JPH10260359A

JPH10260359A - 像回転装置

Info

Publication number: JPH10260359A
Application number: JP6659497A
Authority: JP
Inventors: Nobuhiro Kita; 信浩北
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1997-03-19
Filing date: 1997-03-19
Publication date: 1998-09-29

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、像中心を移動させることなく像回転
を可能にした像回転装置を提供する。【解決手段】光学顕微鏡の像観察光学系内に像回転プリ
ズム１８１を回転可能に配置し、この像回転プリズム１
８１をステッピングモータ１８２により回転させ、光学
像を光軸と垂直な面内で回転させるような場合、像回転
プリズム１８１の回転量に応じて、予めメモリ２４に記
憶された像回転プリズム１８１の回転量に対する光線の
振れ回り量を読み出し、この光線の振れ回り量を相殺す
るように２軸傾斜ステージ２５上の反射ミラー１９の振
れ回りを制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学像を光軸と垂
直な面内で回転させる像回転装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体の製造工程において、回路
パターンなどの線幅を測定するものとして、微小線幅測
定装置が用いられている。かかる微小線幅測定装置は、
被測定物の像を拡大する光学顕微鏡、拡大された被測定
物の像を撮像するＴＶカメラなどの画像検出器、この画
像検出器より取り込んだ画像情報を蓄積・演算処理して
像領域における寸法測定値を出力する演算部より構成し
ている。

【０００３】ところで、このような微小線幅測定装置で
は、ＴＶカメラなどの画像検出器より取り込んだ被測定
物の画像情報を用いることから、微小線幅を測定する際
に、精度の高い測定を行うには、測定対象パターンの幅
方向を画像検出器の走査線方向と一致させる必要があ
る。

【０００４】そこで、従来、光学顕微鏡に、光学像を光
軸と垂直な面内で回転させる像回転プリズムを有する像
回転装置を組み合わせ、観察像を任意の角度回転できる
ようにして、測定対象パターンの幅方向を画像検出器の
走査線方向と一致させ、測定結果を真値に近付ける工夫
がなされている。

【０００５】図３（ａ）（ｂ）は、このような像回転装
置に用いられる像回転プリズムの形状の異なる例を示
す。このような像回転プリズム４は、奇数回の反転面を
持ち、入射光線１の光軸と出射光線２の光軸が一致する
軸（以下、プリズム光軸と呼ぶ）３がある。

【０００６】そして、このような像回転プリズム４をプ
リズム光軸３を中心にθ回転させると、像回転プリズム
４を透過した像は、プリズム光軸３を中心に２θ回転す
る。従って、回転機構の回転軸、入射光線１の光軸およ
びプリズム光軸３の３者を一致させて配置することによ
って光学像を入射光線１の光軸を中心に任意の角度回転
させることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
像回転装置を用いる場合、像回転装置を構成する像回転
プリズムの各面の加工精度により、プリズムの基準面
（＝反射面４ａ）に対してプリズム光軸３が傾いていた
り、プリズム面のクサビ誤差などにより入射光線１の光
軸と出射光線２の光軸か一致しない（すなわちプリズム
光軸３が存在しない）ことがある。

【０００８】また、回転機構の部品の加工精度や組み立
て精度により、回転機構の回転軸、入射光線１の光軸お
よびプリズム光軸３の３者のいずれかが一致しない場合
がある。

【０００９】このような誤差がある場合、当然、像回転
装置から出射する光線は、光軸とは一致せず、ある角度
差δθを持ち、しかも像回転装置での像回転にともなっ
て、量と向きが変化し、いわゆる光線の振れ回りが発生
することになる。

【００１０】この結果、画像検出器に取り込まれる画像
は、光軸中心に回転しないので、像の回転とともに、像
位置がずれてしまう原因となり、上述した微小線幅の測
定においては、この時の位置ずれによって、測定対象が
測定エリアから外れてしまい、測定不能に陥るという問
題があった。また、微小線幅の測定に限らず、像回転装
置を有する光学系においても、像中心のずれにより観察
像の周辺部で欠落部が生じるという問題もあった。

