JP2006292782A - 外部レーザ導入装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光学機器110の外部から内部へレーザ光101を導入し、前記光学機器110内部の集光レンズ115によってターゲット113に前記レーザ光101を集光させる、外部レーザ導入装置120において、前記集光レンズ115の入射瞳112を前記光学機器110外部の外部瞳133に投影させるための瞳投影光学系123と、前記外部瞳133の光軸に前記レーザ光101の光軸を略一致させるための光軸合せ機構124とを含む。
【選択図】 図1a
Description
1.光学機器の外部から内部へレーザ光を導入し、前記光学機器内部の集光レンズによってターゲットに前記レーザ光を集光させるための外部レーザ導入装置において、前記集光レンズの入射瞳を前記光学機器外部の外部瞳に投影させるための瞳投影光学系と、前記外部瞳の光軸に前記レーザ光の光軸を略一致させるための光軸合せ機構とを含むことを特徴とする、外部レーザ導入装置。
2.前記光軸合せ機構は、前記外部瞳の中心に前記レーザ光の光軸位置を略一致させるための光軸位置合せ機構と、前記光軸位置合せ機構により前記レーザ光の光軸位置を前記外部瞳の中心に略一致させた後に、前記外部瞳の光軸と前記レーザ光の光軸の角度を略一致させるための、光軸角度合せ機構とを具備することを特徴とする上記1記載の外部レーザ導入装置。
3.前記外部瞳位置における、前記レーザ光の波面曲率を調整するための、波面曲率調整機構を具備することを特徴とする上記1または2記載の外部レーザ導入装置。
4.複数のレーザ光それぞれの光軸を前記外部瞳の光軸に略一致させるための、複数の光軸合せ機構と、前記複数のレーザ光を合成して前記入射瞳に導入するための、ビームコンバイナとを含むことを特徴とする上記1乃至3記載の外部レーザ導入装置。
5.複数のレーザ光それぞれの、前記外部瞳における波面曲率を調整するための、複数の波面曲率調整機構を含むことを特徴とする上記1乃至4記載の外部レーザ導入装置。
6.前記外部瞳における前記レーザ光の入射位置を検出するための光軸位置検出装置を含むことを特徴とする上記1乃至5記載の外部レーザ導入装置。
7.前記光軸位置検出装置からの出力を用いて前記光軸位置合せ機構を駆動する光軸位置フィードバック装置を含むことを特徴とする上記6記載の外部レーザ導入装置。
8.前記外部瞳における前記レーザ光の入射角度を検出するための光軸角度検出装置を含むことを特徴とする上記1乃至7記載の外部レーザ導入装置。
9.前記光軸角度検出装置からの出力を用いて前記光軸角度合せ機構を駆動する光軸角度フィードバック装置を含むことを特徴とする上記8記載の外部レーザ導入装置。
10.光学機器の外部から内部へレーザ光を導入し、前記光学機器内部の集光レンズによってターゲットに前記レーザ光を集光させる外部レーザ導入装置において、前記集光レンズの入射瞳を前記光学機器外部の外部瞳に投影させるための瞳投影光学系と、前記外部瞳位置における前記レーザ光の波面曲率を調整するための波面曲率調整機構とを具備することを特徴とする外部レーザ導入装置。
110 光学機器
112 入射瞳
113 ターゲット
115 集光レンズ
120 外部レーザ導入装置
121 光軸位置合せ機構
122 光軸角度合せ機構
123 瞳投影光学系
124 光軸合せ機構
133 外部瞳
233 光位置検出器
310 光ディスク原板露光機
321 可動式レンズ
322 固定式レンズ
323 可動式平行平面板
410 顕微鏡本体
412 ガルバノミラー
413 標本
415 対物レンズ
430 共焦点検出器
432 共焦点レンズ
433 共焦点ピンホール
434 光電子増倍管
521 キネマティック式可動ミラー
522 ジンバル式可動ミラー
527 外部瞳
626 瞳投影光学系
627 瞳投影位置
708 ビームコンバイナ
709 合成ビーム
727 瞳絞り
730 光軸合せ検出器
734 フォトダイオード
735 光ポジションセンサ
736 ビームサンプラ
813 細胞
814 マイクロキャピラリ
912 外部瞳
924 光軸位置合せ機構
933 外部瞳の投影位置
Claims (4)
- 光学機器の外部から内部へレーザ光を導入し、前記光学機器内部の集光レンズによってターゲットに前記レーザ光を集光させるための外部レーザ導入装置において、前記集光レンズの入射瞳を前記光学機器外部の外部瞳に投影させるための瞳投影光学系と、前記外部瞳の光軸に前記レーザ光の光軸を略一致させるための光軸合せ機構を具備することを特徴とする外部レーザ導置。
- 前記光軸合せ機構は、前記外部瞳の中心に前記レーザ光の光軸位置を略一致させるための光軸位置合せ機構と、前記光軸位置合せ機構により前記レーザ光の光軸位置を前記外部瞳の中心に略一致させた後に、前記外部瞳の光軸と前記レーザ光の光軸の角度を略一致させるための、光軸角度合せ機構とを具備することを特徴とする請求項1記載の外部レーザ導入装置。
- 前記外部瞳位置における前記レーザ光の波面曲率を調整するための波面曲率調整機構を具備することを特徴とする請求項1記載の外部レーザ導入装置。
- 光学機器の外部から内部へレーザ光を導入し、前記光学機器内部の集光レンズによってターゲットに前記レーザ光を集光させるための外部レーザ導入装置において、前記集光レンズの入射瞳を前記光学機器外部の外部瞳に投影させるための瞳投影光学系と、前記外部瞳位置における前記レーザ光の波面曲率を調整するための波面曲率調整機構とを具備することを特徴とする外部レーザ導入装置。
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