明光走査を受けた試料の部分からの光を光電的に
   検出して試料像を撮像する走査型顕微鏡において、 前記試料の拡大像を結像する非走査型光学顕微鏡と、 前記試料台を、この非走査型光学顕微鏡の光学系と対向
   するモニター位置と、前記走査型顕微鏡の光学系と対向
   する撮像位置との間で移動させる試料台移動手段と、 前記モニター位置において試料台を、非走査型光学顕微
   鏡の光軸と交わる方向に２次元移動可能に保持する試料
   台保持手段と、 前記非走査型光学顕微鏡が結像した試料の拡大像を撮像
   する撮像手段と、 この撮像手段が撮像した試料の拡大像を表示する画像表
   示手段と、 前記試料台移動手段が試料台を前記モニター位置から撮
   像位置に移動するとき、非走査型光学顕微鏡の光軸と一
   致した試料上の点が、前記走査型顕微鏡の光学系光軸と
   一致するように、該試料台移動手段の作動を規定する手
   段とが設けられてなる走査型顕微鏡の視野探し装置。