【００１１】そこで、像回転プリズムの各面の加工精度
や、回転機構の部品の加工精度や組み立て精度を飛躍的
に高めることが考えられるが、これでは製造コストが上
昇してしまい実用的でなくなる。本発明は、上記事情に
鑑みてなされたもので、像中心を移動させることなく像
回転を可能にした像回転装置を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
像観察光学系内に回転可能に配置され、光学像を光軸と
垂直な面内で回転させる像回転光学手段と、この像回転
光学手段の回転量に対する該像回転光学手段の出射光線
の振れ量を予め記憶した記憶手段と、前記像回転光学手
段の入射光または出射光のいずれかを反射させるととも
に、その反射角度を変化可能とした光反射手段と、前記
像回転光学手段の回転量に応じて前記記憶手段より得ら
れた該像回転光学手段の出射光線の振れ量を相殺するよ
うに前記光反射手段の反射角を制御する制御手段とによ
り構成している。

【００１３】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、光反射手段は、反射ミラーを２軸傾斜ステージに
設けたもので、前記２軸傾斜ステージの２軸方向の回動
により前記反射ミラーの反射角を制御可能にしている。

【００１４】請求項３記載の発明は、請求項１記載にお
いて、光反射手段は、光偏向部材からなり、該光偏向部
材の偏向中心角を制御可能にしている。この結果、請求
項１記載の発明によれば、像回転光学手段の加工、組み
立てなどの精度などに原因する像回転光学手段の回転に
ともなう光線の振れ回りを相殺して像の中心を移動させ
ることなく回転させることができる。

【００１５】請求項２記載の発明によれば、２軸傾斜ス
テージの２軸方向の回動により反射ミラーの光線の振れ
回りを制御することで、観察像を常に同じ位置に結像さ
せることができるので、観察像を、その中心を移動させ
ることなく回転できる。

【００１６】請求項３記載の発明によれば、光偏向部材
の偏向中心角を制御することで、二次元走査範囲の中心
を移動するようにできるので、二次元走査画像を、その
中心を移動させることなく回転できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。（第１の実施の形態）図１は、本発明の像回転装置を光
学顕微鏡に適用した例の概略構成を示している。図にお
いて、１１は光源で、この光源１１から発せられる照明
光は、照明光学系１２を介してハーフミラー１３で反射
され、対物レンズ１４に導入される。

【００１８】そして、この対物レンズ１４に導入された
照明光は、試料台１５に載置した試料１６に照射され、
その反射光は、再び対物レンズ１４に導入され、ハーフ
ミラー１３を透過して結像レンズ１７を介して、像回転
装置１８に導入され、さらに反射ミラー１９を介してＴ
Ｖカメラ２０の撮像面に結像される。ここで、反射ミラ
ー１９は、像回転装置１８により光学像が１回反射して
裏像になるのを表像に戻すためのものである。そして、
ＴＶカメラ２０で撮像された光学像は、ここで電気信号
に変換され、テレビモニター２１に表示されるようにな
っている。

【００１９】ここで、像回転装置１８は、結像レンズ１
７からの光路上に像回転プリズム１８１を配置してい
る。この像回転プリズム１８１は、図３（ｂ）で述べた
ように、入射光線１を光軸３よりプリズム４に入射する
と、プリズム４内で、奇数回反射されて光軸３上に戻さ
れ、出射光線２として出力され、プリズム４を光軸３を
中心にθ°回転させると、出射光線２は、光軸３を中心
に２θ°回転するようになっている。これにより、像回
転プリズム１８１を通過した観察像は、ＴＶカメラ２０
の撮像面に結像されるにあたり、像回転プリズム１８１
がθ°回転した場合、観察像は、２θ°回転されること
になる。

【００２０】また、この像回転プリズム１８１は、ステ
ッピングモータ１８２および図示しない減速機構を有す
る像回転プリズム回転機構１８３を設けている。この像
回転プリズム回転機構１８３は、ステッピングモータ１
８２の回転により像回転プリズム１８１を、その光軸を
中心に回転させるためのものである。

【００２１】像回転プリズム回転機構１８３には、ＣＰ
Ｕ２２を接続している。このＣＰＵ２２には、操作部２
３およびメモリ２４を接続している。ここで、操作部２
３は、例えば、テレビモニター２１の表示画面を見なが
ら観察像の回転を操作するものである。また、メモリ２
４は、実際の像回転プリズム１８１の加工誤差や像回転
プリズム回転機構１８３の部品の加工精度や組み立て精
度などに基づいて、実際の像回転プリズム１８１の回転
量に対する光線の振れ回り量をテーブルにして記憶した
ものである。

