JP2013142768A - 走査型顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査型顕微鏡10は、照明光を試料に照射し、この試料から出射した光を集光する対物レンズ37と、対物レンズ37の瞳像を投影する瞳投影レンズ34と、これらのレンズ37,34の光軸と略直交する面内の第1の方向に回転する第1の偏向素子33x、及び、この面内の第1の方向と略直交する第2の方向に回転する第2の偏向素子33yを有して試料を走査する走査ユニット33と、第1及び第2の方向で異なる屈折力を有し、光軸及び第1の方向を含む第1の面内及び光軸及び第2の方向を含む第2の面内における瞳像をそれぞれ光軸方向の異なる位置に結像させる瞳位置調整光学系35と、を有し、第1の偏向素子33xは第1の面内の瞳像と略同一位置に回転中心が位置し、第2の偏向素子33yは第2の面内の瞳像と略同一の位置に回転中心が位置するように配置される。
【選択図】図2
Description
fcx = fs 2/ΔGx
fcy = fs 2/ΔGy
の条件を満足することが好ましい。
h2/h1 = (fs+dx)/fcx (4)
fc・LGx = fs・(fs+dx) (6)
33x 第1の偏向素子 33y 第2の偏向素子 34 瞳投影レンズ
35 瞳位置調整光学系 37 対物レンズ 50 試料面
Claims (5)
- 光源から放射された照明光を集光して試料に照射するとともに、前記試料から出射した光を集光する対物レンズと、
前記対物レンズの瞳像を投影する瞳投影レンズと、
前記対物レンズ及び前記瞳投影レンズの光軸と略直交する面内の第1の方向に回転する第1の偏向素子、及び、前記光軸と略直交する面内の前記第1の方向と略直交する第2の方向に回転する第2の偏向素子を有し、前記第1の偏向素子及び前記第2の偏向素子を用いて前記照明光により前記試料を走査する走査ユニットと、
前記第1の方向及び前記第2の方向で異なる屈折力を有し、前記光軸及び前記第1の方向を含む第1の面内における前記瞳像と前記光軸及び前記第2の方向を含む第2の面内における前記瞳像とをそれぞれ光軸方向の異なる位置に形成する瞳位置調整光学系と、を有し、
前記走査ユニットの前記第1の偏向素子は前記第1の面内の前記瞳像と略同一位置に前記回転の中心が位置するように配置され、前記走査ユニットの前記第2の偏向素子は前記第2の面内の前記瞳像と略同一の位置に前記回転の中心が位置するように配置されることを特徴とする走査型顕微鏡。 - 前記瞳位置調整光学系は、前記対物レンズによる試料像の位置、若しくはその近傍に配置されることを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡。
- 前記瞳位置調整光学系は、前記対物レンズによる試料像の位置の光軸方向の試料側若しくは像側であって、前記瞳投影レンズの焦点深度の外に配置されることを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡。
- 前記瞳投影レンズの焦点距離をfsとし、前記瞳位置調整光学系の前記第1の面内に関する焦点距離をfcx、前記第2の面内に関する焦点距離をfcyとし、前記瞳投影レンズの像側の焦点面から前記第1の偏向素子の回転中心までの光軸上の距離であって、前記瞳投影レンズの前記像側の焦点面から前記試料方向を正と定義した光軸上の距離をΔGxとし、前記瞳投影レンズの像側の焦点面から前記第2の偏向素子の回転中心までの光軸上の距離であって、前記瞳投影レンズの前記像側の焦点面から前記試料方向を正と定義した光軸上の距離をΔGyとしたとき、次式
fcx = fs 2/ΔGx
fcy = fs 2/ΔGy
の条件を満足することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。 - 前記瞳位置調整光学系は、シリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
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