JP6671296B2 - 単純な光学系、より具体的には様々な瞳位置を有する光スキャン顕微鏡 - Google Patents
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Description
別の実施形態(ここには図示せず)では、オブジェクト側のフォーカスは点のフォーカスとは違う形状を有しても良い。例として、線の形状を有していてもよい。
20 結合光学系
21 顕微鏡対物系
22 光ファイバ導波路
23 レーザー
24 光ドア
25 減衰器
26 ファイバ結合器
27 チューブレンズ
28 フィルタ
29 カラースプリッタ
30 ビーム偏向部
31 絞り
32 光電子増倍管
33 主ビームスプリッタ
34 制御部
35 スキャン光学系
36 コリメーション光学系
37 集束光学系
38 検出光学系
39 NLOビームスプリッタ
40 NLO検出器
41 円筒光学系
D 検出モジュール
L 照明モジュール
M 顕微鏡部
N NLO検出モジュール
P サンプル
PE(’/”) (共役)瞳面
R 距離
S スキャンモジュール
V 仮想オブジェクト
Zb1/2 中間像面
Claims (34)
- 照明ビーム経路を確定する光学系を有する光スキャン顕微鏡であって、
部分的に制約された光分布を提供する光源と、
入力側の瞳面と対物側の焦点とを有する顕微鏡対物系と、
前記顕微鏡対物系の瞳面に共役な瞳面を生成するスキャン光学系と、
可変調整可能ビーム偏向部とを有し、
前記照明ビーム経路は前記光分布の少なくとも一点と前記焦点の少なくとも一点とを互いに結像し、前記ビーム偏向部は共役瞳面に配置され、中間像は光学的に前記顕微鏡対物系と前記スキャン光学系との間にあり、前記スキャン光学系は前記ビーム偏向部を介して第2の中間像を第1の中間像に結像し、前記第2の中間像は空間的に湾曲していることを特徴とする、
光スキャン顕微鏡。 - 前記第2の中間像の曲率中心はビーム偏向部にある、請求項1に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記第2の中間像の曲率中心はビーム偏向部の反射面上にある、請求項1又は2に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記光分布を中間像に結像する照明光学系を有する、
請求項1ないし3いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 前記光分布を前記第2の中間像に、又は第3のもしくはさらに別の中間像に結像する照明光学系を有する、
請求項1ないし4いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 検出ビーム経路を確定する光学系を有する光スキャン顕微鏡であって、
出力側の瞳面と対物側の焦点とを有する顕微鏡対物系と、
前記顕微鏡対物系の瞳面に共役な瞳面を生成するスキャン光学系と、
可変調整可能ビーム偏向部と、
共焦点光電子トランスデューサとを有し、
前記検出ビーム経路は少なくとも焦点の一点とトランスデューサの各点とを互いに結像し、前記ビーム偏向部は共役瞳面に配置され、中間像は光学的に前記顕微鏡対物系と前記スキャン光学系との間にあり、前記スキャン光学系は前記ビーム偏向部を介して第1の中間像を第2の中間像に結像し、前記第2の中間像は空間的に湾曲していることを特徴とする、
光スキャン顕微鏡。 - 前記第2の中間像の曲率中心はビーム偏向部にある、請求項6に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記第2の中間像の曲率中心はビーム偏向部の反射面上にある、請求項6又は7に記載の光スキャン顕微鏡。
- 中間像を前記トランスデューサに結像する検出光学系を有する、
請求項6ないし8いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 前記第2の中間像又は第3のもしくはさらに別の中間像を、前記トランスデューサに結像する検出光学系を有する、
請求項6ないし9いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 前記光学系は、前記焦点から来る光が、照明ビームから光電子トランスデューサに分離されるように、照明ビーム経路と検出ビーム経路とに配置されたビームスプリッタを有する、
請求項1ないし10いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 前記第2の中間像は球面湾曲し、又は少なくとも実質的に球面湾曲している、請求項1ないし11いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記第2の中間像は球面湾曲し、又は少なくとも実質的に球面湾曲し、前記スキャン光学系の焦点距離の1倍から2倍の間の曲率半径で球面湾曲している、請求項1ないし12いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 照明ビーム経路/検出ビーム経路の前記光学系は、前記スキャン光学系とは離れた前記ビーム偏向部の側に平行ビーム経路セクションを提供する、
請求項1ないし13いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 曲率中心が前記共役瞳面にある凹面鏡が、前記ビーム偏向部と光源又はトランスデューサとの間に、コリメーション光学系として、光学的に配置された、請求項1ないし14いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記凹面鏡の曲率半径は前記第2の中間像の曲率半径の2倍の大きさである、