【００２２】ＣＰＵ２２は、操作部２３での操作に応じ
て、像回転プリズム回転機構１８３のステッピングモー
タ１８２を駆動し、像回転プリズム１８１を回転制御す
るとともに、この像回転プリズム回転機構１８３による
像回転プリズム１８１の回転量を取り込むようにしてい
る。また、ＣＰＵ２２は、像回転プリズム１８１の回転
量の取り込みにより、メモリ２４に記憶されたテーブル
を参照して対応する光線の振れ回り量を求め、この求め
られた光線の振れ回り量から、この振れ回り量を相殺す
るような反射ミラー１９の振れ回り量を出力するように
している。

【００２３】この場合、反射ミラー１９は、２軸傾斜ス
テージ２５に取り付けられている。この２軸傾斜ステー
ジ２５は、反射ミラー１９をＸ、Ｙの２軸方向に回動可
能に支持したもので、ＣＰＵ２２による指令に応じた、
これらＸ、Ｙの２方向の回動角度により反射ミラー１９
より反射される光線の振れ回り量を制御できるようにし
ている。

【００２４】なお、上述した像回転プリズム１８１は、
形状的に非点収差を発生させるものであるが、このよう
な収差は図示しない光学素子により補正されているもの
とする。

【００２５】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。いま、光源１１から照明光が発せられる
と、照明光学系１２を介してハーフミラー１３で反射さ
れ、対物レンズ１４より試料台１５上の試料１６に照射
される。また、試料１６からの反射光は、対物レンズ１
４よりハーフミラー１３を透過され、結像レンズ１７よ
り像回転装置１８、反射ミラー１９を介してＴＶカメラ
２０の撮像面に結像され、ここで撮像された光学像は、
さらに電気信号に変換されて、テレビモニター２１に表
示される。

【００２６】この状態から、操作部２３において、例え
ば、テレビモニター２１の表示画面を見ながら観察像の
回転を操作すると、ＣＰＵ２２により像回転プリズム回
転機構１８３のステッピングモータ１８２が駆動され、
像回転プリズム１８１が回転され、この回転像が反射ミ
ラー１９を介してＴＶカメラ２０の撮像面に結像され、
テレビモニター２１に表示される。この場合、像回転プ
リズム１８１の加工誤差や像回転プリズム回転機構１８
３の部品の加工精度や組み立て精度などに原因する像回
転装置１８での光線の振れ回りにより、像回転装置１８
からの光線が、図示破線ａ方向に動いてしまうことがあ
る。

【００２７】この状態で、像回転プリズム回転機構１８
３による像回転プリズム１８１の回転量がＣＰＵ２２に
取り込まれる。すると、ＣＰＵ２２では、メモリ２４に
記憶されたテーブルを参照し、像回転プリズム１８１の
回転量に対応する光線の振れ回り量を求め、この求めら
れた光線の振れ回り量に対し、この振れ回り量を相殺す
るような反射ミラー１９の振れ回り量を出力する。つま
り、ＣＰＵ２２では、像回転プリズム１８１の回転量を
取り込むと、この回転量に応じた光線の振れ回り量を相
殺するための反射ミラー１９の振れ回り量として、２軸
傾斜ステージ２５をＸ方向に所定角度回動させるととも
に、Ｙ方向にも所定角度回動させるように制御する。

【００２８】これにより、像回転プリズム１８１の回転
により生じた光線の振れ回りは、２軸傾斜ステージ２５
の動作にともなう反射ミラー１９の振れ回りにより相殺
されるので、図示破線ａで示す光線も、ＴＶカメラ２０
の撮像面では、像回転プリズム１８１の回転前と同じ位
置に結像されるようになり、この結果、テレビモニター
２１上の回転像は、画像中心が移動することなく表示さ
れる。

【００２９】従って、このようにすれば光学顕微鏡の像
観察光学系内に像回転プリズム１８１を回転可能に配置
し、この像回転プリズム１８１をステッピングモータ１
８２により回転させ、光学像を光軸と垂直な面内で回転
させるような場合、像回転プリズム１８１の回転量に応
じて、予めメモリ２４に記憶された像回転プリズム１８
１の回転量に対する光線の振れ回り量を読み出し、この
光線の振れ回り量を相殺するように２軸傾斜ステージ２
５上の反射ミラー１９の振れ回りを制御するようにでき
るので、仮に、像回転プリズム１８１の各面の加工精度
や像回転プリズム１８１を光軸を中心に回転させるため
の回転機構の部品の加工精度や組み立て精度により像回
転プリズム１８１に光線の振れ回りが発生するような場
合でも、常に、観察像をＴＶカメラ２０の撮像面の同じ
位置に結像させることができるようになり、テレビモニ
ター２１上の回転像は、画像中心が移動することなく表
示できるようになる。

【００３０】なお、上述では、２軸傾斜ステージ２５に
より反射ミラー１９の傾き方向を制御する場合を述べた
が、像観察光学系に２枚の反射ミラーを配置し、これら
反射ミラーを異なる方向に傾けるようにすることで、像
回転プリズム１８１の回転により生じた光線の振れ回り
を相殺できるようにしたものでもよい。この場合、微小
線幅を測定のため表像を必要とする場合は、裏像を表像
に戻すための反射ミラー１９を必要とするが、画像その
ものの観察をする必要がない場合は、反射ミラー１９を
省略できる。

【００３１】また、この実施の形態では、像回転プリズ
ム１８１の出射光を反射部材で偏向するようにしている
が、逆に、像回転プリズム１８１からの出射光の振れ回
りが相殺された状態になるように、予め光線を反射部材
で偏向してから像回転プリズム１８１に入射させるよう
にしてもよい。（第２の実施の形態）図２は、本発明の像回転装置をレ
ーザ走査型共焦点顕微鏡に適用した例の概略構成を示し
ている。この場合、等価的に点光源と考えられる図示し
ないレーザ光源からの光ビーム３０をビームスプリッタ
３１を通してガルバノミラーからなる第１の光偏向器３
２に入射している。

【００３２】この第１の光偏向器３２は、対物レンズ３
３の瞳３４と共役の位置に配置したもので、この第１の
光偏向器３２が偏向を行っていない場合は、光ビーム３
０は、光軸３５に沿って進み、第１の光偏向器３２が偏
向を行っている場合、つまり光ビーム３０を操作する場
合は、光偏向器３２が瞳位置に設けられることから、光
ビーム３０の方向は軸外主光線３６に一致し、光ビーム
３０の中心も軸外主光線３６に一致するようになってい
る。

【００３３】これら光ビーム３０は、瞳伝送レンズ３
７、３８を通って第１の光偏向器３２と同様に瞳位置に
配置したガルバノミラーからなる第２の光偏向器３９に
入射される。この場合、第２の光偏向器３９を二次元走
査のうちＹ方向の走査を行うと、第１の光偏向器３２は
Ｘ方向の走査を行うようになる。

【００３４】そして、これら光偏向器３２、３９により
二次元走査された光ビームは、瞳投影レンズ４０、像回
転装置４１、結像レンズ４２を通して対物レンズ３３の
瞳３４に入射され、この対物レンズ３３によって試料４
３上に回析により制限された点状光として生じ、この二
次元走査された点状光が試料４３上に照射される。

【００３５】一方、試料４３から反射された光ビーム
は、対物レンズ３３と瞳３４を通り、さらに結像レンズ
４１を通して一旦結像される。この結像面が、通常の光
光学顕微鏡で像を観察する面である。さらに、反射ビー
ムは、像回転装置４１、瞳投影レンズ４０を通って第２
の光偏向器３９に戻り、試料４３に入射したときと全く
同じ経路を逆に通してビームスプリッタ３１に戻り、こ
のビームスプリッタ３１より取り出され、検出ビーム４
４となる。この場合の検出ビーム４４は、反射ビームが
光偏向器３９、３２を通過して戻ってきているので、動
くことがない。

【００３６】そして、検出ビーム４４は、集光レンズ４
５により点状に絞られ、この点状に絞られた位置に配置
したピンホール４６を通して検出器４７で検出すること
で、フレアのない通常の顕微鏡の観察像より高解像の画
像として得られるようになる。この場合、ピンホール４
６を設けなくとも通常の画像が得られることは、言うま
でもない。