請求項15に記載の光スキャン顕微鏡。 - 前記スキャン光学系の一部又は全部は、検出ビーム経路の光軸に沿って変位可能である、請求項1ないし16いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記スキャン光学系の一部又は全部は、検出ビーム経路の光軸に沿って変位可能であり、前記スキャン光学系の変位可能部分又は全部を変位する電気的駆動部を有する、請求項1ないし17いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記スキャン光学系の結像は、0.8と1.2の間の倍率、0.9と1.1の間の倍率、又は、ちょうど1の倍率を有する、
請求項1ないし12いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 照明ビーム経路を確定する光学系を有する光スキャン顕微鏡であって、
部分的に制約された光分布を提供する光源と、
入力側の瞳面と対物側の焦点とを有する顕微鏡対物系と、
前記顕微鏡対物系の瞳面に共役な瞳面を生成するスキャン光学系と、
可変調整可能ビーム偏向部とを有し、
前記照明ビーム経路は前記光分布の少なくとも一点と前記焦点の少なくとも一点とを互いに結像し、前記ビーム偏向部は共役瞳面に配置され、中間像は光学的に前記顕微鏡対物系と前記スキャン光学系との間にあり、前記照明ビーム経路又は検出ビーム経路は前記共役瞳面でコリメートされ、集束光学系が前記ビーム偏向部とトランスデューサ又は前記光源との間に光学的に配置され、前記集束光学系は前記ビーム偏向部から来るコリメートされたビームを第2の中間像にフォーカスし、前記スキャン光学系と前記集束光学系とは、前記検出ビーム経路の光軸に沿って変位可能である、光スキャン顕微鏡。 - 前記スキャン光学系と前記集束光学系とは、前記検出ビーム経路の光軸に沿って変位可能であり、前記スキャン光学系及び/又は前記集束光学系を配置する電気的駆動部を有する、
請求項20に記載の光スキャン顕微鏡。 - 前記スキャン光学系と前記集束光学系とは、前記検出ビーム経路の光軸に沿って変位可能であり、前記スキャン光学系及び/又は前記集束光学系に対して別々の駆動部を有する、
請求項20に記載の光スキャン顕微鏡。 - 前記スキャン光学系と前記集束光学系とを同じ意味で、同じ距離で、及び/又は同期して配置するように構成された制御部を有する、
請求項20ないし22いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 第2の可変調整可能ビーム偏向部又は可変調整可能波面変調部が、第1のビーム偏向部とトランスデューサ又は光源との間に光学的に、さらに別の共役瞳面内に配置される、
請求項20ないし23いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 第1のビーム偏向部の回転軸とは異なる回転軸を有する第2の可変調整可能ビーム偏向部、又は可変調整可能波面変調部が、前記第1のビーム偏向部とトランスデューサ又は光源との間に光学的に、さらに別の共役瞳面内に配置される、
請求項1ないし24いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - サンプルの少なくとも1つの像を記録し、前記像に影響する前記サンプルの少なくとも1つの所定の特性に基づき、かつ前記像に基づき、波面変調部の操作される変数を確立するように構成された制御部を有する、請求項1ないし25いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- サンプルの少なくとも1つの像を記録し、前記サンプルの特性の実際の分布に基づき、かつ前記像に基づき、波面変調部の操作される変数を確立するように構成された制御部を有する、請求項1ないし26いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記顕微鏡対物系は、光軸に沿って変位可能なように、及び/又は対物系変更部に構成される、
請求項1ないし27いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 前記顕微鏡対物系は、前記顕微鏡対物系を変位する、及び/又は前記顕微鏡対物系を交換する電気的駆動部を有する、
請求項1ないし28いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。 - 前記第1のビーム偏向部及び/又は前記第2のビーム偏向部は、前記ビーム偏向を調整する微少電気機械的システムを有する、請求項1ないし29いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記第1のビーム偏向部及び/又は前記第2のビーム偏向部は、前記ビーム偏向を調整する微少電気機械的システムを有し、前記微少電気機械的システムは、異なる2つの軸の周りに回転可能である、請求項1ないし30いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記第1のビーム偏向部及び/又は前記第2のビーム偏向部は、前記ビーム偏向を調整する微少電気機械的システムを有し、前記微少電気機械的システムは、反射面内に異なる2つの軸の交点位置を有する、請求項1ないし31いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記第1のビーム偏向部及び/又は前記第2のビーム偏向部は、前記ビーム偏向を調整する微少電気機械的システムを有し、前記微少電気機械的システムは、異なる2つの軸の交点が検出ビーム経路の光軸上に配置されている、請求項1ないし32いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
- 前記顕微鏡対物系は、無限後方焦点距離を有し、前記光学系は前記第1の中間像を生成するチューブ光学系を有し、前記第1の中間像は前記スキャン光学系と前記チューブ光学系との間に光学的にある、
請求項1ないし33いずれか一項に記載の光スキャン顕微鏡。
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