【００３７】ここで、像回転装置４１は、結像レンズ４
１からの光路上に像回転プリズム４１１を配置してい
る。この像回転プリズム４１１も、図３（ｂ）で述べた
ように、入射光線１をプリズム光軸３よりプリズム４に
入射すると、プリズム４内で、奇数回反射されてプリズ
ム光軸３上に戻され、出射光線２として出力され、プリ
ズム４をプリズム光軸３を中心にθ°回転させると、出
射光線２は、プリズム光軸３を中心に２θ°回転するよ
うになっている。これにより、像回転プリズム４１１を
通過した光ビームは、試料４３上を二次元走査するにあ
たり、像回転プリズム４１１がθ°回転した場合、二次
元走査範囲は、２θ°回転されることになる。

【００３８】また、この像回転プリズム４１１は、図示
しないステッピングモータおよび減速機構を有する像回
転プリズム回転機構４１２を設けている。この像回転プ
リズム回転機構４１２は、像回転プリズム４１１を、そ
の光軸を中心に回転するためのものである。また、この
像回転プリズム回転機構４１２には、駆動制御部４８を
接続し、この駆動制御部４８には、ＣＰＵ５０を接続し
ている。このＣＰＵ５０には、操作部５１およびメモリ
５２を接続している。ここで、操作部５１は、二次元走
査範囲を回転操作するものである。また、メモリ５２
は、実際の像回転プリズム４１１の加工誤差や像回転プ
リズム回転機構４１２の部品の加工精度や組み立て精度
などに基づいて、実際の像回転プリズム４１１の回転量
に対する光線の振れ回り量をテーブルにして記憶したも
のである。

【００３９】ＣＰＵ５０は、操作部５１での操作に応じ
て、駆動制御部４８に指示を与え、像回転プリズム回転
機構４１２のステッピングモータを駆動し、像回転プリ
ズム４１１を回転させるとともに、この像回転プリズム
回転機構４１２による像回転プリズム４１１の回転量を
取り込むようにしている。

【００４０】また、ＣＰＵ５０は、像回転プリズム４１
１の回転量の取り込みにより、メモリ５２に記憶された
テーブルを参照して対応する光線の振れ回り量を求め、
この求められた光線の振れ回り量から、この振れ回り量
を相殺するような光偏向器３２、３９に対する制御信号
を出力するようにしている。

【００４１】光偏向器３２、３９には、駆動制御部４９
を接続し、この駆動制御部４９にもＣＰＵ５０を接続し
ている。駆動制御部４９は、光偏向器３２、３９の偏向
角度を電気的に同時制御し、試料４３上で点状光の二次
元走査を行わせるとともに、ＣＰＵ５０からの制御信号
に基づいて、光偏向器３２、３９の偏向角度とともに偏
向中心角を制御して、試料４３上の二次元走査範囲を移
動させることで、像回転プリズム４１１の回転量に対す
る光線の振れ回り量を相殺可能にしている。

【００４２】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。いま、レーザ光源からの光ビーム３０
は、ビームスプリッタ３１を通して第１の光偏向器３２
に入射され、瞳伝送レンズ３７、３８を通って第２の光
偏向器３９に入射され、さらに瞳投影レンズ４０、像回
転装置４１の像回転プリズム４１１、結像レンズ４１を
通して対物レンズ３３の瞳３４に入射されるようにな
り、この状態で、光偏向器３２、３９を二次元走査する
ことで、点状光が試料４３上で二次元走査される。

【００４３】そして、試料４３から反射された光ビーム
は、試料４３に入射したときと全く同じ経路を逆に通し
てビームスプリッタ３１に戻り、このビームスプリッタ
３１より検出ビーム４４として取り出され、集光レンズ
４５よりピンホール４６を通して検出器４７より二次元
走査画像として出力される。

【００４４】この状態から、操作部５１において、像回
転操作すると、ＣＰＵ５０により像回転プリズム回転機
構４１２のステッピングモータが駆動され、像回転プリ
ズム４１１の回転により、試料４３上での二次元走査範
囲が回転されることで回転像が出力される。この場合、
像回転プリズム４１１の加工誤差や像回転プリズム回転
機構４１２の部品の加工精度や組み立て精度などに原因
して生じる像回転装置４１での光線の振れ回りにより、
試料４３上での二次元走査範囲の中心が動いてしまうこ
とがある。

【００４５】この状態で、像回転プリズム回転機構４１
２による像回転プリズム４１１の回転量がＣＰＵ５０に
取り込まれる。すると、ＣＰＵ５０では、メモリ５２に
記憶されたテーブルを参照し、像回転プリズム４１１の
回転量に対応する光線の振れ回り量を求め、この求めら
れた光線の振れ回り量に対し、この振れ回り量を相殺す
るような光偏向器３２、３９に対する制御信号を出力す
る。これにより、駆動制御部４９は、この時の制御信号
に基づいて、光偏向器３２、３９の偏向角度とともに偏
向中心角を制御して、試料４３上での二次元走査範囲の
中心を元の位置に戻すように移動させることで、像回転
プリズム４１１の回転量に対する光線の振れ回り量は相
殺され、検出器４７より得られる二次元走査画像は、像
回転プリズム４１１の回転前と同じ位置に画像中心が移
動することなく得られるようになる。

【００４６】従って、このようにしても、上述したと同
様に像回転プリズム４１１の回転量にかかわらず、二次
元走査画像の中心は移動せず、二次元走査画像の回転だ
けを行うことができる。さらに、光ビームの反射方向を
制御する手段を、ガルバノミラーによる偏向器３２、３
９と電気的にガルバノミラーの偏向中心角を制御するＣ
ＰＵ５０により構成しているので、走査型顕微鏡装置全
体として、光学素子や光線の反射角などを制御させるた
めの手段が増えていないという利点もある。

【００４７】なお、上述した実施の形態では、２個の光
偏向器３２、３９により二次元走査された光ビームを得
るようにしたが、画像の描画速度を速くするため光偏向
器の一方を共振ガルバノスキャナすることも可能であ
る。この場合、共振ガルバノスキャナは、偏向中心角を
電気的に変更できないので、共振ガルバノスキャナ自身
を回転させる機構によって機械的に偏向中心を変更させ
るようにすればよい。

【００４８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、像
回転光学手段の加工、組み立てなどの精度などに原因す
る像回転光学手段の回転にともなう光線の振れ回りを相
殺して像の中心を移動させることなく回転させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図２】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図３】像回転装置に用いられる像回転プリズムを示す
外観図。

【符号の説明】

１１…光源、１２…照明光学系、１３…ハーフミラー、１４…対物レンズ、１５…試料台、１６…試料、１７…結像レンズ、１８…像回転装置、１８１…像回転プリズム、１８２…ステッピングモータ、１８３…像回転プリズム回転機構、１９…反射ミラー、２０…ＴＶカメラ、２１…テレビモニター、２２…ＣＰＵ、２３…操作部、２４…メモリ、２５…２軸傾斜ステージ、３０…光ビーム、３１…ビームスプリッタ、３２…第１の光偏向器、３３…対物レンズ、３４…瞳、３５…光軸、３６…軸外主光線、３７、３８…瞳伝送レンズ、、３９…第２の光偏向器、４０…瞳投影レンズ、４１…像回転装置、４１１…像回転プリズム、４１２…像回転プリズム回転機構、４２…結像レンズ、４３…対物レンズ、４４…検出ビーム、４５…集光レンズ、４６…ピンホール、４７…検出器、４８、４９…駆動制御部、５０…ＣＰＵ、５１…操作部、５２…メモリ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】像観察光学系内に回転可能に配置され、
光学像を光軸と垂直な面内で回転させる像回転光学手段
と、この像回転光学手段の回転量に対する該像回転光学手段
の出射光線の振れ量を予め記憶した記憶手段と、前記像回転光学手段の入射光または出射光のいずれかを
反射させるとともに、その反射角度を変化可能とした光
反射手段と、前記像回転光学手段の回転量に応じて前記記憶手段より
得られた該像回転光学手段の出射光線の振れ量を相殺す
るように前記光反射手段の反射角を制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする像回転装置。
【請求項２】光反射手段は、反射ミラーを２軸傾斜ス
テージに設けたもので、前記２軸傾斜ステージの２軸方
向の回動により前記反射ミラーの反射角を制御可能にし
たことを特徴とする請求項１記載の像回転装置。
【請求項３】光反射手段は、光偏向部材からなり、該
光偏向部材の偏向中心角を制御可能にしたことを特徴と
する請求項１記載の像回転装置。